[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 !`U #Pjp.  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 C>l (4*S  
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结果-容差分析 &@&^k$du8q  
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结果-容差分析 2zjY|g/  
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VirtualLab Fusion一瞥 3v~}hV/RUy  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 K!88 Nox(  
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构建光栅结构 z\IZ
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] y3 S T"U  
−倾斜光栅高级设定[用例] 61K:SXj  
•光栅衍射效率分析 :rmi8!o  
−光栅阶序分析器[用例] i;+<5
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•使用参数优化进行光栅参数优化 4,6?sTuX  
•使用参数运行的容差分析 oW/H8q<wY  
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VirtualLab Fusion技术 x A ZRl  
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