摘要
I{=Qtnlb [j+ sC* 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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\1M4Dl5! 'PW5ux@`< 设计任务
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>uEzw4w ((%? `y 1级
参数优化
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-X6PRE5a2 W=+ Y|R! 结果-容差分析
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qwAT> 4 !U Ln7\@ 结果-容差分析
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-M#Wt`6A <b*DQ:N VirtualLab Fusion一瞥
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M&M 6;Ph ]A_`0"m.U VirtualLab Fusion中的工作流程
9H1r O8k lq7E 4r 构建光栅结构
2y1Sne=<Kb −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
DzRFMYBR −
倾斜光栅高级设定[用例]
VuZr:-K/ •光栅衍射效率分析
:\_ 5oVb −
光栅阶序分析器[用例]
9%obq/Lb •使用参数优化进行光栅参数优化
\o3gKoL% •使用参数运行的
容差分析
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1X1dG#: #,'kXj VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings K)iF>y|{*q -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction _,*r_D61S &BSn? （来源：讯技光电）
