摘要
)B"jF>9)[ [+2[`K
c] 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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}eCw6 %KCyb 设计任务
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参数优化
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>^ { 结果-容差分析
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]R+mKUZ9 d~9A+m3b_ VirtualLab Fusion一瞥
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ePOG}k($/% $t$ShT) VirtualLab Fusion中的工作流程
($q-_m Nyku4r0 构建光栅结构
Z;ht −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
%f&/E"M •光栅衍射效率分析
,;EIh} −
光栅阶序分析器[用例]
|XaIx#n •使用参数优化进行光栅参数优化
Z)I+@2 •使用参数运行的
容差分析
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