摘要 MBDu0
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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 6#.z:_
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光栅详细说明 m[Px|A5{
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 pvP|.sw5G
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 [|xHXcW
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光栅阶次分析器设置 8GV$L~i
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 xhj
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•可以指定各种输出选项。 6#KRI%adw`
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 $
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常规设置 G;qC&7T
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ;:hyW,J
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Elh: %dr Q
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单个阶次设置 /Rb`^n#
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•在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Pj8s;#~u
•如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 C5\bnk{
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单个阶次设置 RN]4 Is:
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探测器标签页中的输出 d/+sR@\
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•如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 ,pq<.?&E
•这些值在参数运行和参数优化中也可用。 ~2beVQ(U
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极坐标图中的输出 Jb#*QJ=
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•光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 t IdH?x
•它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 Ny/bNQS
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极坐标图设置 xV:.)Dq9
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