1. 摘要
K; hP0J liB~vdqj 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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n|=yw6aV' lr)MySsu#H 2. 建模任务
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&SZAe/3+ PMQ31f/zf 3. 干涉条纹的变化
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_6n za)OFH h9c7P@29 4. 走进VirtualLab Fusion
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>i1wB!gc8 JP]4* l 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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MS|1Q@S9 TxkvHiq2 6. VirtualLab Fusion 技术
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aQ 6T2bQ 7. 文件信息
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