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摘要 "uf*?m3 91d@/z
4+2XPaIm RZ 4xR 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 3NAU|//J |U)m'W-(q 建模任务 })RT2zw} ?@8[1$1a
(WZKqt)S"o v'gP,UO-%D 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ^wN x5t :ZG^`H/X1d
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