摘要
v,i|:;G t7by OMC 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
g}MUfl-L hywcj\[ Qvp"gut)%X Q:b0M11QR 设计任务
??F* Z" x :)1"yo\ )$] lf } ]5'$EAsuW 1级
参数优化
OZ\6qMH3e 9gg{i6 @1CXc"IgA -,bnj^L 结果-容差分析
7^><Vh"qV ET.jjV &_L%wV|[ ?%5VaxWJ 结果-容差分析
DFMpU.BN W 6+$2rS$1V u1/>)_U >NUbk9}J4 VirtualLab Fusion一瞥
c'2/ C5 Q]9$dr=Kk0 FJeh=\ `<9>X9.+ VirtualLab Fusion中的工作流程
zamMlmls^ -PV1x1| 构建光栅结构
PCl5,]B} −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
CNN9a7 −
倾斜光栅高级设定[用例]
irQ'Rm[ •光栅衍射效率分析
s70Z&3A −
光栅阶序分析器[用例]
ZPZh6^cc •使用参数优化进行光栅参数优化
aDdxR: •使用参数运行的
容差分析
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1= VirtualLab Fusion技术
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