摘要
WiytHuUF aj`&ca8 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
0(7 IsG=t '(5GRI< m=01V5_ BX?DI-o^h 设计任务
BTkx}KK b)I-do+ '0D$C},^|8 1(o\GI3: 1级
参数优化
,s~l; Gkj 13s/m& x]c8?H9,& N_c44[z1 结果-容差分析
2$Mnwxfk <c}@lj-j ({!!b"B2 XR+
SjCA 结果-容差分析
$.jGO! =K`.$R iqDyE*a OBAO(Ke VirtualLab Fusion一瞥
<K [y~9u 5%Qxx\q 8zx]/> cT'Bp)a VirtualLab Fusion中的工作流程
6j6CA?| #|b*l/t8 构建光栅结构
gs'M^|e) −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
NpH8=H9 −
倾斜光栅高级设定[用例]
9[.HWe, •光栅衍射效率分析
2`f{D~w −
光栅阶序分析器[用例]
EsGu#lD2 •使用参数优化进行光栅参数优化
cZh0\DyU •使用参数运行的
容差分析
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aN0[6+KP; stRM*. VirtualLab Fusion技术
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Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction \L*%?~ \jC) ;mk (来源:讯技光电)