摘要
Tm_vo- lw? f2_fi 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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quf,ZK5 Bw"L!sZ 设计任务
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vsoj] R$C 8ne'x!1 D 1级
参数优化
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|82V`CV v{=-#9-4
& 结果-容差分析
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xzMa[D4( 'y}A3RqN 结果-容差分析
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jRB:o?S o LX6w VirtualLab Fusion一瞥
&)fPz-s uzZ|w+3O
sj. eJX"z wGISb\rr VirtualLab Fusion中的工作流程
V}9wx%v 5qG7LO. 构建光栅结构
|=38t8Ge& −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
I U4[}x −
倾斜光栅高级设定[用例]
;=)CjC8) •光栅衍射效率分析
Rl3KE)< −
光栅阶序分析器[用例]
%DPtK)X1 •使用参数优化进行光栅参数优化
]pb;q(?^ •使用参数运行的
容差分析
r-Z' N4fuV?E`
[b;Oalw ~z|/t^ VirtualLab Fusion技术
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