摘要 ~SmFDg$/m
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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 yYP>3]z
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光栅详细说明 m4yWhUi(o
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 FGhnK'
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 t/3HX]B_
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光栅阶次分析器设置 Vol}wc
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 H}q$6WE
•可以指定各种输出选项。 Ps<k 2
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ?b"'w
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常规设置 r8!pk~R5]
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 &0H_W xKeB
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 B@#vS=g
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单个阶次设置 EWY'E;0@5
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•在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 }%<_>b\
•如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 JT~Dr KI_
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单个阶次设置 Ix<!0!
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探测器标签页中的输出 EziGkbpd@
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•如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 YW&`PJ9o
•这些值在参数运行和参数优化中也可用。 zL3zvOhu}
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极坐标图中的输出 dV16'
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•光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 ledr[)
•它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 tkkh<5{C
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极坐标图设置 @; I9e
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•可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 A zp!;+
•可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 zSu,S4m_;
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阶次汇集输出 F?0Q AA
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•“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 ez)Ks`
•用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 k g Rys
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阶次汇集设置 N8x.D-=gG
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阶次汇集设置 065 =I+Vo
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