摘要
l, j0n0h. 4aG}ex-s| 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
,h.hgyt !Ee&e~" 4HyD=6V# Kuh)3/7 设计任务
05;J7T<
iD:TKB_r kfy|3KA3m ;7g~4Uv4} 1级
参数优化
>):>Pz%U FX/f0C3CK e]smnf 3n1 >+8 结果-容差分析
V"|j Dnn5 2!}rHw Z]^O=kX7k +\MGlsMK@. 结果-容差分析
2B]mD-~ M}9PicI?7 c nV2}U/\ <#7j~ < VirtualLab Fusion一瞥
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hC VirtualLab Fusion中的工作流程
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-PlGn w'P!<JaZ 构建光栅结构
?) VBkA5j −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
nnMRp7LQ- −
倾斜光栅高级设定[用例]
`HsI)RmX •光栅衍射效率分析
:Pi=" −
光栅阶序分析器[用例]
e>$E67h<~ •使用参数优化进行光栅参数优化
(rjv3=9\3 •使用参数运行的
容差分析
MH_3nN 6Y}Bza GP=&S|hi ~*ll,<L: VirtualLab Fusion技术
KoTQc0b! }%k3 s;YuB#Z hxsW9 文件信息
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