synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 uDSxTz{
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 ^:* 1d
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YH_7=0EJ
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 ~JDnKo
Bk\Gj`"7
{ A / S / MUL / DIV } name jDN ]3Y`
k{$ ao
其中name是如下之一 : D<X.\})Md
A7`1-#
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC ${nX:!)
<u:WlaS
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA *"r~-&IL
B8%{}[q
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP GSQ/NYK
d)R352
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 j>/ ,$H
`TPOCxM Mo
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。