摘要
AWP CJmr .pgTp X 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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r[zxb0YA \d0R&vFHQ 设计任务
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1.0S>+^JE {|%N 1级
参数优化
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Dk5-W Vc3tKuMsiX
j(!M J'O</o@e 结果-容差分析
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=uZ[ m<wng2`NTv 结果-容差分析
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qWf7k+7G
E ?( NamBJ\2E1[ VirtualLab Fusion一瞥
I=wP"(2 DD\:glo
)eNR4nF y88FT#hR|5 VirtualLab Fusion中的工作流程
^o]ZDc T^8t<S@` 构建光栅结构
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Z7>k −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
f0fN1 •光栅衍射效率分析
z!5^UD8"W −
光栅阶序分析器[用例]
vBUx)l •使用参数优化进行光栅参数优化
{Q[{H'Oa •使用参数运行的
容差分析
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W6D|Rr.q _*1/4^ VirtualLab Fusion技术
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