synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 Rb EKP(uw
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 s9 @Sd
iG#}`
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 :Wc_Utt
{e"dm5
{ A / S / MUL / DIV } name 1y(UgEg
Z+4D.bA
其中name是如下之一 : @ }&_Dvf
O6X"RsI}
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC /&^W#U$4
MjD75hIZ
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA Jxa4hM0
.X'p q5
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP yCP4r6X0
@kxel`,$e
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 r^1+cwy/7P
5)UQWnd5
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。