SFIT Surface fit to data
当您想要表面的面型与（X，Y，Ｚ）坐标（如：由数字化干涉图产生的）相匹配时，SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。（如果面型时旋转对称的，您也可以用CSAG，输入更简单）。
输入是：
^5=UK7e5KY h?\2 _s
必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中，面型是下面的其中之一：
o
A* G Vv$HR
这里给出22项幂级数多项式（R是轴向曲率半径）：
ihT~ xt G)> W'yxQ ! 0/z> #b =R*Gk4<Y Zernike多项式：
B6Ej{q^k, 
)_zlrX 
vAP{;Q0 i XC15 K@K M4Z@O3OI E z1 i &Ge 如果包含[L]，则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词２中存在任何其他条目或空白，则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子，可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性，该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。
'k&?DZ! SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径，可被Zernike系数使用，其在该孔径上是正交的（默认是单位圆），也可被USS面型使用；APD是全孔径干涉图上的尺寸。
如果APS不等于APD，则（X，Y）干涉图坐标将自动缩放，以使APD处的位置变得等于APS。
如果在DEF之前打开switch 13，则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表，该列表可以与原始输入数据进行比较，以检查曲线拟合的精度。
]Pn !nSg 请注意，任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求：您想要拟合尽可能准确，同时您总是给出不准确的数据。物理测量，或数字化干涉图的结果，只有有限的精度。由于这些冲突，准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说，这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的，而这些点本身非常准确。
u}9fj
处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合：较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确，但这些点之间的振荡较少，结果可能比输入数据更准确。第二种方法，适用于Zernike拟合，即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据，其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法，检查RSS拟合误差和拟合平滑度，如PUPIL或SPROFILE功能显示。
请注意，以前的版本中使用命令DEF，ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用，但建议您使用新格式。
ghk5rl$
这里给出一个实例：
CCW O}Ui`eWU
GET 1 T#:F]=
ON 13 4a ZCFdc
CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 2^exL h
SFIT L 0 18 30 t0PQ~|H<KV
1 POWER Z#` 0txCF
8.4657 31.471 4.72E-06 {F*N=pSq
15.027 -21.28 1.04E-05 xFp<7p
L
-22.266 7.0026 1.38E-05 . &,[,
5.166 26.108 1.01E-05 \9)[ #Ld
-20.408 10.799 1.41E-05 U6 82 Th
-22.255 9.6561 1.27E-05 rlok%Rt4Z
-9.7888 23.198 1.16E-05 #`GbHxd
-24.157 8.4184 1.12E-05 w# PZu+
-24.281 5.2749 1.20E-05 pt:;9hA
5.1661 -22.621 1.36E-05 1TqF6`;+
2.883 -23.561 1.29E-05
0.42924 -23.924 1.27E-05
-1.19E-02 -25.942 1.04E-05 0rMqWP
3.0878 -25.328 1.09E-05 6(56,i<#/
21.093 14.504 1.12E-05 }IUP5O6
17.412 19.966 1.02E-05 MQcE6)
26.045 6.9241 9.75E-06 #G _/.h@
5.611 23.939 1.23E-05 Z$K+
7>^
22.97 7.713 1.27E-05 ){Z
13.705 -21.132 1.13E-05 ||TtNH
21.701 -11.102 1.24E-05 s n k$^
17.7 -15.779 1.31E-05 zjbE 7^ N
-21.769 13.317 1.13E-05 -oBI+v&
10.098 -19.747 1.49E-05 F 1 |zXg)
18.793 18.333 1.05E-05 4sY[az
24.664 12.562 9.05E-06 9n}A ^
13.136 -18.322 1.45E-05 ;:#U 6?=t
-24.876 -9.0552 1.01E-05 hd^x}iK"
END
第一列X坐标，第二列Y坐标，第三列sag值。
