synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差
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直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 [-81s!#mkw
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最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 T|j=,2_
V$oj6i{ky
{ A / S / MUL / DIV } name ~2yhZ
QFoCi&
其中name是如下之一 : }jU)s{>fb
P"t Dq&
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC eNM"e-
)vg@Kc26
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA - DYH>!
qPJSVo
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP qV,x )y:V
cWo__EE
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 "Vp:Sq9y
ac966<#
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。