摘要
3Aaj+=]W ;PaB5TT( 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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US aP8Im1<A 设计任务
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参数优化
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i.cSD%* IAnY+=^ 结果-容差分析
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/Ia=/Jj7N @)<uQ S 结果-容差分析
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5y=X?hF~) TUy*wp9 VirtualLab Fusion一瞥
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<FS/'[P >P\Tnb"Q\ VirtualLab Fusion中的工作流程
DbPw)aCj jt3s;U* 构建光栅结构
SwC,=S −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
En5Bsz! −
倾斜光栅高级设定[用例]
L2{to f •光栅衍射效率分析
Mk@ _uPm −
光栅阶序分析器[用例]
!!2~lG<] •使用参数优化进行光栅参数优化
e{=7,DRH< •使用参数运行的
容差分析
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