摘要
/r Hd9^Y k/yoRv% 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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I7hE(2!$ [ENm(e$sI 设计任务
IR,`- ;_GS<[A3
M3350 `2y2Bk 1级
参数优化
MkG3TODfHB l Ud/^u`
8M;VX3X t3.;W/0_ 结果-容差分析
e`fN+ N*N@wJy:5
SNB> vlAYKtl3] 结果-容差分析
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K)c`G_%G ixZ w;+h VirtualLab Fusion一瞥
00 Qn1 mdW8RsR
P)Vm4u
1 !fXw X3B VirtualLab Fusion中的工作流程
s)ymm7? Ai&-W 构建光栅结构
&R:$h*Wt| −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
47b=>D8 −
倾斜光栅高级设定[用例]
8{aS$V" •光栅衍射效率分析
SnsOuC5Ah −
光栅阶序分析器[用例]
,C%fA>?UF8 •使用参数优化进行光栅参数优化
~{7/v •使用参数运行的
容差分析
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T2-n;8t <u2rb6 VirtualLab Fusion技术
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