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摘要 $/XR/ 3^%sz!jK+ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 qcdENIy0b {WYmO1
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W@e cc|"^-j-7 球面下的观测条纹 9CW8l0 RI2Or9. t
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