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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 a~?B/
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光栅详细说明 ;"Aj80
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 $0vWC#.A]
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 'n=bQ"bQu
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光栅阶次分析器设置 v|KIVBkbT
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 .)=*Yr M
•可以指定各种输出选项。 \GQRpJ#h1
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 p3Ozfk
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常规设置 w]nt_xj
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ycSGv4
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•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 !#~KSO}zW2
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单个阶次设置 5*+DN
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•在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 -#mN/
•如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 %hN(79:g
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单个阶次设置 x2a
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探测器标签页中的输出 60]VOQku
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•如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 Ly3!0P.<
•这些值在参数运行和参数优化中也可用。 )">#bu$
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极坐标图中的输出 ]kx<aQ^
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•光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 1LSJy*yY
•它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 jnbR}a=fJ
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极坐标图设置 XR9kxTuk
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•可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 P^=B6>e
•可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 lP)n$?u
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阶次汇集输出 rPBsr<k#5
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•“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 p7Zeudmj
•用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 Ws1|idAT
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阶次汇集设置 p/Q< VV
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