摘要
13_+$DhU-L 0@mX4.! 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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RwE*0 T 1R+ )T'in 设计任务
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2cX"#."5p M:1F@\< 1级
参数优化
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&"j).Ogm4 Uc4L|: 结果-容差分析
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<{z3p:\ \,cKt_{ u 结果-容差分析
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!K^Z5A_; 7s fuju( VirtualLab Fusion一瞥
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U37?P7i's
#+ lq7HJ1 i>if93mpj VirtualLab Fusion中的工作流程
,,H$>r_; T~~$=vP9 构建光栅结构
6_&6'Vq −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
+8vzkfr3It −
倾斜光栅高级设定[用例]
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4W •光栅衍射效率分析
4ysdna\+ −
光栅阶序分析器[用例]
F6GZZKj •使用参数优化进行光栅参数优化
uSQ>oi] •使用参数运行的
容差分析
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]{6yS9_tuI ~G^}2#5 VirtualLab Fusion技术
T#_n-b> ESf7b `tS
46?F+,Rzl I&NpN~AU 文件信息
ZYD88kQ 7D~O/#dcc
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