摘要
$V870
< .;J6)h 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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4k_y;$4WN he!Uq%e 设计任务
Vi=u}(* a7U`/*
S*l=FRFI WSxE/C|[ 1级
参数优化
X..<U}e Ghf/IXq#
nPR*mbW 'H8b+ 结果-容差分析
GR,gCtG+L c#zx" ,K
Y52TC@' s}lp^Uh= 结果-容差分析
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U|~IJU3- /l` "@ VirtualLab Fusion一瞥
Mi<l;ZP SG@E*yT1
T+j-MR}{\ Ake$M^Bz VirtualLab Fusion中的工作流程
h $)4%Fy ,1
^IFBJ 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
{k uC+~R −
倾斜光栅高级设定[用例]
rVM?[_'O •光栅衍射效率分析
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−
光栅阶序分析器[用例]
\Lg{GN. •使用参数优化进行光栅参数优化
Oj1B @QE •使用参数运行的
容差分析
YBupC!R AhU
=rN_8& RjxFlKs8 VirtualLab Fusion技术
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FT6~\9m( L2IY$+=M 文件信息
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