摘要
h h}%Z= v:1l2Y)g 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
"wL~E Si AE!WYE y?O{J!U F48:mfj1r 设计任务
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cqzdk#2 'D%No!+Py (y|{^@ Ug^C}".& 1级
参数优化
5~k-c Ua Pc{D,/EpR .vNfbYH( {YZ)IaqZ 结果-容差分析
Q>7#</i\. hKtOh b0X*+q %(;jx 结果-容差分析
/-z_"G @iB**zR/ Na: M1Uhb ]_I<-}?; VirtualLab Fusion一瞥
V\ch0i
1 q_>DX,A \<|a>{`7]i AKx\U?ei7 VirtualLab Fusion中的工作流程
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dg ;hF >iw 构建光栅结构
s=#IoNh −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
$m:}{:LDCf −
倾斜光栅高级设定[用例]
=sRd5aMs •光栅衍射效率分析
U@yrqT@;AU −
光栅阶序分析器[用例]
mkYM/*qyM& •使用参数优化进行光栅参数优化
9 U1)sPH; •使用参数运行的
容差分析
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Z]$yuM :eS7"EG{3 Oz^+;P1 qA9*t 文件信息
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