摘要
0j;q^> ocu,qL)W 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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D te4= 设计任务
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"9 f+F *YSRZvD<\ 1级
参数优化
C;j&Vbf IVY)pS"pR"
\W]gy_=D{ mRa\ wEg% 结果-容差分析
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3{fg3? |c^ ?tR< 结果-容差分析
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H8B$#. Nte$cTjX VirtualLab Fusion一瞥
:AS`1\ C em'ADRxG+
_ OC@J*4. ?xrOhA9 VirtualLab Fusion中的工作流程
SnR2o3r-Of 4Y$\QZO 构建光栅结构
aydNSgu −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
G:p85k` −
倾斜光栅高级设定[用例]
&7oL2Wf •光栅衍射效率分析
+FAj30 −
光栅阶序分析器[用例]
lPI~5N8 •使用参数优化进行光栅参数优化
vENf3;o0 •使用参数运行的
容差分析
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l<BV{Gl 3 ye VirtualLab Fusion技术
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12 文件信息
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