摘要
Bg zq yGrnzB6| 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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设计任务
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E 1级
参数优化
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v.vkQQ0[9 +]NpcE' 结果-容差分析
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S1@r.z2L Nq\)o{<1 结果-容差分析
Q=vo5)t M8 \/[R\
v<)&JlR 02tN=}Cj) VirtualLab Fusion一瞥
iC^G^ ~V+H %[9ty`UE
jq8TfJ| <exyd6iI VirtualLab Fusion中的工作流程
~)>.%`v& s|c}9/Xe) 构建光栅结构
=2DK?]K; −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
+Zr~mwM=x −
倾斜光栅高级设定[用例]
w9RBT(u •光栅衍射效率分析
aaN/HE_ −
光栅阶序分析器[用例]
=3SJl1w1 •使用参数优化进行光栅参数优化
J|be'V#]1 •使用参数运行的
容差分析
?$tD !O}e)t
re#]zc< f#!nj]}# VirtualLab Fusion技术
=5fY3%^b{ Lc[TIX
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