[求助]镀膜膜层越厚，玻璃就容易出现白浑现象？是不是吸收引起的，该如何解决？ [复制链接]

膜层越厚白浑现象越严重，是不是吸收引起的，该如何解决呢？

同问，帮顶一下

可能是离子源强度不够或者镀膜速率太快。

镀膜温度多考虑一下，一般温度太高速率偏低都会出现这个现象，同时需要检测浊度这一指标，如果浊度也比较高，那么你的离子源能量与充的气体不匹配了。

首先，你说的膜层越厚指的是单层镀厚就有还是多层才有，其次镀膜用的是什么材料。

以氧化钛为例，当给定的参数（沉积速率太快，温度太高，离子源工艺不对）不够好时，薄膜生长结构会出现结晶状态，会产生薄膜散射，也就是强光下可以看到薄膜发雾的现象。充氧不足也会导致吸收，但是不会发雾，吸收和散射本身是不一样的。镀厚之后，因为应力等问题，发雾现象会更加明显。最后表现出来可能就会有白浑的现象。 ?mG ?N(t/h  
解决这种问题，首先要把单层时不发雾的工艺找好，其次多层时考虑应力的问题。

个人经验觉得5楼说得有道理，散射是白雾现象的最大可能原因，还是以先做好材料的单层膜，稳定好膜料的工艺再做复杂膜系更加合适。

学习了，很实用。

很详细的说明，涨知识了

以氧化钛为例，当给定的参数（沉积速率太快，温度太高，离子源工艺不对）不够好时，薄膜生长结构会出现结晶状态，会产生薄膜散射，也就是强光下可以看到薄膜发雾的现象。充氧不足也会导致吸收，但是不会发雾，吸收和散射本身是不一样的。镀厚之后，因为应力等问题，发雾现象会更加明显。最后表现出来可能就会有白浑的现象。 s)~Q@ze2  
解决这种问题，首先要把单层时不发雾的工艺找好，其次多层时考虑应力的问题。