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摘要 &ZL3{M ew"v{=X
i;!H!-sM /4xki_} 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Mi]L]-L L[=a/|)TBV 建模任务 XoA+MuDzpo 97ql5
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o1<_fI hUYd0qEbEt 文件信息 H"qOSf{ yz0zFfiX
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