摘要
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#:[d_ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
T'E]
i!$ AIb>pL{ jAXR`D 4CLsY n? 设计任务
C\7u<2c 9z:K1 %dc3z"u u#1%P5r&X 1级
参数优化
wzd`l?o, {;*}WPYb ^K+:C;Q| wq UQ"d 结果-容差分析
6Opa{] TXjloGv^ E!zX)|Z< C}q>YRubZ 结果-容差分析
%<ic%gt`# D|l,08n"? pE2QnNr' } ~| k VirtualLab Fusion一瞥
P^pFqUL7# /t*YDWLg Z0$] tS %]!adro~ VirtualLab Fusion中的工作流程
Ql8bt77eI- ~O{W;Cyh 构建光栅结构
%t*[T −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
LEZ&W;bCo −
倾斜光栅高级设定[用例]
/;Yy@oc •光栅衍射效率分析
vg)Z]F=t( −
光栅阶序分析器[用例]
y%S})9 •使用参数优化进行光栅参数优化
; DDe.f" •使用参数运行的
容差分析
X P;Bhz3j 4 /'N|c. D^+?|Y@N _\\ -md: VirtualLab Fusion技术
6V1:qp/6 )u*^@Wo ^/toz).Q Lg4YED9# 文件信息
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