1. 摘要
=#/Kg_RKL <)p.GAZ 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
'L7qf'RV 59O-"Sc[ G[\TbPh 0|RofL&o 2. 建模任务
p"#\E0GM 00.x*v fO$){(]^ #D4 3. 干涉条纹的变化
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\Vx*)b _Z Sp$>)/ t|$jgM 4. 走进VirtualLab Fusion
+?Ii=* 7n QJ3#~GYNr F?|Efpzow? 9H/>M4RT 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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NT7 ~x^y5[5{ CtXbAcN2B %(1OjfZc 6. VirtualLab Fusion 技术
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