摘要
`I|$U)' jOL $kiW0 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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H_gY)m m$^Wyk} rro92(y 设计任务
5 [{l9 r;}%} /IX P|,@En 1! .U.Knn 1级
参数优化
}7p`8? #-S%aeB o6L eC* UI S\t^pJD 结果-容差分析
v@_}R_pX _P6e%O8C# t[HfaW1W JC|j*x(k/ 结果-容差分析
$ ?ayE o+{]&V->gN *E$& l":\@rm` VirtualLab Fusion一瞥
a2J01B 9FB k|g"U) TmI~P+5w Mr/;$O{ VirtualLab Fusion中的工作流程
\0gU)tVZ klkshlk d 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
}<m'Nkz<X −
倾斜光栅高级设定[用例]
x-0O3IIE •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
?K5S{qG'O •使用参数优化进行光栅参数优化
D^]g`V*N •使用参数运行的
容差分析
Tj0qq . [ PXv8K%]p Sv&_LZ-"P ScN'|Ia.- VirtualLab Fusion技术
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B 文件信息
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