摘要
S&J>15oWM` wTe 9OFv 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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(.pi ,+Ws ,(3oAj\ 光栅详细说明
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z 4qEC zQ#2BOx1 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
A~X| vW •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
^AF~k#R .
e_VPKF| 光栅阶次分析器设置
@]YEOk- 43,baeG •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
tGJJ|mle> •可以指定各种输出选项。
VHm.uL_UW •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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W3gHzT?{ z&Xk~R*$ 常规设置
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KT!r •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
/?NfU.+K •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
wb>"'% ZypK''&oc 单个阶次设置
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RI<&cgWn+< @RZbo@{~ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
fohZ&f|> •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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