[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 3v G  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |H<|{{E  
`lvh\[3^  

图片:1-191125164532947.png

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TR|;,A[%v#  
建模任务 l4DeX\ly7f  
_i.({s&_9  

图片:1-1911251A00R22.png

TLX^~W[gOm  
概述 Vzk cZK  
8\P JSr  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 fyGCfM  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I S.F
 
T?ZOHH8  

图片:1-1911251A211D3.png

G@;Nz i89  
# e$\~cPd  
光线追迹仿真 |@OJ~5H/{  
yi&?d&rK  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }t}38%1i  
•单击go！ q^u6f?B  
•获得了3D光线追迹结果。 a_xQ~:H  
b,zR5R^D;  

图片:1-1911251A23G14.png

R<_mK33hd  
5wy;8a  
光线追迹仿真 Z<w,UvJa  
rK*hTjVn  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9#s,K! !3{  
•单击go！ @ 8A{ 9i  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 q`h7H]
[(A  
sn2r>m3  

图片:1-1911251A311b4.png

}FuVY><l  
=H L9Z  
场追迹仿真 D[+|^,^>  
p.qrf7N$  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 qT 5WaO)  
•单击go！ X9p+a,  
gCjH%=s  

图片:1-1911251A335531.png

L;L2j&i%v)  
4+BrTGp  
场追迹仿真（相机探测器） k0gJ('zah  
y-D>xV
)n  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y}85J:q]  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q
f/j:  
e-&L\M  

图片:1-1911251A41O04.png

39'X$!  
fp`U?S6  
场追迹仿真（电磁场探测器） wn&[1gBxM  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ky=(urAd  
bEBZ!ghU  

图片:1-1911251A519A0.png

>1_Dk7E0D  
6nM rO$i0k  
场追迹仿真（电磁场探测器） 8 ))I$+  
Ubn
 
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nhB^Xr=  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 8^&fZL',  
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图片:1-1911251A6203V.png

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