摘要
;@*<M\O A%cJ5dF8~ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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0nK 设计任务
vm7ag 7@O 0RjFa;j {oS/Xa !sp`oM 1级
参数优化
pD!j#suMA UIkO_/} #uV J <MKXFV 结果-容差分析
- zUBK #iQF)x| D wRZFBf~
: J/QqwoR
结果-容差分析
($Op*bR aCJ-T8?' 9 ^8_^F voFg6zoV_ VirtualLab Fusion一瞥
T[I7.8g F|G v KF1Zy; dV{mmHL VirtualLab Fusion中的工作流程
!*3]PZ25a( qnb/zr)p 构建光栅结构
OrF.wcg −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
M~h.MPI −
倾斜光栅高级设定[用例]
J 7sH] •光栅衍射效率分析
1>/ iYf −
光栅阶序分析器[用例]
wwet90_g •使用参数优化进行光栅参数优化
6XHM `S •使用参数运行的
容差分析
@r^s70{} M?=I{}!@Q v0TbQ &JYkh > VirtualLab Fusion技术
(w#)|9Cxm r7#.DJnN. F2MC) WFzM s 文件信息
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