synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 +-hmITJv
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 wrbDbp1L
l_:%?4MA
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 {8' 5
fOVRtSls
{ A / S / MUL / DIV } name utr_fFu
Z(L>~+%
其中name是如下之一 : {)mlXo(On
rhrlEf@
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC <\5{R@A*6
157X0&EX
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA nMhc3t
Z]tz<YSkG
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP P.o W#Je
Y3[@(
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 Oe$C5KA>LW
4t":WutC
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。