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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 te1lUQ
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光栅详细说明 $T1c{T6n}
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 C?zC|0
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 *d@}'De{8
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光栅阶次分析器设置 bo]k9FC
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 tJ 6:$dh
•可以指定各种输出选项。 (A1 !)c
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Blu^\:?#z-
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常规设置 &4]%&mX)-
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 7%aB>uA
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ]E`DG
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单个阶次设置 $?0<rvGJ
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•在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 D|OX]3~
•如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 ,"&v