[原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程三十二：鬼像分析 [复制链接]

你的镜头看起来很好，光阑设计的很好。但是当你测试它的时候，每当一个明亮的光源进入到视场中，可以看到一个糟糕的鬼像。这不是一个好结果，而且这种情况经常发生。  GB$;n?  
为了避免这种意外，你可以在MGH对话框(菜单、鬼像)，通过这些工具在设计的早期发现问题，并在完成前纠正它们。 #Q2Y&2`yGT  
ma"3qGy  
简而言之，鬼像是由镜头系统内的两次不需要的反射光引起的光的聚焦图像。 如果您有3片透镜，则有15个可能的鬼像。 有6片透镜，你有66种可能性，依此类推。 要查看其中一些工具可以执行的操作，请使用ID MIT 1至2 UM镜头对镜头1.RLE进行FETCH。 然后看看PAD显示。 { ^cV lC_  
(p2
K36,9m  
`s\?w5[  
打开MGH对话框 87D*-Gw  
bbrXgQ`s+w  
在左上角是GHOST按钮。这一特性用于近轴光线追迹来寻找鬼像，当然，它所发现的鬼像与真实光线形成的鬼像有所不同。尽管如此，结果通常很接近，你可以看到问题出现的地方。你可以给镜头中的任何一个或所有的表面分配反射系数，当程序估计它发现的每一个鬼像的强度时，它会考虑这些值。对话框以默认的1%反射率打开，应用于所有的镜头表面。单击GHOST按钮。 vI>>\.ED  
你会得到如下数据。首先分析所有表面的组合;输出的一部分如下所示。 zuUW|r  
    --- GHOST R 0.01 D#3\y*-y?  
    ID MIT 1 TO 2 UM LENS XUz3*rfs  
5H*\t 7  

S:h{2{  
    GHOST IMAGE ANALYSIS ILGMMA_2  
ogyTO
|V=  
;M)QwF1  
    --- R 0.01 ALL 9I}-[|`u  
    --- END ,P;Pm68V  
     NO.   GHOST SURF       Ymarg        U'marg        Ychief     INTENSITY ;lHr =e7  
    _________________________________________________________________________ #"@|f  
~_/(t'9  
P-?0zF/T$  
    1        2 -   1       -30.0244       -0.3778        7.3095   1.10930E-11 o,_?^'@  
    2        3 -   1        27.2543       -0.3984        4.6907   1.34627E-11 A"L&a l$i  
    3        3 -   2        63.5945       -0.2721        4.1819   2.47264E-12 Tf'hc]`vS  
    4        4 -   1       -46.5167       -0.2920        4.9249   4.62149E-12 k?+?v?I =  
    5        4 -   2       -25.1674       -0.3088        6.6272   1.57879E-11 Y$"O VC  
    6        4 -   3       -75.6813       -0.4937        4.4156   1.74591E-12 y*qVc E  
    7        5 -   1       -45.8712       -0.2619        4.0455   4.75247E-12 D]zwl@sRX:  
    8        5 -   2       -27.0481       -0.2839        6.4039   1.36686E-11 h&KO<
>  
    9        5 -   3       -72.6068       -0.4577        2.7558   1.89691E-12 ;lE%M  
    10        5 -   4        -3.4550       -0.3402        6.5304   8.37735E-10 1q7|OWFT  
    11        6 -   1         0.5515       -0.5074        4.2824   3.28758E-08 Zy`m!]G]80  
    12        6 -   2        44.1259       -0.4028        8.4078   5.13585E-12 'Gj3:-xqL  
    13        6 -   3       -38.8865       -0.5677        1.4386   6.61305E-12 PvPOU"  
    14        6 -   4        67.9018       -0.0930        9.4364   2.16889E-12 x(1:s|Uyp{  
    15        6 -   5        66.9185       -0.0241        8.9874   2.23310E-12 I>W=x'PkLn  
    16        7 -   1       -26.2150       -0.5336      -37.0598   1.45513E-11 pH9VTM.*  
    17        7 -   2        17.4775       -0.4677       31.7392   3.27372E-11 LRL,m_gt  
    18      7 -   3       -71.3906       -0.6925     -107.3067   1.96208E-12 hgPa
6Kd  
在Ymarg标题下，注意表面6和1组合的最小值0.5515。这告诉您从表面6反射，然后从表面1反射的光将到达像面，形成（近轴）弥散斑半径约1/2毫米。 这可能是个问题。 如果您的镜头很长，通过检查第二个列表更容易找出问题鬼像： !LNayk's>  
    CUMULATIVE GHOST DISTRIBUTION HiZ*+T.B  
NORMALIZED FOR DETECTOR SEMI-APERTURE        0.0100 IxY|>5z  
uvkz'R=  
0XE4<U  
  NO.  GHOST INTENS.  ACCUM. INTENS.  SURFACES Te"ioU?.  
_____________________________________________ GeH#I5y  
    6   1.74591E-12    1.74591E-12     4     3 >;e~WF>+K  
    9   1.89691E-12    3.64282E-12     5     3 ]Sf]J4eQ  
    18   1.96208E-12    5.60491E-12     7     3 KcWN,!G  
    14    2.16889E-12    7.77380E-12     6     4 wW>A_{Y  
    15    2.23310E-12    1.00069E-11     6     5 zdB^S%cztS  
    3   2.47264E-12    1.24795E-11     3     2 TM%|'^)  
    20   3.94955E-12    1.64291E-11     7     5 */`ki;\A  
    19   4.15611E-12    2.05852E-11     7     4 ?9 <:QE;I>  
    4   4.62149E-12    2.52067E-11     4     1 ]_f_w9]  
    7   4.75247E-12    2.99592E-11     5     1 0"<H;7K#W  
    12    5.13585E-12    3.50950E-11     6     2 'DP1
,7  
    13    6.61305E-12    4.17081E-11     6     3 cr7 }^s  
    21   6.62606E-12    4.83341E-11     7     6 wr$("A(  
    1    1.10930E-11    5.94271E-11     2     1 M\uiq38  
    2    1.34627E-11    7.28898E-11     3     1 L/$H"YOv  
    8   1.36686E-11    8.65584E-11     5     2 ;`0%t$@-  
    16   1.45513E-11    1.01110E-10     7     1 em%4Ap  
    5   1.57879E-11    1.16898E-10     4     2 fK>L!=Q  
    25    2.20749E-11    1.38973E-10     8     4 Cio 1E-4  
    26    2.25477E-11    1.61520E-10     8     5 -_=nDH  
    17   3.27372E-11    1.94257E-10     7     2 f,U.7E  
    24   5.08281E-11    2.45085E-10     8     3 \V;F/Zy(  
    23   5.72162E-11    3.02302E-10     8     2 ZgTW.<.%2  
    28   8.28536E-11    3.85155E-10     8     7 ` Fa~  
    10   8.37735E-10    1.22289E-09     5     4 $*^7iT4q_t  
    27   3.67946E-09    4.90235E-09     8     6 ]E5o1eeg  
    22   1.09304E-08    1.58327E-08     8     1 D+TD 95t  
03$mYS_?  
    11   3.28758E-08    4.87085E-08     6     1 `V}q-Zdy
 
在这里，鬼像被分类，最严重的鬼像显示在数据底部，并且它们计算累积的强度，并列出和总结。实际上，累积的鬼像强度，4.87E08主要是来自于那个单独的鬼像，它的强度是3.29E-9。现在我们知道鬼像从哪里来了。让我们看看效果。 ?+))}J5N\  
为此，打开名为GHPLOT.MAC的MACro。 （通过本课程，您应该知道如何使用MACro编辑器，您可以使用命令EE打开它。）这是MACro： ZF!h<h&,  
    ; GHPLOT.MAC 0"jY.*_EW  
    ; THIS EXAMPLE EXAMINES THE GHOST IMAGE IN A LENS ; IT RUNS GHPLOT IN ALL FOUR MODES. ^9v4OUG  
`KZm0d{H  
l{*@v=b(  
    CCW      ! CLEAN UP FIRST; CLEAR COMMAND WINDOW g|
o,uD  
    KAG Ouk^O}W6  
    FET 1 uy>q7C  
    CHG     ! AND CLOSE GRAPHICS WINDOWS `+]Qz =}  
    CFIX      ; FIX CLEAR APERTURES TO DELETE VIGNETTED GHOSTS ?>7[7(|  
    VIG W: z6Koc0  
    END Ogqj?]2QC  
         ; AND TURN ON VIG MODE IF OFF C7]f*TSC4  
    SSS .003 <$D`Z-6  
           ; SMALL SPOT SIZE HERE L^1NY3=$  
    GAW      ; NEED NEW WINDOW FOR EACH PICTURE (GRAPHICS ADD WINDOWS) (d(CT;  
    GHPLOT 4000 P 10 .5 0 1   ; SELECT MODE 1, INDIVIDUAL RAYS ]%;:7?5l  
    R .01 ALL   ; THIS IS ALSO THE DEFAULT REFLECTANCE )v'WWwXY>  
    PLOT k R?qb6  
U7?;UCmX  
g_;\iqxL  
    GHPLOT 20000 P 1 .5 0 2 L   ; NOW GET AN OBLIQUE PERSPECTIVE VIEW DRAD .0004 NDN7[7E  
    PLOT tj'\tW+s'  
/p/]t,-j2  
W_JlOc!y  
    GHPLOT 20000 P 1 .5 0 3 L   ; THIS MAKES COLORED BINS ./\@Km?  
    DRAD .0004 s n8Qk=K  
    PLOT akmkyrz'&  
K%t*8 4j  
D,k6$`  
    GHPLOT 400 P 1 .5 0 4 L        ; AND THIS DRAWS A SINGLE GHOST WITH PER SINGLE 6 1 bTI|F]^!  
    PER 0 0 0 1 99 x`mG<Yt
 
    PLOT '6DBs8>1  
!Lu2  
i}cRi&2[  
    GRW      ; RESTORE GRAPHICS OPTION (GRAPHICS REUSE WINDOW) %aP!hy  
GHPLOT有四种模式，在继续之前，最好先阅读他们。 由于此MACro已经在编辑器中，只需选择字符GHPLOT，然后查看TrayPrompt 。 l5~os>  
4VHn \  
于这是一个多行命令，因此提示无法显示整个格式，但如果在显示提示时按F2键，则帮助文件将打开索引中的该部分。 我们将在本课中使用所有四种模式。 对GHPLOT的第一次调用使用模式1，生成在图像平面上HBAR = 0.5处的对象点叠加的所有鬼像图像： u2t
fF  
EfqX y>W  
在视场中间确实有一个黑色的斑点。 这可能是我们之前标记过的鬼像。 模式2分析显示与倾斜透视图相同的能量分布： rjK%t|aV^  
m&d|t>3<  
那个尖峰确实是我们的鬼像。 另一种查看它的方法显示在mode-3图中： &j;wCvE4+  
|44Ploz2b  
最后，模式4绘图选出了特定的一组反射（我们所需要的）并绘制出一组子午面的扇形光线。 (O\)_#-D
 
;xy"\S]  
在这里，光从左边进入变为红色，从表面6反射后变成蓝色，然后在表面1处第二次反射后变成绿色。它确实在像面聚焦，但是有很多球差 所以鬼像不是很尖锐。 \UA[  
再看一下MGH对话框，您会看到我们还没有使用过的其他四个功能。 让我们在0.5视场区域追迹真实鬼影的路径。填写框 如图所示，然后单击RGHOST按钮。 Xu{1".\  
]>!K3kB  
输出数据： aHD]k8m z  
RTYvS5G  
HVRZ[Y<^  
    --- RGHOST 6 1 0 .5 SURF [DuttFX^x  
                           RAY VECTORS          (X DIR TAN)  (Y DIR TAN)  (INC. ANG.) -oGdk|Yn  
     SURF             X             Y            Z           ZZ           HH          UNI {$oj.V 4  
    _____________________________________________________________________________________ VG5i{1 0  
    OBJ       0.000000     0.000000     0.000000     0.000000 8.750000E-12 z'Hw  
    1    0.000000     8.750000     0.442564     0.000000    -0.056702     5.790967 ?d*z8w  
    2    0.000000     8.540210     0.142402     0.000000    -0.086503     1.334779 IW5,
7.  
    3    0.000000     8.256701     1.510615     0.000000    -0.246653    15.791928 7^avpf)>  
    4    0.000000     6.624679     0.478579     0.000000    -0.384916     5.591649 *tA1az-jO  
    5    0.000000     6.274262     0.388953     0.000000    -0.226690    13.957837 =F|{#F  
     --- RAY REVERSES AFTER NEXT SURFACE --- Zpt\p7WQ  
    6    0.000000     5.481374    -0.886627     0.000000     0.444814 +w`2kv  
        5       0.000000     6.994957    -0.483893     0.000000     1.206445 .'6gZKXY  
        4       0.000000     7.951450    -0.691073     0.000000     0.498903 10Q ]67  
        3       0.000000    10.791512    -2.647176     0.000000     0.470102 p%ki>p )E|  
        2       0.000000    12.783436    -0.319172     0.000000     0.221387 PI {bmZ  
    1    0.000000    13.505397     1.058091     0.000000    -0.095157 N%@Qf~  
    2    0.000000    13.193103     0.339970     0.000000    -0.151262 JtE M,tK  
    3    0.000000    12.414364     3.579028     0.000000    -0.404621 1C+13LE$U  
    4    0.000000    10.296378     1.164810     0.000000    -0.674892 rSY!vkLE\  
    5    0.000000     9.767857     0.947929     0.000000    -0.369535 l$KA)xbI  
    6    0.000000     8.241826     2.077523     0.000000    -0.148082 `bq
<$e  
    7    0.000000     4.247415     0.334421     0.000000    -0.153884 z^B,:5Tt  
    8    0.000000     3.743737     0.107527     0.000000    -0.282387 Q0sI(V#  
    GHOST REFLECTED FROM SURFACES    1    6 AT SURFACE    9 Z-%\ <zT  
         X              Y               ZZ             HH =IZT(8  
    --------------------------------------------------------------- 2k~l$p>CN!  
        0.00000       -0.828738         0.00000       -0.282387 s S+MqBh&I  
光线从表面6反射，然后再从表面1反射，并进入像面，其Y坐标为-0.829mm。 这确实是一个糟糕的鬼像。 =jN.1}  
如果你在设计过程的早期就发现了这个问题，那么它很容易控制。键入HELP GHOST，然后选择描述控制鬼像的链接。 .^`{1%  
T=DbBy0-  
这将打开一个描述如何控制鬼像的页面。 <_L,t 1H{  
10.3.1.5 鬼像图像控制 下一个已有目录 ~ah~cwmpS  
鬼像图像由来自一个或多个折射表面的反射引起。 SYNOPSYS可以评估和控制两种类型：GHOST程序可以显示哪些表面的组合会导致鬼像的产生，而BGI可以评估在镜头系统内的另一个位置形成的鬼像的属性。 LENq_@$  
从一个选定的近轴鬼像，为了控图像制弥散斑的大小，输入是 w{8xpAqm  
  M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL NWESP U):w  
在这里，您可以看到控制鬼像所需的简单输入。 您的AANT文件中的命令是 J3V= 46Yc  
    M    5 0.1 A PGHOST 6 1 ;nfdGB  
调整权重使其他像差很好地平衡。 如果我们达到这个目标，鬼像将是以前的1％。 5的目标有点随机; 一个面积更大的鬼像也是一个更暗的鬼像，这猜测是一个很好的开始。 I9A~Ye 5O&  
我们发现，这个过程通常会对指定的鬼像产生很大的改进。然而，另一种反射组合通常会产生新的鬼像，这就需要在优化函数中使用鬼像和另一种PGHOST像差进行另一种评估。当它们出现的时候，你把它们加起来，直到你到达一个点，在这个点上，许多鬼像的强度大致相同。我们从来没有遇到过这样的情况:这种强度高到足以成为一个问题。如果是的话，那么是需要在问题表面上使用镀膜来解决了。