SYNOPSYS中由许多MTF分析方法,都可在对话框MOP中找到,也可使用命令。 e,0-)?5R 一、卷积 MTF,精确 OPD(MTF);卷积 MTF,插入 OPD(ZMTF)。 nP3 E 1. 单一频率显示: /M=3X|| b5a.go
FX}Gt= [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通过可选绘制图分析21个频率显示:
swcd&~9r
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一种方式是在FREQ的空间频率下计算子午和弧矢的MTF,对于聚焦透镜而言频率单位为 cy / mm,对于 AFOCAL 而言频率单位为 cy / mr。助记符“MTF”使用精确光线选项,而“ZMTF”使用波前插值法。如果开关 84 关闭,这是 Zernike 展开式,如果开启,则是线性样式。可以为 ICOL 输入明确的颜色编号,为主要颜色输入字母“P”,或者输入字母“M”,表示多色分析。如果输入 P,则第二种形式给出 21 个频率的 MTF,并且可选地给出曲线图。
二、多视场卷积 MTF,精确 OPD( MFF);多视场卷积 MTF,插值 OPD( MZMTF)
从对话框MMF中或命令模式下获得四个视场点的卷积MTF。
#7G*GbKY
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
当没有给出 HBAR条目时,默认视场为 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN条目创建了一个 NHBAR 视场的数组,均匀分布在 0 到 1.0 之间。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 个视场点。
MZMTF 选项使用的是波前插值法,如果开关 84 关闭,它将是一个 Zernike 展开式,如果开关 84 打开,它将是一个线性样式。这些情况可以接受可选的[GRID]输入(默认为 80)。
如果透镜校正不好,并且您想在低频下检查 MTF,那么在打开开关 84 的情况下,使用 MZMTF 选项可以获得更好的精度。
三、 卷积 MTF视场(MOF); MOF的插值(ZMOF)
=9wy/c$
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
这里, MOF 利用精确的光线衍射 MTF 计算,并且 ZMOF在光瞳上插入每个点得到近似 OPD,如果开关 84 关闭则使用 Zernike 方法,如果开启则使用线性样式。
FMOF 和 FZMOF选项执行从 HBAR=-1 到+1 的完整跟踪,而其他选项执行从 0到+1 的跟踪。
`yiC=$*[ FREQ 是第一个要分析的空间频率。 Dw6 fmyJ:
GRID 是网格编号,从 20 到 80; 这仅适用于插值选项。 9902+pW
GBAR 是倾斜视场点。必须为此定义倾斜视场以表示相关内容。 Fhf<T`
Q 设置 quiet 操作:程序将不会列出所有绘制的 MTF。 aZS7sV28
FREQ ...最多可以分析三个空间频率。
四、焦点卷积 MTF(TFMTF)
m Y,|J\w@
从对话框 MTM 中,可以在给定空间频率处将卷积 MTF 绘制为最多四个视场点和 10 个波长处的焦点位置的函数。命令模式输入是:
、 ?-)I+EAnE
主波长中的默认值为 HBAR =(0,0.5,0.75,1.0)和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析, “P”表示默认颜色。
HBAR 线路上可能设定最多 20 个视场点;如果输入视场, 将生成一组 NHBAR字段点,这些点均匀分布在 0 到 1 之间。 后者需要命令模式输入。
该程序还可以在最多四个空间频率的单个视场点处绘制 MTF。如果在命令行中设置多个频率,则将分析所有频率,并且仅使用第一个HBAR。在这种情况下,需要命令模式列表。
jgv`>o%<W 由于该程序使用精确光线追迹而不是某些其他 MTF 选项可用的插值选项,因此不应在低于衍射截止值的约 1/40 的空间频率下设置它。
该程序评估总共 7 个焦点位置,由焦点增量 DF 分隔。
五、傅立叶变换 MTF(DMTF)
u]*0;-tz
[W]DMTF {ICOL / M / P} HBAR NRYS 0 GBAR[P]
YJeyIYCs<
六、几何 MTF(GMTF)
8\.b4FNJ
[ FCO FREQ ]
GMTF{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]
其中ICOL-颜色编号,可选M指定使用先前输入的数据执行多色分析。P只设置主要颜色。
HBAR-指定物体Y分数坐标。
H`9Uf) NRYS-给出所需的光线数量。GMTF要分析的图像可能包含多达20000条光线。
0-占位符,用于格式一致性。
GBAR-物体X分数坐标。
Z4b|| P-若输入,则绘制MTF。
七、焦点几何 MTF(TFG)
、 c9"r6j2m5
I:98 $ r$ [ FCO FREQ ]
C1kYl0zR[ TFG{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ] GL$De,V
DF { 1 / 3 / 5 }DELTAF
其中 DELTAF 是焦点偏移,根据DF输入,它将应用于1,3或5个单独的评估。 b aV>N[F&
如果 ICOL 是颜色编号或“P”,则将追迹单一颜色,而字母“M”将生成多色 GMTF。
图像每个可包含多达 20,000 个光线,并且离焦运动沿着图像表面的局部 Z 轴展开。 考虑所有孔径,渐晕和羽化,建议使用 FCO 输入。如果需要绘图,则应输入可选的[P]。
八、多视场几何 MTF(MGMTF)
yLE7>48
几何 MTF 可以在对话框 MMG中最多四个视场点处获得, 也可以选择绘制,或在命令模式下最多输入20个视场。
FCOFREQUENCY
MGMTF NRYS 3?I;ovsM
[HBARHBAR HBAR HBAR HBAR ......] co8"sz0(U
[HGENNHBAR] as yZe
ICOL{ICOL / M / P} 4<dcB@v
[GBARGBAR] "Jq8?FoT
{PLOT/ GO}
当没有给出 HBAR 条目时,默认视场为 0, .5, .75 和 1.0。HBAR 线上最多可以给出 20 个视场, HGEN 将生成均匀间隔为 0 到 1 的 NHBAR 视场,必须使用 FCO 输入为此选项输入截止频率。
MRNNG6TUs