摘要
(3S/"ZE U*l>8 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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5|r Rla*hc~ IWd*"\L 6:X\vw 设计任务
T7X2$ ' =hb87g. KAaeaiD :H k4i%hGk 1级
参数优化
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( R9HS%O6b6 TuR?r`P% ^W*)3;5 结果-容差分析
X0L{#U )W3l{T( vIv3rN=5vB G-> @ 结果-容差分析
y$W3\`2q b .@dUuKz- l0o_C#"<S FV,SA3 VirtualLab Fusion一瞥
a_j#l(] 9 M#,+p8 iIRigW "Vy\- ^ VirtualLab Fusion中的工作流程
G*V
7*KC dRC+|^rSC 构建光栅结构
'S>Jps@ −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
!9Ni[8&Fg0 −
倾斜光栅高级设定[用例]
\}c50}#0 •光栅衍射效率分析
< duM8 −
光栅阶序分析器[用例]
q|\Cp •使用参数优化进行光栅参数优化
ywBo9|%T •使用参数运行的
容差分析
ZmF32Ir cE?J]5#^ fR{7780WZ >@W#@W*I@ VirtualLab Fusion技术
3"RZiOyv ]C^*C| #{PNdINoU -hfY:W`Dz 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings *8+YR -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
w?"l4.E% h<q``hn> (来源:讯技光电)