摘要
dP]1tAO,y <As9>5|% 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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]v G{kAnH fWGOP~0 设计任务
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参数优化
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ftk%EYT; ~n!!jM:N 结果-容差分析
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-(l@ s,*c@1f? 结果-容差分析
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=wi*Nd7L |r RG=tG_' VirtualLab Fusion一瞥
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_L.n, t>UkE9=3\ VirtualLab Fusion中的工作流程
9=dkx^q RAs0]K 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
oh#N
0
0X •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
+:jT=V"X •使用参数优化进行光栅参数优化
Ja^ 5?Ar| •使用参数运行的
容差分析
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9vGs; 3mt%!}S VirtualLab Fusion技术
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ZX`J8lZP 1@sM1WMX 文件信息
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