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摘要 T+T)~!{% fUf1G{4
mRAt5a#is 1/mBp+D 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Sydl[c pH$ E8av/O
VUd 建模任务 Q0"?TSY <m \Y$Wv
M{orw;1Isy CRCy)AS,t 由于组件倾斜引起的干涉条纹 j)8$hK/e0. rF[-4t
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