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    [求助]机台清机前后分光偏移过大 [复制链接]

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    离线孔鑫鑫
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-09-24
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余3枚光币 (中奖几率10%)
    机台清机后7层AR膜朝短波偏移50个纳米，机台是成都四盛的1350，晶控镀膜，温度280，3.0-3镀膜，涉谷的电子枪，清机周期为一个班10天，各位大神帮忙分析一下什么原因，谢谢啦
     
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    离线孔鑫鑫
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-09-25
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    离线孔鑫鑫
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-09-25
    一图清机后，2图清机前，三图和一图重复
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    离线孔鑫鑫
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-09-25
    机台是一年多一点的新机台，蒸发速率H4、MGF2都是5Ã/S
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    离线淡小疼
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-09-25
    第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况？
    共2条评分 ，光币+4
    孔鑫鑫 光币 +2 - 2019-09-28
    孔鑫鑫 光币 +2 - 2019-09-26
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    离线孔鑫鑫
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-09-26
    已经连续两次了，我也是刚到这边没多久
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    离线超级便当盒
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2019-09-26
    挡板位置有偏差？
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    离线sosjinyan
    技术员
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    只看该作者 7楼 发表于: 2019-09-26
    我用的光驰机   晶控。 也有这个情况，特性无缘无故左移。 6年时间  大概出现过4-5次左右吧 sqpOS!]  
    用的AL2O3  H4  MGF2。     看镀膜记录   看不出来毛病，再试就OK了。
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    离线sosjinyan
    技术员
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    只看该作者 8楼 发表于: 2019-09-26
    感觉    光控机 没有这个问题。  但是光控机   之前遇到个  奇怪的问题。 反射率曲线整体上移2% 左右具体给忘了。 P&%eIgAOL  
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    离线孔鑫鑫
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2019-09-26
    回 超级便当盒 的帖子
    超级便当盒:挡板位置有偏差？ (2019-09-26 16:55)  ]dHB}  
    iIsEQh  
    挡板正常，机台均匀性正常
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