synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 SnFk>`
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 59%tXiO
` bdZ/*E
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 Q<KvBgmT
r4QxoaM
{ A / S / MUL / DIV } name UQ +?\wi*
2A\,-*pc
其中name是如下之一 : e][B7wZ
`X`2:@gQ
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC baP^<w^
,Vh{gm1
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA )*Q-.Je/U
"7v @Rye
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP m<w"T7
&CIVL#];e
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 g =2Rqi5
e+j)~RBnu3
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。