摘要
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( 5eC5oX> 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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r*/Pyh Tk-PCra 设计任务
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qEE3x>&T] f8! PeQ? 1级
参数优化
A.vcE ~?vm97l
Sv-}w$ [pbX_ 结果-容差分析
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q*A2>0O jh]wHG 结果-容差分析
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~}4o=O( -!MDYj +U VirtualLab Fusion一瞥
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0+8ThZ?n Ts;W,pgP VirtualLab Fusion中的工作流程
t1B0M4x9 d\, 4Wet;# 构建光栅结构
ywk; −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
8N6a= [fv< −
倾斜光栅高级设定[用例]
h^>kjMM •光栅衍射效率分析
5vYh~| −
光栅阶序分析器[用例]
KLqu[{y.' •使用参数优化进行光栅参数优化
%@Ks<"9 •使用参数运行的
容差分析
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xbo-~{ v! @/ VirtualLab Fusion技术
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