SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面,以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的,程序将面型USS 21分配给表面。(也可以使用SFIT为非对称形状建模。) Ca+d
?IS
输入是: nT|fDD|
VbBZ\`b
L)Un9&4L
透镜必须是当前的,并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。 9]|[z{v'>l
输入是包括孔径(y)和每个点的测量凹陷(sag)的列表。必须对测量值进行归一化,使轴点具有零凹陷,但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。 d7Q. 'cyQ
当读取所有数据时,程序提交一个优化运行,该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值,随着要建模的点的变化,许多G项变量也发生变化,最多30个区域可用于此形状。 Yl8tjq}iC
D6bCC;
h=
sF_.9G)S0
例子: E'[pNU*"x-
测量了表面3的非球面形状,并给出了其测量结果。然后按照如下输入: CNbrXN
~DqNA%Mb
X~GZI*P
程序找到了下列系数,评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。 76 =uk!#3{
F1Egcx/$V