摘要
n JH+P!AC pq0F!XmU 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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V6%J9+DK m}Z=m8 光栅详细说明
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F PS ,@ \ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
)LE SdX •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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A,^4(
P)he3 光栅阶次分析器设置
tjw4.L<r c=]z%+,b] •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
6BT o% •可以指定各种输出选项。
(dl7+ •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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[43:E*\$ >q{E9.~b 常规设置
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3LKL,z 83io@*D •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
-z"=d<@ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
;E? Z<3{ f=%k9Y*) 单个阶次设置
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R~nbJx$ eq)8V x0 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
u*#j;Xc •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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