摘要
WIGi51yC.x Z_NCD`i; 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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~TtiO#,t !VpoZ 设计任务
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zuCSj~ nk:)j:fr 1级
参数优化
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EQ_aa@M7 2<3K3uz 结果-容差分析
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qQa}wcU'9p unxqkU/<Z 结果-容差分析
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Vvo7C!$z i30!}}N8 VirtualLab Fusion一瞥
Xa&kIq}(g qP
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lquLT6] ^J{:x VirtualLab Fusion中的工作流程
&,/S`ke= wuBPfb 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
ry]l.@o; −
倾斜光栅高级设定[用例]
k3|Z7eW}[ •光栅衍射效率分析
+`15le`R −
光栅阶序分析器[用例]
|y*c9 •使用参数优化进行光栅参数优化
\7_y%HR •使用参数运行的
容差分析
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1tH VirtualLab Fusion技术
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