摘要
c'678!r9 P 3 E~d 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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T[%)v 设计任务
hlgBx~S[ &>0ape YTtuR` .\W6XRw 1级
参数优化
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T[.T#I dV5a Ij 结果-容差分析
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8 +Yuy%VT X+:>&&9 q*h1=H52 结果-容差分析
Gm]]Z_ v7L}I[f uAWmg8 c04"d"$ x VirtualLab Fusion一瞥
jMT];%$[ l9 K 3E<g ,w+}Evp]) K]b_JDEk VirtualLab Fusion中的工作流程
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`#m>3 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
&SzLEbU! •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
hKT ]M[Pv •使用参数优化进行光栅参数优化
Mohy;#8Wk •使用参数运行的
容差分析
\n@S.Y?P (,J`!Y hS w(P\+ m <% CQq'x+{F VirtualLab Fusion技术
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