synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 S]mXfB(mh
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 ukb2[mb*u
QxG:NN;jW
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 H4p N+
~6L\9B)
{ A / S / MUL / DIV } name Q$Qs$
iV;X``S
其中name是如下之一 : 5D9I;L{
kaf4GME]
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC SVWtKc<
!PJD+SrG
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA >utm\!Gac
*-"DZ
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP k2DT+}u7G
}bIbMEMn
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 m [7@l
:@#'&(#~
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。