摘要
6<76O~hNZ <UAP~RH{ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
_sm;HH7'* pU DO7Q] A5+5J_)* DrFu r(=T 设计任务
FAd``9kRT Gy^FrF afy/K'~ >e_%M50 1级
参数优化
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n>T:2PQ3 B<C&ay GMTor c'~[!,[b< 结果-容差分析
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qhN[Dj(d vh{9'vd3el VirtualLab Fusion中的工作流程
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*k!(ti[ 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
T(&kXMaB •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
C;%Y\S •使用参数优化进行光栅参数优化
1h{>[ 'L •使用参数运行的
容差分析
QK'`=MU kLq(!Gs EM=xd~H 44Q9 *." VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings )7k&`?Mh -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction JxnuGkE0[# -E}>h[;qZ (来源:讯技光电)