synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 +2&@x=xy
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 9|gr0~j
O%5
r[
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 r'HtZo$^R
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{ A / S / MUL / DIV } name `</ff+Q6
*&^:T~|=!
其中name是如下之一 : [nrYpb4
K|hjEQRv
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC |n,<1QY
bj>v|#r^
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA <YhB8W9 P
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SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP 4;0lvDD
lrIS{MJ+-
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 ,>0* @2
(2^gVz=j
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。