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    [原创]使用SFIT命令对非球面数据拟合 [复制链接]

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    在线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-01
    SFIT Surface fit to data
    当您想要表面的面型与(X,Y,Z)坐标(如:由数字化干涉图产生的)相匹配时,SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。(如果面型时旋转对称的,您也可以用CSAG,输入更简单)。
    输入是:
    /{^k8 Q  
    %O"8|ZG9{  
    必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中,面型是下面的其中之一:
    ]@{Lx>Oh"  
    BQ-x#[ %s  
    这里给出22项幂级数多项式(R是轴向曲率半径):
    yb`PMjj15  
    0,%{r.\S  
    b,xZY1a  
    jeC=s~  
    f"ezmZI  
    Zernike多项式: kBo:)Vej4  
    EW `hL~{  
    \9?[|m z  
    R;< q<i_l  
    GcBqe=/B!  
    ;*(-8R/  
    如果包含[L],则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词2中存在任何其他条目或空白,则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子,可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性,该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。
    u^Q`xd1  
    SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径,可被Zernike系数使用,其在该孔径上是正交的(默认是单位圆),也可被USS面型使用;APD是全孔径干涉图上的尺寸。
    如果APS不等于APD,则(X,Y)干涉图坐标将自动缩放,以使APD处的位置变得等于APS。
    如果在DEF之前打开switch 13,则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表,该列表可以与原始输入数据进行比较,以检查曲线拟合的精度
    ,Bk5( e  
    请注意,任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求:您想要拟合尽可能准确,同时您总是给出不准确的数据。物理测量,或数字化干涉图的结果,只有有限的精度。由于这些冲突,准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说,这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的,而这些点本身非常准确。
    7L!JP:v   
    处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合:较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确,但这些点之间的振荡较少,结果可能比输入数据更准确。第二种方法,适用于Zernike拟合,即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据,其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法,检查RSS拟合误差和拟合平滑度,如PUPIL或SPROFILE功能显示。
    请注意,以前的版本中使用命令DEF,ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用,但建议您使用新格式。
    ~>u .d  
    这里给出一个实例
    CCW Vj*-E  
    GET 1 |+#Zuq  
    ON 13 ]  ,|,/~  
    CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 #D`@G8~(  
    SFIT L 0 18 30 d][ Wm  
    1 POWER }p)K6!J0  
    8.4657    31.471    4.72E-06 :{7+[LcH7  
    15.027    -21.28    1.04E-05 .biq)L e  
    -22.266    7.0026    1.38E-05 iGyetFqKw  
    5.166     26.108    1.01E-05 t<H"J__&  
    -20.408    10.799    1.41E-05 K`4lL5oH  
    -22.255    9.6561    1.27E-05 TKDG+`TyZ  
    -9.7888    23.198    1.16E-05 g)X3:=['  
    -24.157    8.4184    1.12E-05 c!6D{(sfh  
    -24.281    5.2749    1.20E-05 .~]|gg~  
    5.1661    -22.621    1.36E-05 uFkl^2  
    2.883      -23.561    1.29E-05
    0.42924  -23.924   1.27E-05
    -1.19E-02    -25.942    1.04E-05 ;ArwEzo(  
    3.0878    -25.328    1.09E-05 !_Lmrs  
    21.093    14.504    1.12E-05 SQodk:1)  
    17.412    19.966    1.02E-05 zm_8a!.  
    26.045    6.9241    9.75E-06 pj>R9zpn_  
    5.611          23.939    1.23E-05 SDnl^a  
    22.97           7.713    1.27E-05 }`tSRB7  
    13.705    -21.132    1.13E-05 Y ;Ym=n'  
    21.701    -11.102    1.24E-05 >*-%:ub  
    17.7         -15.779    1.31E-05 &o:5lxR{  
    -21.769    13.317    1.13E-05 7)Toj  
    10.098    -19.747    1.49E-05 iU)I"#\l'k  
    18.793    18.333    1.05E-05 ?@64gdlwq  
    24.664    12.562    9.05E-06 \""^'pP@  
    13.136    -18.322    1.45E-05 iN;Pg _Kq  
    -24.876    -9.0552    1.01E-05 6!<I'M'[e  
    END
    第一列X坐标,第二列Y坐标,第三列sag值。
     
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    离线落叶
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-03-09
    这个太难理解了 5y#,z`S