SFIT Surface fit to data
当您想要表面的面型与(X,Y,Z)坐标(如:由数字化干涉图产生的)相匹配时,SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。(如果面型时旋转对称的,您也可以用CSAG,输入更简单)。
输入是:
 q_W	NN/w
 q_W	NN/w   f[%iRfUFw  
必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中,面型是下面的其中之一:
 -nU_eDy
 -nU_eDy   $D45X<  
这里给出22项幂级数多项式(R是轴向曲率半径):
 (57x5qP
X   BgE]xm   #7g~Um%p   0">#h
 (57x5qP
X   BgE]xm   #7g~Um%p   0">#h  Zernike多项式:
 k|BEAdQ%M   'T.> oP0>
 'T.> oP0>   Maq{H`   ]{;K|rCR-   y[}BFUy   aoCyYnZD
 Maq{H`   ]{;K|rCR-   y[}BFUy   aoCyYnZD  如果包含[L],则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词2中存在任何其他条目或空白,则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子,可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性,该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。
 H{+U;	6b  SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径,可被Zernike系数使用,其在该孔径上是正交的(默认是单位圆),也可被USS面型使用;APD是全孔径干涉图上的尺寸。
如果APS不等于APD,则(X,Y)干涉图坐标将自动缩放,以使APD处的位置变得等于APS。
如果在DEF之前打开switch 13,则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表,该列表可以与原始输入数据进行比较,以检查曲线拟合的精度。
 cW3;5  请注意,任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求:您想要拟合尽可能准确,同时您总是给出不准确的数据。物理测量,或数字化干涉图的结果,只有有限的精度。由于这些冲突,准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说,这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的,而这些点本身非常准确。
 TX	12$p\	  
处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合:较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确,但这些点之间的振荡较少,结果可能比输入数据更准确。第二种方法,适用于Zernike拟合,即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据,其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法,检查RSS拟合误差和拟合平滑度,如PUPIL或SPROFILE功能显示。
请注意,以前的版本中使用命令DEF,ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用,但建议您使用新格式。
 b9:E0/6
  
这里给出一个实例:
CCW  LtNG<n)_BH  
GET 1  kiXa2Yn*(d  
ON 13  [OMKk#vW  
CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 A]>0lB  
SFIT L 0 18 30 7$w:~VZ  
1 POWER  &18}	u~M  
8.4657    31.471    4.72E-06  )~WxNn3rx  
15.027    -21.28    1.04E-05  6)H70VPJ  
-22.266    7.0026    1.38E-05  txliZ|.O  
5.166     26.108    1.01E-05  5#iv[c  
-20.408    10.799    1.41E-05  9@^/ON\O  
-22.255    9.6561    1.27E-05  0$P40	7
  
-9.7888    23.198    1.16E-05  (D))?jnC  
-24.157    8.4184    1.12E-05  ^&.F!  
-24.281    5.2749    1.20E-05  
kH{axMNc  
5.1661    -22.621    1.36E-05  LtCkDnXk  
2.883      -23.561    1.29E-05
0.42924  -23.924   1.27E-05
-1.19E-02    -25.942    1.04E-05  &hZcjdB  
3.0878    -25.328    1.09E-05  :yw0-]/DD  
21.093    14.504    1.12E-05  y/Nvts2!C  
17.412    19.966    1.02E-05  ?Bk"3{hl  
26.045    6.9241    9.75E-06  ogPxj KSI  
5.611          23.939    1.23E-05  psYfz)1;  
22.97           7.713    1.27E-05  dp+wwNe  
13.705    -21.132    1.13E-05  rj,Sk~0Q  
21.701    -11.102    1.24E-05  U-|gtND  
17.7         -15.779    1.31E-05  :JPI#zZun  
-21.769    13.317    1.13E-05  ~r=u1]z  
10.098    -19.747    1.49E-05  m,8A2;&,8  
18.793    18.333    1.05E-05  `oq
3G }  
24.664    12.562    9.05E-06  A	8&%G8d	  
13.136    -18.322    1.45E-05  l%;)0gT  
-24.876    -9.0552    1.01E-05  Y5(`/  
END
第一列X坐标,第二列Y坐标,第三列sag值。