摘要
Hnvs{KC` bC&xN@4 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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uF*tlaV6 设计任务
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NQbgk+&wD dlV HyCW 1级
参数优化
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`g}en%5b\ ;ejtP #$ 结果-容差分析
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j4D`Xq2X <oTNo>U/k 结果-容差分析
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<3{>;^|e \z-OJ1[F VirtualLab Fusion一瞥
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Ymcc|u6 $" HqA~q VirtualLab Fusion中的工作流程
Ot!*,%sjQ `hl1R3nBM 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
='.G,aJ9 •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
")GrQv a •使用参数优化进行光栅参数优化
6Y=MW{=F •使用参数运行的
容差分析
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7|7sA'1cM JI~@H /j VirtualLab Fusion技术
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