薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6952
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 |Cv!,]9:r  
y[;>#j$  
dO'(2J8  
目录 ?uu*L6  
第一篇 薄膜元学基本理抢 j2k"cmsKh  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ch]IzdD  
1.1 麦克斯韦方程 1 kiEa<-]  
1.2 平面电磁波 6 HMXE$d=[  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 -7ep{p-  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 5pX6t  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 {}9a6.V;}  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 YK_ 7ip.a[  
1.4 电磁波谱、光谱 10 =_CzH(=f#  
习题 12 Mx}gN:Wt  
参考文献 12 VY-EmbkG-t  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 81F9uM0  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 =;L|gtH"  
2.1.1 S波反射与透射 14 [^iN}Lz  
2.1.2 P波反射与透射 16 -"x$ZnHU  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ZJoM?g~WFI  
2.2.1 S 波反射与透射 18 :gv"M8AP  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ).O)p9  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 }MySaL>  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 &]Tmxh(  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 0-gAyiKx?  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 5P bW[  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 4g/dP^  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 *~`(RV  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 :FF=a3/"6  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 e-;}366}  
2.5.2 全透射 37 `[A];]  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 lE;!TQj:X  
2.6 反射率和透射率 39 ;uW FHc5@B  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 gYj'(jB  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 9c],<;{'  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 y =@N|f!  
习题 44 l (o~-i\M  
参考文献 44 U$g?!Yl0  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 /Oono6j  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 z:O8Ls^\T  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 4-w{BZuS  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 P>T"cv  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 iZ%yd-  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ]:;&1h3'7  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 buC{ r,  
3.4.1 一阶近似 62 7)m9"InDI  
3.4.2 二阶近似 63 al0L&z\  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 -j(6;9"7]|  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 `oJ [u:b  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 zs;JJk^  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 PF2nLb2-  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 Dq xs+  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 1YA% -~  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 IV-{ve6  
习题 79 |ZBw<f  
参考文献 79 g0H[*"hj  
第4章 膜系设计图示法 81 p_ =z#  
4.1 矢量法 81 Tw% 3p=  
4.2 导纳图解法 87 RSds8\tk  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 i4Jc.8^9$  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 QJNFA}*>  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 B!yr!DWv  
4.3 金属膜导纳圆图 97 9L9sqZUB  
4.4 膜系层间电场分布 99 V]&\fk-{  
习题 100 q4q6c")zp  
参考文献 101 SuznN L=/$  
第二篇 光学等膜分类反应用 0YzpZW"+  
第5章 增透膜 102 $( )>g>%  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ax2B ]L2  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 _@g;8CA  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 @o^Ww  
5.4 均匀介质增透膜 107 wBzC5T%,  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107  -M2yw  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 4 :=]<sc,  
5.5 非均匀介质增透膜 113 p<2,=*2  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ?upM>69{  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 hph4`{T  
习题 118 \ jA~9  
参考文献 118 Bt#N4m[X*|  
第6章 高反射膜 120 ,[Fb[#Qqb  
6.1 反射镜组合的反射率 120 (t.Nk[  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 |o @%dH  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 %SI'BJ  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 /=h` L ,  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 % nIf)/2g  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 HDKbF/  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ckn~#UE=  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 '|4!5)/K  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 8Y3I0S  
6.8 金属反射镜 134 5r_|yu  
6.8.1 常用金属反射镜 134 -&;TA0~;  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 /bEAK-  
6.9 影响反射特性的因素 137 $cR{o#  
6.10 高反射镜应用实例 143 _6Ha  
6.10.1 激光高反射镜 143 :LTN!jj  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 KG@8RtHsQ  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 V1?]|HTQcT  
习题 146 <Qq*p  
参考文献 146 {)"vN(mX  
第7章 带通滤光片 149 fV:83|eQ  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 b\ PgVBf9  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 m68*y;#  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 m4& /s  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 2Hdu:"j  
7.3.2 膜系透射定理 153 $|@ r!/W  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 bfO=;S]b!  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 |'.  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 *J{+1Ev~$p  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 P_dJZ((X  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 L(o15  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172  9a kH  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 U3kyraj  
7.5 超窄带带通滤光片 183 4sM.C9W  
7.6 宽带带通滤光片 185 }i2V.tVB-  
7.7 带通滤光片的角特性 186 bx Wa oWE0  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 qa6,z.mQ  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 d1kJRJ   
习题 193 ap~^Ty<>  
参考文献 193 v@Ox:wl>  
第8章 截止滤光片 196 SB7c.H,  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 y?0nI<}}HK  
8.2 吸收型截止滤光片 197 b[7 ]F  
8.3 干涉型截止滤光片 198 8X0z~ &  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 'n|5ZhXPB  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ^t"'rD-I  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 uGt-l4  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Sc   
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 MfQ!6zE  
8.3.6 截止带的展宽 210 c"Sq~X  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 !by\9  ?n  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 'RRE|L,  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 H|D.6^  
习题 221 X7 w Ky(g  
参考文献 221 E"@wek.-  
第9章 带阻滤光片 223 -^57oU  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 $A` VYJtt#  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 NCx%L-GPi  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 ]:f%l mEy  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 6R5Qy]]E  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 *#Wdc O `-  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 |I|fMF2K  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 d/Q%IeEL.  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 yWya&|D9  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 F>cv<l =6l  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 N?>vd*  
习题 241 /=, nGk>  
参考文献 241 HKr Mim-  
第10章 分光镜 243 @R  6@]Dm  
10.1 中性分光镜 243 Lxk[;j+  
10.1.1 金属膜中性分光 244 f9\X>zzB2|  
10.1.2 介质膜中性分光 245 e]tDy0@  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 L:8q8i  
10.2 双色分光镜 249 ,: ->ErP  
10.3 偏振分光 254 r4f~z$QK  
10.3.1 偏振特性的描述 254 x=jK:3BF  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 "T"h)L<  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 'eX '  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 9E6R0D}  
10.4 消偏振分光 262 9M9?%N:ra  
10.4.1 偏振分离的描述 263 "Yca%:  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 w\brVnt  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 BCcjK6'  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ujucZ9}yd  
10.5 分光中的消色差问题 280 \j)E 5b+  
习题 281 l$'wDhN*  
参考文献 282 lA-h`rl /  
第二篇 薄膜扶术基础 PzR[KUK  
第11章 薄膜制备技术 283 C/&-l{7  
11.1 真空技术简介 283 Ydy9  
11.1.1 真空的基本知识 283 Q dp)cT  
11.1.2 真空的获得 284 *|E[L^  
11.1.3 真空的测量 286 t.'!`5G  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 2T TdH)  
11.2.1 蒸镀法 289 rc>6.sM %  
11.2.2 溅射法 300  JSg$wi8  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 *cnNuT  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 0P(!j_2m  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Yir [!{  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 W8!Qv8rf  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Lu0x (/  
11.3.5 光化学气相沉积 310 S/I/-Bp~  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ^<-+@v*  
11.3.7 原子层沉积 312 7`hP?a=  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ,i@:5X/t  
11.4.1 化学镀 313 C{XmVc.  
11.4.2 阳极氧化法 314 -7(@1@1  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ~F?u)~QZ #  
11.4.4 电镀 315 O<;3M'y\  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 3 SGDy]  
11.5 光刻蚀 316 o7LuKRl   
11.5.1 光刻工艺 316 d&s9t;@=  
11.5.2 光刻胶 317 u=_mvN  
11.5.3 掩模 318 :$9tF >  
11.5.4 曝光 318 'oC) NpnH  
11.5.5 刻蚀方法 318 wIBO ^w\J  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 wuJ4kW$  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 SG4%}wn%  
习题 323 M[112%[+4  
参考文献 324 r{%qf;  
第12章 光学薄膜检测技术 326 k,F6Tx  
12.1 光谱分析技术基础 326 *U\`CXn;  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 f8.gT49I  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 K>l~SDcZ3  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 rI-%be==  
12.2.1 透射率测量 333 mcX/GO}  
12.2.2 反射率测量 334 e01epVR;  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 om-omo&,X=  
12.3.1 吸收测量 338 Oh\<VvZuN  
12.3.2 散射测量 342 VgC2+APg  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ,$+V  
12.4 光学薄膜常数测量 347 klR|6u]%  
12.4.1 光度法 348 *%t^;&x?  
12.4.2 全反射衰减法 354 3K/MvNI>  
12.4.3 椭圆偏振法 357 JO"<{ngsQ  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 B[?CbU  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 @<]Ekkg  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 fn 6J *[`  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362  \qK&q  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 yw3$2EW  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 .JiziFJ@mj  
12.6.1 薄膜微结构 368 g]yBA7/S"  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ^J8lBLqe  
12.6.3 雕塑薄膜 372 df#$ 9 -  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 -701j'q{  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 o"BoZsMk  
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关键词: 薄膜光学
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