[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 u^CL }t*  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 H270)Cwn+  
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设计任务 a l6y=;\jZ  
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1级参数优化 >w,jaQ  
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结果-容差分析 k.o8!aCm  
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结果-容差分析 llWY7u"  
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VirtualLab Fusion一瞥 P3Lsfi.  
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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构建光栅结构 =s]2?m  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ^H
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−倾斜光栅高级设定[用例] Nq8 3 6HL  
•光栅衍射效率分析 m{X{h4t  
−光栅阶序分析器[用例] rwP)TJh"  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Qzo -Yw`=  
•使用参数运行的容差分析 c ^.^5@  
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VirtualLab Fusion技术 dg|x(p#  
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文件信息 D6&P9e_5  
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