摘要
Be2DN5) <uw9DU7G 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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<)c)%'v Fj3a.' 光栅详细说明
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~IBP|)WA- k2tF} •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
:KP@RZm •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
Ai?*s%8v bJ {'<J 光栅阶次分析器设置
"_NN3lD)X C1n>M}b •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
~-Qw.EdC •可以指定各种输出选项。
A[{yCn`tM •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
u^I|T.w<r6 g@!V3V
kv{za4,& EUX\^c]n 常规设置
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2-v%`fA |3"KK •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
KU(&%|;g •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
Q\7h`d%) #r\4sVg 单个阶次设置
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j>" @,B g* *P=VFP •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
v^*K:#<Q! •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
o|<!"AD7 Wt-GjxGi 单个阶次设置
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`dN@u@[\ks K?1W!fY
x
g E*K;H8}s 探测器标签页中的输出
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jm/`iXnMf JjTegQN •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
eru.m+\ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
K is"L(C 5Yq@;e 极坐标图中的输出
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+iRh {_p_%; •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
( ^Nz9{ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
R-d:j^:f g1 "kTh 极坐标图设置
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jU2 <R=Zs[9M1 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
z<XtS[ki •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
LFRlzz; R$[vm6T? 阶次汇集输出
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-X2Buz8 •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。
^8N}9a •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据
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