摘要
IlLn4Iw e ^e$mtI 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
B}*V%}:) PDw{R]V+ :%_q[}e 9Z!lmfnJ 设计任务
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*n>dH 2eok@1 [}""@? q#1X[A() 1级
参数优化
(:$9%,x ZTf_#eS$ #q4*]qGHm V
4qtaHf 结果-容差分析
(Nz]h:}r L:U4N* ]XrE P"4Mm,
C 结果-容差分析
V;*pL1 2uu[52H8d% nN{dORJlx tSw>@FM VirtualLab Fusion一瞥
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;w[s VirtualLab Fusion中的工作流程
T#e4":A&x B/u*<k4 构建光栅结构
^?Vq L\V5 −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
Gmgeve −
倾斜光栅高级设定[用例]
1nXqi)&?; •光栅衍射效率分析
}B*,mn2N −
光栅阶序分析器[用例]
nL\ZId •使用参数优化进行光栅参数优化
vcOsq#UW •使用参数运行的
容差分析
z[FI2jl 1HXlHic 0Q*-g}wXfS u
S(@?m$ VirtualLab Fusion技术
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