[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 |e]2 >NjQa  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y*KP1=Md  
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建模任务 KkCA*GS  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ]E:P-xTwaI  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 w]& o]VP  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B< 6E'  
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图片:1-1911251A211D3.png

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 (H*EZ  
光线追迹仿真 Wb;x eG  
gWK NC  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^]_5oFRIj  
•单击go！ ,5 ylrE  
•获得了3D光线追迹结果。 SBbPO5^](  
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H=a  

图片:1-1911251A23G14.png

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IW&.JNcN  
光线追迹仿真 KD*q|?Z  
A:JWUx  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 mKh<M)Bz  
•单击go！ *qN(_  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'y<<ce*  
{-'S#04  

图片:1-1911251A311b4.png

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`(dRb  
场追迹仿真 t%'0uB#v1  
M9J^;3Lrh  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ozo)}  
•单击go！ f|cF
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图片:1-1911251A335531.png

D,)^l@UP  
xdV $dDCT  
场追迹仿真（相机探测器） {R{Io|  
LqOjVQxz  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 OQC.p,SO  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {zj<nu  
: ~R:[T2P  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ]L?DV3N  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H{4/~Z  
?->&)oAh  

图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 0s%rd>3  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GA.4'W^&a  
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