摘要
6r.#/' " XI+GWNAmJ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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^o87qr0g] 设计任务
&n'@L9v81 K!,9qH Lz&FywF-l `t"7[Zk 1级
参数优化
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O2:1aG N9#5 P! /Un\P 结果-容差分析
8'ut[ Y?6}r;< ti^=aB
2f0mr?l)N 结果-容差分析
6j Rewj if?X^j0 PA*1]i#2M= t$&'mJ_-w VirtualLab Fusion一瞥
QM'|k6 Px3I+VP 2fgYcQ8` ;\(LovUy6 VirtualLab Fusion中的工作流程
. H}R}^ Qv<p$Up6 构建光栅结构
rJ{k1H > −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
I7\T :Q[ −
倾斜光栅高级设定[用例]
R7 rO7M! •光栅衍射效率分析
KF6N P −
光栅阶序分析器[用例]
xn>N/+, •使用参数优化进行光栅参数优化
HB,?}S#TP •使用参数运行的
容差分析
o:B?hr'\ h$#PboLd 82 dmlPwJC <G0Ut6J> VirtualLab Fusion技术
,9M2'6= |~@yXc5a kC ALJRf~d IML.6<,(Z 文件信息
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GZ/`[ KF1Zy; (来源:讯技光电)