[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 pVOI5>f\  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 YhgUCF#  
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设计任务 98<zCSe\]  
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1级参数优化 Gj`f--2GE  
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结果-容差分析 %UmbDGDWI  
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结果-容差分析 NS5 49S  
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VirtualLab Fusion一瞥 ' C6:e?R  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 {Pvr??"r  
Ty}R^cy{d  
构建光栅结构 P6E1^$e  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] auA.6DQ  
−倾斜光栅高级设定[用例] DJJZJ}7  
•光栅衍射效率分析 XbXgU#%  
−光栅阶序分析器[用例] n8?KSQy$  
•使用参数优化进行光栅参数优化 >%i9oI<)  
•使用参数运行的容差分析 ZE ^u.>5  
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VirtualLab Fusion技术 *p"O*zj  
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