[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 5Tidb$L;Du  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 c~\^C_  
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设计任务 gV5mERKs  
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1级参数优化 IMy!8$\u  
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结果-容差分析 p+2%LYR u  
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结果-容差分析 ZGd7e.u=  
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VirtualLab Fusion一瞥 Pn}oSCo  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Ojp|/yd^YL  
1Zp^X:(  
构建光栅结构 Ao *{#z   
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] s*>B"#En  
−倾斜光栅高级设定[用例] $A:?o?"7}  
•光栅衍射效率分析  n4AQ  
−光栅阶序分析器[用例] DCCijN  
•使用参数优化进行光栅参数优化 c 8|&Q  
•使用参数运行的容差分析 V#DNcF~v]f  
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VirtualLab Fusion技术 x Sv@K5"8!  
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文件信息 g$Nsu:L  
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