摘要
>P. 'CU o'%eI 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
qI3NkVA'C sP$Ks#/ T,JA#Rk|1N +1;'B4 设计任务
_ :^7a3I $1*3!}_0 }{],GHCjQ gY9\o#)< 1级
参数优化
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& 结果-容差分析
XY+y}D
% mgkyC5)d "2Op[~V $EBb"+Y'T 结果-容差分析
0-2"FdeQU Qu~*46?0 m s~8QL :mv`\ VirtualLab Fusion一瞥
;rBp1[qVe (v#pj8aE cBEHH4U [6gO VirtualLab Fusion中的工作流程
MC=G "m:_ hG Apuy 构建光栅结构
RIhOR8) −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
&2.+Igo|G −
倾斜光栅高级设定[用例]
Rrqg[F + •光栅衍射效率分析
OV5e#AOy) −
光栅阶序分析器[用例]
J4yt N3 •使用参数优化进行光栅参数优化
,86K •使用参数运行的
容差分析
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VirtualLab Fusion技术
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