摘要
k95vgn% jp|wc,]! 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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s*;~CH-[ D c^d$gh 光栅详细说明
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0)Z7U$ !u"Hf7/ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
Y*6*;0Kx •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
u4Sa4o V+ Z22 光栅阶次分析器设置
S$Wd}2> 1{*x+GC^/ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
h W-[omr0 •可以指定各种输出选项。
G} p~VLf •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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bpoE7 *+G K?Ga
U!h!z`RU54 A/MOY@%G 常规设置
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R$\ieNb 2b<0g@~X •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
*oF{ R^ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
8/=2N =LC5o2bLy 单个阶次设置
'{|87kI ?h5Y^}8Qg
`bi5#xR GxBj N7" •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
fRbVc •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
N7[~Y2i a P`;Nr= 单个阶次设置
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Tb}b*d3 V{8mx70
:%0Z 35ng_,t$ 探测器标签页中的输出
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=[P || Q5Wb) •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
G#csN&|, •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
g,.iM8 jWm<!<~ 极坐标图中的输出
x[_+U4-/ MQI6e".
J[^-k!9M CkOd>Kn •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
\X(.%5xC •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
m$U2|5un& p}h)WjC 极坐标图设置
RSp=If+4 GhX>YzD7
gG#M-2P DCHU=r •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
Baq&>] •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
w*aKb YM5;mPR 阶次汇集输出
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1%>/%eyn5 •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。
rUlXx5f •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据
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