摘要
z^Q'GBoBA ZsGvv]P 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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3!=b Gvb2>ZN "gJ?LojB < $:ush"=f8^ 设计任务
8-$t7bV5 'o$j~Mr b|#=kPVgL} nF3}wCe) 1级
参数优化
0RR |!zEu Mk!Fy]3 4;`z6\u9- rb?7i&- 结果-容差分析
R|;BO:S1 oqrx7+0{ >KKWhJ ]8$8QQc<<5 结果-容差分析
*X5)9dq bzN[*X| }~FX!F#oU 6Yai?*.Q VirtualLab Fusion一瞥
U?[ ( W/'1ftn?D q8 v iC| hCxg6e<[ VirtualLab Fusion中的工作流程
]HKt7 %, ?d')#WnC 构建光栅结构
(qn=BPI −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
CTMC78=9} −
倾斜光栅高级设定[用例]
G|i0n
•光栅衍射效率分析
yi7.9/;a −
光栅阶序分析器[用例]
r"H::A •使用参数优化进行光栅参数优化
;QI9 OcE@/ •使用参数运行的
容差分析
/$^Tou/v I{Du/"r# F)3+IuY '/Aq2 VirtualLab Fusion技术
An2>]\L 6<&~R3dQ *d._H1zT Hv6h7- 文件信息
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