摘要
/6?A#%hc ]mfI$p% 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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<5Ye')+ Yg @&@S] 建模任务
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WO}l&Q 光栅特性与参数的严格分析
fPW|)e" Y 6NoNc]h 不同光栅周期下的衍射效率
Nu/D$m'PY fG *1A\t]
ym\AVRO{ ;-aF\}D@n 关于光栅周期选择的考虑
R04%;p:k# g431+O0K1
?MW*`U "7]YvZYu0 偏振相关的衍射特性
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S.: m$s miWPLnw=L 通过参数优化进行光栅设计
2H,^i, V`ODX>\ 固定周期的2D参数优化
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BA0.yS pCB^\M%*
MD"a%H#p 2D参数优化–设计1
$0kuR!U.N "7> o"FQ
}NH\Q$ IU X0QY:? 2D参数优化–设计2
D.!ay>o0# g':/hlQ
nV[0O8p2Md "e3T;M+ 制造
公差分析–设计2
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P"Scs$NOU? &Zzd6[G+ 变化光栅周期的3D参数优化
&J]|pf3m a/4!zT
Qb N7sg~~ xr;:gz!h 制造公差分析
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@4O;dFOQ) q7z;b A 走进VirtualLab Fusion
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!,SGKLs.m #`g..3ey VirtualLab Fusion中的工作流程
-(Zi @|=JXSr!KY
LH:M`\(DL1 V(?PKb-w) •构造光栅
结构 5PcN$r"P −
通过使用界面来配置光栅结构 <n+]\a97* [用例]
#NvL@bH •分析光栅衍射效率
F2N)|C< −
光栅级次分析器[用例]
#1-2)ZO. •使用参数运行搜索初始解决方案
T?DX|?2X −
参数运行文档的使用[用例]
Yn~N;VUA •通过参数优化找到最终设计
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ZT VirtualLab Fusion技术
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K3; lst>4 I6.!0.G 文件信息
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