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摘要 9*ek5vPB D| gI3i
%"gV>E_u 2@jlF!zC 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 9x]yu6 Ij_h #f 建模任务 `at>X&Ce, :9.QhY)D
xC5`|JW !]l!I9 由于组件倾斜引起的干涉条纹 bpaS(nBy qy^sdqHl@
_yu_Ev}R abczW[\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 "b6ew2\ Od?b(bE.]
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