[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 .p*D[o2 9  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w\;9&;;  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Dj&bHC5%  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dX}dO)%m{  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 ~g6[ [  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Z8n%=(He  
•单击go！ { RX|  
•获得了3D光线追迹结果。 hg/&[/eodm  
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图片:1-1911251A23G14.png

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l'8TA~  
光线追迹仿真 m)2hl~o_  
s-S"\zX\D  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MQMy Z:  
•单击go！ $5(%M8qmQ  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <Y'YpH`l  
BCB/cBE  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 fB}5,22  
d"a7{~l  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zszx@`/3  
•单击go！ U>jk`?zW  
<?}g[]i  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） ,IB)Kk2  
`g1~ya(MC  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 u;1NhD<n  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 v
@SrEmg  
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图片:1-1911251A41O04.png

3`q`W9  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Ot<!
YM  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $X]v;B)J|  
ts$UC $  

图片:1-1911251A519A0.png

EmoU7iy  
d0,F'?.0|  
场追迹仿真（电磁场探测器） haK5Oe/cE  
bG?[":k  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dK$dQR#  
O:R{4Q*5  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 g5\B-3{  
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图片:1-1911251A6203V.png

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