摘要
5Tidb$L;Du axXR-5c 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Q"LlBp>t|# &MrG ,/ 设计任务
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xTZJ5iZ17 `Y '-2Fv 1级
参数优化
IMy!8$\u $qoal
s2+_`Ogg kZ^wc . 结果-容差分析
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vL;=qkTCQ V<n#%!M5gV 结果-容差分析
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|Y+[_D} +sd':vE VirtualLab Fusion一瞥
Pn}oSCo dTU`@!f
XlwyD T(kG"dz VirtualLab Fusion中的工作流程
Ojp|/yd^YL 1Zp^X:( 构建光栅结构
Ao *{#z −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
s*>B"#En −
倾斜光栅高级设定[用例]
$A: ?o?"7} •光栅衍射效率分析
n4AQ −
光栅阶序分析器[用例]
DCCij N •使用参数优化进行光栅参数优化
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8|&Q •使用参数运行的
容差分析
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