摘要
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8ayB<b>+]" 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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=*I>MgCJ e0aeiG$/0 设计任务
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z43 H] x2tx{Z 1级
参数优化
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O! ;!amvz ]ErAa"? 结果-容差分析
A}W&=m8! ;Cv x48
xr o TMq\}k-I5 结果-容差分析
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6Si z9 A]W`r} VirtualLab Fusion一瞥
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U@i+XZc"S c7sW:Yzil VirtualLab Fusion中的工作流程
gzi~BJ <w8*Ly:L 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
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•光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
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Tw\_s •使用参数优化进行光栅参数优化
X 5pp8~ •使用参数运行的
容差分析
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;EX4 VirtualLab Fusion技术
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