[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 wVqp')e  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m.p$f$A_  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 !zvjgDlZv  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ?"*JV1 9  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 tAE(`ow/Ur  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K-~gIlbQ`  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 ;p2b^q'  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (BFwE@1"  
•单击go！ 4e/!BGkAS  
•获得了3D光线追迹结果。 rf-yUH]&S  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ]+46r!r|  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3rB0H   
•单击go！ yq49fEgc@U  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 F@k}p-e~  
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x.  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 Vi:^bv  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (
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•单击go！ }dop]{RG  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） bq9w@O  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uf90  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?!&%-R6*  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ^l|b>z"0ao  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >iae2W`
 
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） \$ipnQv  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fE+zA)KX  
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图片:1-1911251A5594c.png

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