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    [原创]对测量的SAG数据进行非球面项拟合(CSAG) [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-03
    SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面,以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的,程序将面型USS 21分配给表面。(也可以使用SFIT为非对称形状建模。) l1k&@1"  
    输入是: (JlPe)Q5  
    w=;>  
    Gm:s;w-;v  
    透镜必须是当前的,并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。 U52 V1b  
    输入是包括孔径(y)和每个点的测量凹陷(sag)的列表。必须对测量值进行归一化,使轴点具有零凹陷,但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。 fm-m?=  
    当读取所有数据时,程序提交一个优化运行,该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值,随着要建模的点的变化,许多G项变量也发生变化,最多30个区域可用于此形状。 A/2$~4,  
    }6-olVg  
    NT 5=%X]  
    例子: X;W0r5T  
    测量了表面3的非球面形状,并给出了其测量结果。然后按照如下输入: :FI D ,  
    _-y1>{]H  
    2H.g!( Oza  
    程序找到了下列系数,评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。 #%nV\ Bl  
    @a@}xgn{  
     
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    离线落叶
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-03-09
    这个具体怎么应用,请具体说明 下