摘要
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[Sv 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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.vv5t p!+L 设计任务
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DeOXM=&z gB]C&Q 1级
参数优化
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2?GXkPF2;A $d'CBsu|< 结果-容差分析
uuu\f*< r_Lu~y|
bt;lq!g RK?jtb=&A 结果-容差分析
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X# QT#b>xV)1
xM&EL>m>L ~6p5H}'H1 VirtualLab Fusion一瞥
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r+o_t2_b* ('=Z}~ VirtualLab Fusion中的工作流程
);=Q] > MzcB3pi 构建光栅结构
StEQ
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
x@htx? −
倾斜光栅高级设定[用例]
9*' &5F= •光栅衍射效率分析
P"b8!k? −
光栅阶序分析器[用例]
+|6`E3j% •使用参数优化进行光栅参数优化
iBucT"d] •使用参数运行的
容差分析
zei6S ^Sw2xT$p{j
4bnt=5] U<Vy>gIC VirtualLab Fusion技术
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