摘要
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7 UP,c | 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
-[.[>&`/ (f"4,b^] AoxA+.O `[i r}+S 设计任务
VMWf>ZU t%=tik2|7 q(84+{>B t b}V5VH 1级
参数优化
"4{r6[dn f.)O2= <RL] Qvhl4-XjZa 结果-容差分析
Ysv"
6b} Y76gJ[yjn 5=ryDrx c\j/k[\< 结果-容差分析
eJ-nKkg~a ujpJ@OWj I; rGD^ \'O"~W VirtualLab Fusion一瞥
utV_W& EADqC> }N52$L0[ =rdV ]{Wc VirtualLab Fusion中的工作流程
.7X^YKR X"%gQ.1|{j 构建光栅结构
DN6Mo<H −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
{+>-7
9b −
倾斜光栅高级设定[用例]
;RlxD 4p •光栅衍射效率分析
f3y=Wxk[ −
光栅阶序分析器[用例]
j#4kY R{ •使用参数优化进行光栅参数优化
2D5StCF$O •使用参数运行的
容差分析
dk^~;m#iN `Urhy#LC 4 #Jg9o pd$[8Rmj_ VirtualLab Fusion技术
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