摘要
5d)\Z0s M-C>I;a 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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+M,FgW <bh!wf6; 设计任务
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MQo/R,F } h)X"<a++N 1级
参数优化
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8fb<hq< T2XLP 结果-容差分析
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M#SGZ~=1r <e-hR$ 结果-容差分析
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vu_ u\2d 5?Rzyfwk| VirtualLab Fusion一瞥
Q::_i"?c b./MVz
+J2;6t 0JV|wd8j VirtualLab Fusion中的工作流程
SbD B[O% 2zbV9Bhq 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
j55OG~) −
倾斜光栅高级设定[用例]
&MP + •光栅衍射效率分析
WCwM+D −
光栅阶序分析器[用例]
*o#P)H •使用参数优化进行光栅参数优化
UiN6-{v<2 •使用参数运行的
容差分析
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[?VkwFD0 VirtualLab Fusion技术
QlH,-]N$L xdrs!GV:
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