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摘要 >R^@Ww;|q |KCOfVh?|. 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 m 40m<@ Y#V8(DTyH
/ l>.mK() j}HFs0<L 建模任务 J@"utY6N 1cN')" G&{HTYP PK6iY7Qp) 倾斜平面下的观测条纹 *U7%|wd KpZ:Nh$
<EX7WA 42) mM# 圆柱面下的观测条纹 w:=V@-S8 F}?<v8#z0 Va<HU:< HZJL/=; 球面下的观测条纹 GRYe< |