摘要
()T[$.( gXFWxT8S 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
io2)1cE&f 30j|D3- kLSrj\6I[ 5`+5{p 设计任务
@ EuFJ=h cQNs L k=ytuV\ S_(d9GK< 1级
参数优化
'-$XX%TOAc 7;:#;YSha <cN~jv-w$ i^`9syD 结果-容差分析
S56]?M|[ 7*+]wEs QP@<)`1t9 jdA
]2] 结果-容差分析
=qVP] 9 YvL?j z9/G4^qF L71!J0@a# VirtualLab Fusion一瞥
3
fj C)-^< -NGK@Yk22 k`KGB VirtualLab Fusion中的工作流程
OR6ML-| fT\:V5- 构建光栅结构
{lG@hN' −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
)Q;978: −
倾斜光栅高级设定[用例]
k3!a$0Bs; •光栅衍射效率分析
;!>Wz9 −
光栅阶序分析器[用例]
&n2e •使用参数优化进行光栅参数优化
;r\(p|e •使用参数运行的
容差分析
sUkm|K`# UKd'+R] 6aO2:|:yP '_s}o< VirtualLab Fusion技术
uLeRZSC <~U4* /hW d/H] <E|s\u 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings rt7<Q47QE -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction 5E\#%K[ o?Nu:&yE (来源:讯技光电)