[求助]机台清机前后分光偏移过大 [复制链接]

应该是真空放气造成的。 T@n};,SQ  
清机后护板表面水气会比较多，会影响真空度。 IhK%.B{dZ  
另外你清机时门打开时间过长，真空仓内又比较脏，也会吸收很多水气。 R+Ug;r-[  
^Q!A4qOQ  
建议把侧壁加热开到最大，抽个两小时，同时镀个几层膜。

淡小疼:第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况？ (2019-09-25 22:09)  p>W@h*[6w  

9N6 \Ou~  
这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？

工艺是否充氧？ &/g^J\0M)  

孔鑫鑫:这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？ (2019-09-28 10:43)  l\|sHn/  

M0`1o p1  
新灯丝配合旧的枪头是会有这种现象。 '~1Zr uO  
新灯丝表面比较光滑，旧枪头的卡槽间隙一般也会比较大。 WuTkYiF  
卡槽卡不住灯丝，点着后由于热胀冷缩，位置就不稳定。 lr@
w1*  
灯丝烧一段时间就好了。 s^Xs*T@~h  
<5}j(jxz}  
这种情况下只有换灯丝夹

大清机器一般会造成抽气速度快,介质折射率发生变化,成膜条件与定标条件不一直,又是晶控,介质膜往短波方向漂移,如果想保持一致性,建议每两炉换一块衬板,不要一次性换完,特别是用繁枫的扩散泵会有轻微返油,大清把油处理后,再加上所有清洗的衬板,头几炉建议多抽气烘烤几次,当然最好还是找到适合自己机器的清理方式,让每次镀膜机器内部环境接近一致

孔鑫鑫:已经连续两次了，我也是刚到这边没多久 (2019-09-26 08:32)  bf{_U%`  

5FF28C)>/  
晶控机清机完肯定会往短波偏的，清完机第一炉先试镀，你观察下每次偏移是否稳定有规律，如果是规律的每次补偿就是了，还有检查补正板、光斑、真空度这些是否前后一致

学习了，的确有此现象，但原因不明！

10天清一次机台没有对比性啊！

正常保养前后20NM偏移，你这个有些多了，多弄几次找准规律就行了。

是否是修正板升起的高度有变化了？