[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 $f <(NM6?  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 t%0VJB,Q2  
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建模任务 Uiw2oi&_  
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走进VirtualLab Fusion e'NJnPO  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 E4jNA}3k+  
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•设置输入场 reu*53r]  
−基本光源模型[教程视频] UcHJR"M~c  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 -l*|M(
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•定义元件的位置和方向 i>`%TW:g  
− LPD II：位置和方向[教程视频] rpha!h>w1%  
•正确设置通道以进行非序列追迹 Gx/Oi)&/  
−非序列追迹的通道设置[用例] !c Hum  
•使用参数运行检查影响/变化 9s q  
−参数运行文档的使用[用例] dFB]~QEK  
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VirtualLab Fusion技术 +{.WQA}z\  
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