1. 摘要
m1IKVa7-\} aj"M>zd*} 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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_9?I A w~;I7: 2. 建模任务
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e+]6OV&+ =;3fq- 3. 干涉条纹的变化
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|hO~X~P p[@5&_u(z 4. 走进VirtualLab Fusion
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oP2fX_v1x gxT4PQDy 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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>MS} 8:o<ry 6. VirtualLab Fusion 技术
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oM2UzB{( 7. 文件信息
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1Fe^Qb5G W>=o*{(YO 更多阅读
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Fizeau Interferometer for Optical Testing c.|l-zAeX 5PIZh< (来源:讯技光电)