摘要 !$pnE:K
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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 c0f8*O4i
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光栅详细说明 ]QSQr*
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 w[]\%`69}Z
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 S5/p3;O\c
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光栅阶次分析器设置 ( q}{;
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•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 s)~Wcp'+M:
•可以指定各种输出选项。 AB=Wj*fr
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 -GODM128 ^
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常规设置 jZR2Nx}16
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•在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ;7U"wI_~c
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 &UIS