SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到
非球面上。这可以用来
模拟被测表面,以便分析所建立的
透镜的性能。假定面型是旋转对称的,
程序将面型USS 21分配给表面。(也可以使用SFIT为非对称形状建模。)
nHq4f&(H 输入是:
!7)#aXt&
]o0]i<: &nI>`Q' 透镜必须是当前的,并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。
G%>[7 ]H 输入是包括
孔径(y)和每个点的测量凹陷(sag)的列表。必须对测量值进行归一化,使轴点具有零凹陷,但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。
}' Y)"8AIA 当读取所有数据时,程序提交一个
优化运行,该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值,随着要建模的点的变化,许多G项变量也发生变化,最多30个区域可用于此形状。
!.t D.(XP tCGx]\ p8@&(+z 例子:
EStui>ho 测量了表面3的非球面形状,并给出了其测量结果。然后按照如下输入:
o~\.jQQxa
B9$f y).Gp .QZjJ9pvK 程序找到了下列系数,评价
函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。
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