高性能中档行程线性平移台

发布:shsources 2019-11-06 17:44 阅读:2141
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品牌:Newport ;923^*\:F{  
概述:ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。 ,]-A~^|  
优势特点: G7H'OB &  
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠,可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应,从而延长平移台的使用寿命 A+F@JpV  
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹,循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题,该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 :[7.YQ   
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 W=T,hOyh<W  
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 w97B)Kn6  
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技术参数 n+uDg  
行程范围 150 mm 4';(\42  
最大速度 100 mm/s 4vRIJ}nQ  
最小位移增量 1000 nm z8hAZ?r1`  
中心负载 250 N ' fP`ET5  
轴向负载 (+Cx) 40 N W02swhS  
逆轴向负载 (-Cx) -40 N ;?0r,0l2$  
精度,典型值 ±1.5 μm }F4   
精度,保证值 ±2.5 μm B>W!RyH8o  
单向重复精度,典型值 ±0.25 μm E`>u*D$un~  
单向重复精度,保证值 ±0.5 μm 4E DwZR>./  
双向重复精度,典型值 ±0.45 μm . 'rC'FT  
双向重复精度,保证值 ±1.0 μm 96 !e:TU  
俯仰,典型值 ±37 μrad 3F6=/  
俯仰,保证值 ±75 μrad iSxuor ^;  
俯仰顺应性 10 μrad/Nm j -j,0!T~b  
偏摆,典型值 ±20 μrad |v%xOl  
偏摆,保证值 ±65 μrad )S6"I  
偏摆顺应性 10 μrad/Nm   z wJ Vi9sO  
滚转顺应性 15 μrad/Nm   ON<X1eU  
驱动方式 DC Motor X6Hd%}*mN  
反馈 Rotary Encoder
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