摘要
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kw' 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
0BQ{ZT-Kh RTr"#[ W`uq,r0Xsy {Z1KU8tp 设计任务
MM6PaD{ _+,>NJ 3
$a; |$g} &P8; 1级
参数优化
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E\ sQ.t3a3m X?o6=)SC| :7~DiH:Q
结果-容差分析
Z7> Nd$E{ kB.CeG]tk {YG qa$+\ OIDP#K 结果-容差分析
wjXv{EsMq Nw{Cu+AwG 0?cJ>)N =b, m31 VirtualLab Fusion一瞥
L;WFHIE yKy
)%i -]t>'Q? a(kY,<} VirtualLab Fusion中的工作流程
(|>rDk; D#A6s32a 构建光栅结构
1@i/N −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
AH-BZ8 −
倾斜光栅高级设定[用例]
gJ~CD1`O •光栅衍射效率分析
c
dWg_WBC −
光栅阶序分析器[用例]
tSe[*V4{' •使用参数优化进行光栅参数优化
$z`l{F4eMf •使用参数运行的
容差分析
C-\3, !#zO% > `mV^QD h^
K]ASj VirtualLab Fusion技术
Ahc9HA2 +,cd$,18 6AoKuT; X` J86G ) 文件信息
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