摘要
Q+mMpI eno*JK 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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||`w MWq +n,8o:fU: 设计任务
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|r}%AN6+ IS&`O=7 1级
参数优化
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kjNA~{ :m#vvH 结果-容差分析
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n/$Bd FH bcM#KA 结果-容差分析
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KG>.7xVWV7 +V2a|uvEc VirtualLab Fusion一瞥
EyBdL M|n)LyL
U&u7d$AN P Ub3,x~V VirtualLab Fusion中的工作流程
q{U -kuui dC( 6s=4 构建光栅结构
q/;mxq$ −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
&51/Pm2O −
倾斜光栅高级设定[用例]
30DpIkf •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
v/m`rc]e •使用参数优化进行光栅参数优化
P* aD2("Z •使用参数运行的
容差分析
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_KZ(Yq>SdY ++dV5 VirtualLab Fusion技术
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