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    [分享]镀膜元件低频面形参数的有限元模拟及分析方法 [复制链接]

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    离线ka2012
    技术专家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-06-19
    关键词： 镀膜有限元
    摘要：利用有限元法对基片镀膜引起的变形量进行了模拟，通过数据转换将模拟结果输入Metropro 8.3.5面形处理软件，得到了低频面形参数变化量。对比模拟结果与实测结果，发现两者非常接近。利用该方法实现了形状复杂、口径较大镀膜基片面形参数变化量指标的预估，使得镀膜元件面形主动量化控制成为可能。 q=|>r n_  
    Q0nSOTQ  
    关键词：薄膜，低频面形参数，有限元模拟，大口径基片
    附件: 镀膜元件低频面形参数的有限元模拟及分析方法.rar (1454 K) 下载次数:11 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+16
    ouyuu 光币 +11 优秀文章，支持！ 2019-06-19
    cyqdesign 光币 +5 - 2019-06-19
     
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    离线wangqinqinmm
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-06-21
    针对透镜还是窗口
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    离线蓦然知回路
    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-03-26
    是平面吗？非球面这种的能算吗？
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