摘要
T<~[vjA }u$aPS<$! 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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61;5Yo 设计任务
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vnOF$6n <'yC:HeAwD 1级
参数优化
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MbI\=>yS 结果-容差分析
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w9h5f "4-Nnm 结果-容差分析
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m!>'}z ap_+C~%+ VirtualLab Fusion一瞥
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WK5bt2x g5HqU2 VirtualLab Fusion中的工作流程
I z@x^s \)
ONy9 构建光栅结构
K%@SS8!oy −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
8+b3u05 −
倾斜光栅高级设定[用例]
+:8YMM#9V •光栅衍射效率分析
VL1z$<vVXt −
光栅阶序分析器[用例]
@WE$%dr •使用参数优化进行光栅参数优化
YLd%"H $n •使用参数运行的
容差分析
WkmS
im\Ws./
30-wTcG r>eXw5Pr7 VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ~hX'FV -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction 9e6{( MM7gMAA.mz (来源:讯技光电)