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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ;N/=)m
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光栅详细说明 .1 =8c\%
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 gc6T`O-_;
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ie+746tFW
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光栅阶次分析器设置 / Dn
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 D;l)&"|r?
•可以指定各种输出选项。 ;PrL)!
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 +v}R-gNR
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常规设置 Hx]{'?
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 "[LSDE"(
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 8/|~E
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单个阶次设置 UkY
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