摘要
)o4B^kq /O@TqH 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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6 =]Gw9sge@ 设计任务
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pXnMx7 1级
参数优化
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} {m<8c J*I G]2'H n*yVfI k+nfW]UNF 结果-容差分析
J%9)&aW yv),>4_6 2^3N[pM; )7`2FLG 结果-容差分析
816OV TAd~#jB9 eW"L") CRpMpPi@} VirtualLab Fusion一瞥
<Sn;k[M}d Dej_(Dz_S vZ0K1UTEXY ]?1n-w.}r VirtualLab Fusion中的工作流程
V:Z}cfR .7 )P|&o%E 构建光栅结构
)c; YR}tC −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
Ja`xG{~Y7i −
倾斜光栅高级设定[用例]
*PSUB{i( •光栅衍射效率分析
&-e@Et`Pg −
光栅阶序分析器[用例]
,\]`X7r •使用参数优化进行光栅参数优化
\7\7i-Vo •使用参数运行的
容差分析
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