摘要
_#nP->0) J3$Ce%< 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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A>c/q&WUk O+o4E?} 设计任务
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oo:(GfO} e0#/3$\aSV 1级
参数优化
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9_6.%qj& S4jt*]w5b 结果-容差分析
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M99gDN #e!4njdM 结果-容差分析
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_uR-Z_z 'Gw;@[ VirtualLab Fusion一瞥
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v%e-vl Au6*hv3: VirtualLab Fusion中的工作流程
KXgC]IO~ C(7Y5\"P 构建光栅结构
xF+a.gAIb −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
F=29"1 ._ −
倾斜光栅高级设定[用例]
-bamNw>| •光栅衍射效率分析
buXPeIo^VM −
光栅阶序分析器[用例]
e$E~@{[1) •使用参数优化进行光栅参数优化
T/_JXK>W •使用参数运行的
容差分析
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EzDj,!!<w Dm=Em-ST6 VirtualLab Fusion技术
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