[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 LXVm0IOFF  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 aP!a?xq  
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建模任务 nUQcoSY#  
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仿真干涉条纹 r%xp^j}  
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走进VirtualLab Fusion oZ& ns!#  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ?f1%)]>   
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•设置输入场 [p$b@og/>  
−基本光源模型[教程视频] Ve2z= 6(  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 C N"Vw  
•定义元件的位置和方向 EQyRP. dq  
− LPD II：位置和方向[教程视频] A%"XNk  
•正确设置通道以进行非序列追迹 (iP,F]  
−非序列追迹的通道设置[用例] 8doT`rI1  
•使用参数运行检查影响/变化 7t\kof  
−参数运行文档的使用[用例] )"m FlS<I  
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VirtualLab Fusion技术 +LQ2To  
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