摘要
chKK9SC+| z,4mg6gt 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
iW^J>aKy T"[]'|' xsB0LUt UPU$SZAIx 设计任务
z,G_&5|f% kFwFPK%B ey=KA t J _;H 1级
参数优化
29,ET}~ z'"7zLQ zk
FX[-'O s{Y4wvQyB 结果-容差分析
8{!d'Pks
k[D_L` u*G<? o]4\Geg$ 结果-容差分析
&jHsFS R,G*]/r` qU7_%Z X}v*"`@Q VirtualLab Fusion一瞥
}I&.xzJ e4YP$}_L Ctz#9[| qK a}O* VirtualLab Fusion中的工作流程
X`KSj
N&( tO8\} u4c 构建光栅结构
HCs^?s8Pp −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
M_};J; −
倾斜光栅高级设定[用例]
z~pp7 •光栅衍射效率分析
FKTF?4+\U −
光栅阶序分析器[用例]
5,1<A@H •使用参数优化进行光栅参数优化
&.,K@OFE} •使用参数运行的
容差分析
Kd`(^ 'd+fGx7i LigB!M N
$) G8 VirtualLab Fusion技术
<bKtAf 172 G ]=00<~ l*q [j+:2@ 文件信息
T+v*@#iJ_ iPTQqx-m$7 ;>v.(0FE6 6P1s*u 更多阅读
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings P C_! -
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