切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 3541阅读
    • 8回复

    [求助]如何提高蒸发速率？ [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线xiezhizhi
    技术员
     
    发帖
    253
    光币
    40
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-07-17
    南光镀膜机。直接水冷无氧铜坩埚，涉谷电子枪。镀锗蒸发速率只有1A/s 电子枪束流230毫安真空度1.0*10-3pa。请问如何提高蒸发速率。
     
    回复
    举报
    分享到
    离线ouyuu
    论坛版主
    发帖
    556
    光币
    3323
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-07-17
    速率是晶控控制的。调晶控参数

    楼主留言：

    速率设定是3A/S束流230mA了还可以增加。因为没镀过锗不知道速率可以达到多少。膜料液化在坩埚里跳动的厉害再加电流怕会喷料
    回复
    举报
    在线lilisrlhj
    工程师
    发帖
    62
    光币
    2885
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2019-07-19
    锗料经常会遇到这种状况，多数增加蒸发功率也无法达到需要的蒸发速率，建议从电子枪和坩埚入手检查，建议换小口径的坩埚材料用石墨的比较合适。

    楼主留言：

    多谢 正在坩埚这条思路上实验。
    回复
    举报
    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
    发帖
    337
    光币
    542
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2019-07-20
    没有镀过，来学习的。
    回复
    举报
    离线淡小疼
    助理工程师
    发帖
    266
    光币
    133
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2019-07-21
    换个材料的坩埚
    回复
    举报
    离线opticsrain
    实习生
    发帖
    59
    光币
    27
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2019-07-28
    晶控参数和电子枪功率的改变不管用的话，可以调整电子束扫描范围试试。
    回复
    举报
    离线xiezhizhi
    技术员
    发帖
    253
    光币
    40
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2019-08-06
    }xJ ).D  
    石墨坩埚解决问题
    回复
    举报
    离线wqc1987
    认证会员
    发帖
    34
    光币
    55
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-11
    请问楼主，用石墨坩埚溅料吗，我使用石墨6A速率跟放花一样，不知道石墨和锗料谁的问题，望楼主点拨一二，不胜感激
    回复
    举报
    离线renlgj
    技术员
    发帖
    199
    光币
    68
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 08-22
    跟着学习吧
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表