1. 摘要
m0p%R>:5 Z</57w#-7 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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Yy'CBIq#f (>SucUU 2. 建模任务
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I+/fX0-Lib Kz"&:&R" 3. 干涉条纹的变化
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Z,
ZkryoIQ%= $kBcnk 4. 走进VirtualLab Fusion
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v Q51-.g @^.o8+Pp 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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cHC4Y&&uZ @77+K:9I7 6. VirtualLab Fusion 技术
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e F)my 7. 文件信息
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