1. 摘要
E-rGOm" m `?"[u"* 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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xqKj&RuLu ^@maF<Jb 2. 建模任务
9(9\kQj{C 0bIhP,4&
M-f; ,> 2)`4(38 3. 干涉条纹的变化
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K30{Fcb< h {Pi]i? 4. 走进VirtualLab Fusion
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\H?r[]*c% SQBe}FlktK 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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>]8H@. \ NHzhGg] 6. VirtualLab Fusion 技术
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~d6zpQf7> 7. 文件信息
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