摘要
1O`V_d) 7Vy_Cec1 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
7GO9z<m) nz3*s#k\- 84WDR? Ro]Z9C>1o 设计任务
bW=q G (?Mn_FNE| %4Lo Em=U i3eF_ 1级
参数优化
V| V9. )Dz]Pv]H' wnC} TWxX \}Am]Y/ w 结果-容差分析
HF*0 NfClR HpVc tM]Gu?6 ,cNe-KJk 结果-容差分析
D>y5&` BI?, 3 59zWB,y(P B{)#A?Rh. VirtualLab Fusion一瞥
HTYyX(ya n$C-^3c &9flNoNR9 R5ra*!|L) VirtualLab Fusion中的工作流程
(B4)L% 2A\b-;4EP 构建光栅结构
,y]-z8J −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
C4(xtSJSd! −
倾斜光栅高级设定[用例]
#$Zx ].[lc •光栅衍射效率分析
L(yUS)O −
光栅阶序分析器[用例]
u9 &$`N_G •使用参数优化进行光栅参数优化
"|X'qKS(H{ •使用参数运行的
容差分析
`/[5/% dE"_gwtX O5r8Ghf) '!^7 *@z VirtualLab Fusion技术
=Q<VU/ /[_aK0U3 e#/&A5#Ya sY!JB7!j 文件信息
Q!q6R^5!K 5@5*}[M y!1X3X,V H/{@eaV 更多阅读
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