synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 Bs}>#I
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 \f#ao<vQm
l-EQh*!j
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 lsCh K
eH{ 9w8~
{ A / S / MUL / DIV } name TVA1FD
9_{!nQC.g
其中name是如下之一 : FeLP!oS>
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SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC ^EOjq
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SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA %\0 Y1!Hw
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另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 y
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SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。