[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 7&qunK'  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =;4cDmZh  
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建模任务 aTxss:7]  
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概述 jA?A)YNQb  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l q~^&\_#  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 g:7S/L0]  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 IVjH.BzH9  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
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•单击go！ iimTr_TEt  
•获得了3D光线追迹结果。 GWsvN&nr  
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图片:1-1911251A23G14.png

E_[|ZrIO&*  
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光线追迹仿真 &`Oj<UyJY  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7o_1PwKS6  
•单击go！ R*|y:T,H  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1tw>C\  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 Xn@\p5<  
SaceIV%(  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {]BP
Sj{B  
•单击go！ VRV*\*~$  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） $a.fQ<,\X  
dCc"Qr[k  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JcV'O)&
  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X67^@~l  
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图片:1-1911251A41O04.png

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q#s:2#=  
场追迹仿真（电磁场探测器） ;\-f7!s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E}6q;"[  
gCfAy=-,V  

图片:1-1911251A519A0.png

$23*:)&J4  
*9Ta0e*  
场追迹仿真（电磁场探测器） k@:M#?(F  
}.*"ezaZw  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5^lFksZ  

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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 oE/g)m%  
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