薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6932
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 d7S?"JpV  
E>iN>  
:$*@S=8O  
目录 ^yX>^1  
第一篇 薄膜元学基本理抢 C55Av%-=  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 JwQ/A[b  
1.1 麦克斯韦方程 1 2ZEDyQM  
1.2 平面电磁波 6 DTlId~Dyq  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 p\R&vof*  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 {y'4&vt<~  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 yy Y\g  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 @H8DGeM  
1.4 电磁波谱、光谱 10 OT0IGsJ"'  
习题 12 oFGWI#]ts>  
参考文献 12 ^J;rW3#N8  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 5^K\<+{~B  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 oL~?^`cGZ  
2.1.1 S波反射与透射 14 2u$rloc$b  
2.1.2 P波反射与透射 16 GT<!e ]=6  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 >p'{!k  
2.2.1 S 波反射与透射 18 pzZ+!d  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ~1{ppc+  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 m%=*3gH]&  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 _u]%K-_  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24  VeSQq  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 a`R_}nus*  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 "8R &c}  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 yfal'DqKF  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 9s1^hW2%Q  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 jweX"G54R  
2.5.2 全透射 37 [X91nUz#  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 txvo7?Y*4  
2.6 反射率和透射率 39 hI 9q);g  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 5YneoM]Q  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 q}!h(-y}5n  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 AvPPsN0  
习题 44 !6x7^E;c  
参考文献 44 '/)qI.  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 d&\3}uH  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 2$ &B@\WY  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 : _tt9J  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 S@g(kIo]  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 k?$I4&|5Nt  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 Z #T  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 ',c~8U#q  
3.4.1 一阶近似 62 0zE@?.  
3.4.2 二阶近似 63 Y%eq2%  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 XT4Gz|k  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 > lfuo  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 GGf<9!:  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 .`Q^8|$-K  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 #y[U2s Se  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 *\(z"B  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 |-)8=QDz)r  
习题 79 yYaoA/0  
参考文献 79 O=;jDWE  
第4章 膜系设计图示法 81 tU5uL.( O  
4.1 矢量法 81 {}$Zff   
4.2 导纳图解法 87 ![ sXR  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 Q@7d:v  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 :W5W @8Y  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 5 mC"8N1)  
4.3 金属膜导纳圆图 97 hHGuD2%  
4.4 膜系层间电场分布 99 Zk`yd8C  
习题 100 j:xC \b47"  
参考文献 101 vbVOWX6  
第二篇 光学等膜分类反应用 o8Gygi5  
第5章 增透膜 102 Yj#tF}nPC  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ;AE-=/<  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 :aK?DtZ  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 OQ7 `n<I<)  
5.4 均匀介质增透膜 107 ! 5NuFLOf  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ZZ7qSyBs?  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 __2<v?\  
5.5 非均匀介质增透膜 113 h%krA<G9  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 LP=j/qf|  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 6,a H[ >W  
习题 118 _$ivN!k  
参考文献 118 >WIc"y.  
第6章 高反射膜 120 Vv45w#w;  
6.1 反射镜组合的反射率 120 5&V=$]t  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 G$>QH-p  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 C+ll A  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 |Ha#2pt{bc  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 =29IHL3  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 Fq@o_bI  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 w y|^=#k  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 _ i}W1i  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 tqZ+2c<W3  
6.8 金属反射镜 134 ) ](ls@*  
6.8.1 常用金属反射镜 134 1|(Q|  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 =c'4rJ$+  
6.9 影响反射特性的因素 137 Z*i p=FYR  
6.10 高反射镜应用实例 143 {]< G=]'  
6.10.1 激光高反射镜 143 >%k6k1CZ  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 RqtBz3v  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 I I+y  
习题 146 W&IG,7tr  
参考文献 146 y %Q. (  
第7章 带通滤光片 149  ch8a  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 A^>@6d $2  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 MLu!8dgI  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 kFv*>>X`  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 Q$c6l[(g  
7.3.2 膜系透射定理 153 N2v/<  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 S^eem_C  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ( Jk& U8y  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 AJbCC  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 sD:o 2(G*  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 6O As%QZ  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 YQn<CjZ8af  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 N/bOl~!y  
7.5 超窄带带通滤光片 183 D%p*G5Bg3  
7.6 宽带带通滤光片 185 QQM:[1;RT  
7.7 带通滤光片的角特性 186 P>V oA  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 Aqmpo3P[+  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Io1j%T#ZT  
习题 193 m2c'r3UEu  
参考文献 193 jYHnJ}<  
第8章 截止滤光片 196 ^#Ha H  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 >fH0>W+!  
8.2 吸收型截止滤光片 197 >R+-mP!nj  
8.3 干涉型截止滤光片 198 j uA@"SG  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ~U0%}Bbh  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 EtKq.<SJ  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 _MBhwNBxZ  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 eV[{c %wN:  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 b=,B Le\  
8.3.6 截止带的展宽 210 #ibwD:{  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 BNfj0e5b  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 m,k 0 h%  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 x]{P.7IO'  
习题 221 wa"0`a:`;  
参考文献 221 'D+xs}\  
第9章 带阻滤光片 223 ye^x>a['  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 |U%NPw5  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 VeGSr  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 g8<ODU0[g  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 1dQAo1  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 aZN?V}^+  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 >)kKP8l7  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231  b`jR("U  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Ew/MSl6}  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 .z>/A /&+  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 n-Iz!;q  
习题 241 6g| ,]{  
参考文献 241 (a[BvJf  
第10章 分光镜 243 ]9oj,k  
10.1 中性分光镜 243 uf6egm5 ]  
10.1.1 金属膜中性分光 244 . g#}2:3  
10.1.2 介质膜中性分光 245 &}"kF\  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 d@ZDIy  
10.2 双色分光镜 249 zg2d}"dV  
10.3 偏振分光 254 3:,%># "  
10.3.1 偏振特性的描述 254 LT%~C uf  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 U,W OP7z  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 `% 9Y)a/e  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 /5,6 {R9  
10.4 消偏振分光 262 JHxcHh  
10.4.1 偏振分离的描述 263 TGJz[Ny  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 q,P.)\0A  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 J67 thTGFq  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 %J*1F  
10.5 分光中的消色差问题 280 '.v;/[0  
习题 281 YWIA(p8Qkk  
参考文献 282 vMzL+D2)  
第二篇 薄膜扶术基础 +~V%R{h  
第11章 薄膜制备技术 283 6tH}&#K  
11.1 真空技术简介 283 +6WjOcu  
11.1.1 真空的基本知识 283 f#s6 'g  
11.1.2 真空的获得 284 7ys' [G|}r  
11.1.3 真空的测量 286 Ku[q #_7  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 [G_ ;78  
11.2.1 蒸镀法 289 fzJiW@-T  
11.2.2 溅射法 300 H:G``Vq;0m  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 +L09^I  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 -RP{viG WK  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 {QEvc  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 L'wR$  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 %w&+o.k/  
11.3.5 光化学气相沉积 310 )u(,.O[cw  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 c]*yo  
11.3.7 原子层沉积 312 EZj rX>"#  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 94!} Z>  
11.4.1 化学镀 313 {L$$"r,  
11.4.2 阳极氧化法 314 "-:H$  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 }0&Fu?sP  
11.4.4 电镀 315 ndQw>  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 3ML^ dZ'  
11.5 光刻蚀 316 q>%B @'  
11.5.1 光刻工艺 316 DcxT6[  
11.5.2 光刻胶 317 O]I AIM  
11.5.3 掩模 318 (\qf>l+*  
11.5.4 曝光 318 m+M^we*R  
11.5.5 刻蚀方法 318 UR^r>  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ZKI8x1>Iq  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 BiU>h.4=\(  
习题 323 /R|?v{S1  
参考文献 324 24od74\  
第12章 光学薄膜检测技术 326 3ko h!q+  
12.1 光谱分析技术基础 326 +wj}x?ZeV  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 'z9 1aNG]  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 O}C*weU  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ;-JF1p7;  
12.2.1 透射率测量 333 U9BhtmY  
12.2.2 反射率测量 334 I!!cA?W  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 j~b NH~3  
12.3.1 吸收测量 338 n%WjU)<  
12.3.2 散射测量 342 5Y;&L!T  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 W /v &V#  
12.4 光学薄膜常数测量 347 )-I/ej^  
12.4.1 光度法 348 }>iNT.Lvd  
12.4.2 全反射衰减法 354 1#L%Q(G  
12.4.3 椭圆偏振法 357 1TEKq#t;y  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 "7-}#_!g  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ;QVTb3Th  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ?0 cv  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 ~APS_iG[  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 <XrXs  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 e6*,MnqBh  
12.6.1 薄膜微结构 368 J<0sT=/2$  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 d v4~CW%Td  
12.6.3 雕塑薄膜 372 3Z~_6P^ +N  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 n3? msY(*  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 B W)@.!C  
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关键词: 薄膜光学
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