高性能中档行程线性平移台

发布:shsources 2019-11-06 17:44 阅读:2135
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9wMEvX70  
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品牌:Newport ^@"c`  
概述:ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。 ,LZ(^ u  
优势特点: rKp1%S1  
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠,可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应,从而延长平移台的使用寿命 4+Ti7p06&\  
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹,循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题,该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 O<`,,^4w/  
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 (3O1?n[n  
^IgS  
集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 u~}%1  
b0YNac.l  
技术参数 f~*K {7  
行程范围 150 mm x.\XUJ4x  
最大速度 100 mm/s @/(@/*+"  
最小位移增量 1000 nm {MxnIg7'  
中心负载 250 N Bk@WW#b  
轴向负载 (+Cx) 40 N #TATqzA  
逆轴向负载 (-Cx) -40 N 045\i[l=  
精度,典型值 ±1.5 μm :l`i4kx  
精度,保证值 ±2.5 μm  "l2bx  
单向重复精度,典型值 ±0.25 μm qguVaV4Y  
单向重复精度,保证值 ±0.5 μm {XHk6w *-  
双向重复精度,典型值 ±0.45 μm N8 M'0i?  
双向重复精度,保证值 ±1.0 μm I%i:)6Un-y  
俯仰,典型值 ±37 μrad G4m4k  
俯仰,保证值 ±75 μrad HEpM4xe$  
俯仰顺应性 10 μrad/Nm k9&@(G[K3  
偏摆,典型值 ±20 μrad Q"'V9m7 i  
偏摆,保证值 ±65 μrad m>YWxa   
偏摆顺应性 10 μrad/Nm   6F-JK1i  
滚转顺应性 15 μrad/Nm   AsAFUuI  
驱动方式 DC Motor ls]H6z*q  
反馈 Rotary Encoder
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