摘要
T 5F) 7=D,D+f 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Ze[,0Y!u& `{|w*)mD 0'HQ=pP pztfm' 设计任务
16>D?;2o( zu.B>INe e=nvm'[h 51u\am'T 1级
参数优化
+4
h!;i t.dr<
C5~n^I| |RXQ_| 结果-容差分析
/z_]7] 1+gF fKq sPG500=) }h=PW'M{ 结果-容差分析
T-#4hY` JEk'2Htx -r_,#LR!l ^vPsp? VirtualLab Fusion一瞥
3%bhW9H% WrSc@j&Ycv ,zdGY]$ } lDX3h VirtualLab Fusion中的工作流程
ggL/7I( =kfa1kD&{ 构建光栅结构
$~iZ aX8& −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
71y{Dwya −
倾斜光栅高级设定[用例]
J
jm={+@+ •光栅衍射效率分析
6Iqy"MQuq −
光栅阶序分析器[用例]
.1q}mw •使用参数优化进行光栅参数优化
lcm3wJ'w •使用参数运行的
容差分析
FuBt`H ?].MnwYo #G.eiqh$a SDC'S]{ew VirtualLab Fusion技术
W;yc)JB Uns%6o Ps>:|j+ e.skE>& 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings L7Hv) -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction ",.f
ZX` \so,&, (来源:讯技光电)