摘要
7n8~K3~; JJ}0gZ 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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}!"A! ~& -8:&>~4` 光栅详细说明
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xO^:_8=&: PP;}e •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
/^X/ 8 •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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Ir`eL 光栅阶次分析器设置
kbTm^y" tZ=E')!\ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
Gn|F`F •可以指定各种输出选项。
uD1e!oU •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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'(f&P=[b #MX'^RZ>2 常规设置
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])|d"[ur= S{PJUAu •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
y4*U6+ #. •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
N^HUijw< J7= + 单个阶次设置
Ss~;m']68 ?nofUD.
iYDEI e @hJ%@( •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
mL{B!Q •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
9K5pwC\$% o7J 单个阶次设置
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jNLw= NLUT#!Gr
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探测器标签页中的输出
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X9p.gXF D2](da:]8) •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
OK{quM5 •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
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+(lZ p[hZ@f(z 极坐标图中的输出
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B8B; y^b>i ZAv,*5&< •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
O\E /. B •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
iz8Bf; Cnbz=z 极坐标图设置
v%"|WV[N ^aH\7J@Y
|$Xl/)Oq wF|fK4F •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
GliwY_ •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
h3bff#<K DE%KW:Hug 阶次汇集输出
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