摘要
>@oO7<WB 9 z3Iwl 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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/(E 光栅详细说明
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P \[D"W{9l •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
0hNc#x6 •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
b%)a5H( M2oKLRt)L 光栅阶次分析器设置
Pc4sReo' rcyH2)Y/e •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
Q2fa]*Z5 •可以指定各种输出选项。
P AKh v.7 •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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F[ ? t"d [n:R]|^a 常规设置
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pkxW19h*0 ?iia •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
9k*'5(D4S •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
h[lh01z "arbUX~d 单个阶次设置
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"3 XDI@mQmzB •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
Fe/*U4xU •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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d?VX !D6@ \ 单个阶次设置
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VTV-$Du[} h\20 探测器标签页中的输出
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E8V,".!+E Q}m)Q('Rk •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
| 9(uiWf •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
+1cK (Si Z-/ E$j 极坐标图中的输出
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:Tjo+vw7$H YxsWY7J •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
,Z52dggD •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
|#MA?oz3T \Mi y+<8$ 极坐标图设置
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0_%u(? 3|@Ske1%Y •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
/r]IY. •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
^Ji5)c jT'1k[vJj 阶次汇集输出
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Z,Q)\W<'- •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。
+=:CW'B5 •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据
'KXvn0 z?+N3p9 阶次汇集设置
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