synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 /PaS<"<P@
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 \PN*gDmX
a+v.(mCG
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 g/$RuT2U
z [[qrR
{ A / S / MUL / DIV } name 8hww({S2
3;z1Hp2X
其中name是如下之一 : ]Gm4gd`
TW 1`{SM
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC 3<)][<Ud
VSUWX1k4%
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA |a7Kn/[`,
90abA,U@
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP $HOe){G
A?n5;mvq#
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 7R5ebMW
V
:_HdOm
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。