[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 hcD.-(-;)  
]O
M?e  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 3DrW[\  
qB=%8$J  

图片:1-19110G51512293.png

rOq>jvy  
cA B^]j  
设计任务 9O#?r82  

N%8aLD  

图片:1-19110G51541c6.png

'#Y[(5  
T`^LWc"  
1级参数优化 ZGWZ2>k
  
"/U~j4O  

图片:1-19110G516302b.png

xHdv?69,  
]a=Bc~g91  
结果-容差分析 5},kXXN{+  
?t];GNU`l  

图片:1-19110G51HWc.png

#_OrS/H  
C")NNs=  
结果-容差分析 79
(Px2H2  
< {dV=  

图片:1-19110G51K2c1.png

&8wluOs/5  
5;-?qcb^w  
VirtualLab Fusion一瞥 S~LTLv:>  
e!~x-P5M`  

图片:1-19110G51Q9D8.png

rn8t<=ptH3  
,t_Fo-i7vI  
VirtualLab Fusion中的工作流程 '
fm}&0  
m`lsUN,  
构建光栅结构  =:-x;  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] L>EC^2\  
−倾斜光栅高级设定[用例] *b0f)y3RV  
•光栅衍射效率分析 LAwAFma>  
−光栅阶序分析器[用例] 0Bpix|mq  
•使用参数优化进行光栅参数优化 9>"To  
•使用参数运行的容差分析 [8QE}TFic  
%A<|@OSdOa  

图片:1-19110G51933119.png

hVcV_  
LMvsYc~]q  
VirtualLab Fusion技术 y$e'-v  
%r*zd0*<n1  

图片:1-19110G52045463.png

`)W}4itm  
W|FPj^*t  
文件信息 PiRbdl  
>aZ$x/U+Iw  

图片:1-19110G52110458.png

Uv06f+P(  
y8KJoVPiM  
更多阅读 (Js'(tBhiU  
- Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings .hCOi<wB  
- Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction  R9->.eE  
46dh@&U