SFIT Surface fit to data
当您想要表面的面型与(X,Y,Z)坐标(如:由数字化干涉图产生的)相匹配时,SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。(如果面型时旋转对称的,您也可以用CSAG,输入更简单)。
输入是:
'#Au~5 (^m]
7l
必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中,面型是下面的其中之一:
DylO;+ q!eE~O;A
这里给出22项幂级数多项式(R是轴向曲率半径):
MMs~f*
7upko9d/ 8b)WOr6n v{VF>qEP <f>w"r Zernike多项式:
VP~2F
E
*;Mi/^pzK
:_~.Nt ir_XU/ve 'z(Y9%+a &aLTy&8Fv 如果包含[L],则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词2中存在任何其他条目或空白,则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子,可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性,该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。
O -1O@:}c SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径,可被Zernike系数使用,其在该孔径上是正交的(默认是单位圆),也可被USS面型使用;APD是全孔径干涉图上的尺寸。
如果APS不等于APD,则(X,Y)干涉图坐标将自动缩放,以使APD处的位置变得等于APS。
如果在DEF之前打开switch 13,则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表,该列表可以与原始输入数据进行比较,以检查曲线拟合的精度。
Yi*F;V 请注意,任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求:您想要拟合尽可能准确,同时您总是给出不准确的数据。物理测量,或数字化干涉图的结果,只有有限的精度。由于这些冲突,准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说,这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的,而这些点本身非常准确。
Mh.1KI[t
处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合:较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确,但这些点之间的振荡较少,结果可能比输入数据更准确。第二种方法,适用于Zernike拟合,即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据,其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法,检查RSS拟合误差和拟合平滑度,如PUPIL或SPROFILE功能显示。
请注意,以前的版本中使用命令DEF,ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用,但建议您使用新格式。
1^![8>u"
这里给出一个实例:
CCW >.d/@3
'
GET 1 ,X4+i8Yc
ON 13 s)a-ky(
CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 Fo.Y6/}
SFIT L 0 18 30 %N*[{j= ^
1 POWER wtY)(ka
8.4657 31.471 4.72E-06 :o>=^N
15.027 -21.28 1.04E-05 WiS3W;
-22.266 7.0026 1.38E-05 N3n]
5.166 26.108 1.01E-05 \yr9j$
-20.408 10.799 1.41E-05 \9)5b8
-22.255 9.6561 1.27E-05 p"ZvA^d\
-9.7888 23.198 1.16E-05 d:(Ex^^
-24.157 8.4184 1.12E-05 ES~b f
-24.281 5.2749 1.20E-05 ]#)(D-i
5.1661 -22.621 1.36E-05 Q)DEcx-|,
2.883 -23.561 1.29E-05
0.42924 -23.924 1.27E-05
-1.19E-02 -25.942 1.04E-05 /?'~`4!(
3.0878 -25.328 1.09E-05 eU1F7LS
21.093 14.504 1.12E-05 $[>{s9E
17.412 19.966 1.02E-05 .Vbd-jr'M
26.045 6.9241 9.75E-06 TTz=*t+D
5.611 23.939 1.23E-05 k83K2>]
22.97 7.713 1.27E-05 tYu<(Z(l)
13.705 -21.132 1.13E-05 k$3pmy*
21.701 -11.102 1.24E-05 (,U|H`
17.7 -15.779 1.31E-05 x77L"5g
-21.769 13.317 1.13E-05 u}@N
Qeg
10.098 -19.747 1.49E-05 z1J)./BO
18.793 18.333 1.05E-05 Qn*l,Z]US
24.664 12.562 9.05E-06
J=`
8
13.136 -18.322 1.45E-05 L|CdTRgRCB
-24.876 -9.0552 1.01E-05 <fvu)
f
END
第一列X坐标,第二列Y坐标,第三列sag值。