薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6874
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 9]g`VD6 <v  
/WIH#M  
?p>m ;Aq  
目录 c(s: f@ 1  
第一篇 薄膜元学基本理抢 H9[0-Ur5  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 zo1 fUsK?  
1.1 麦克斯韦方程 1 2 yRUw  
1.2 平面电磁波 6 VD+v \X_  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 p }3$7CR/  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 43!E>mq  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 <#)Q.P  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 s =<65  
1.4 电磁波谱、光谱 10 xQNGlVipZ@  
习题 12  bDq<]h_7  
参考文献 12 Yd<9Y\W%?  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ,S&p\(r.  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ,be$ ~7qS  
2.1.1 S波反射与透射 14  $kxu-  
2.1.2 P波反射与透射 16 GFvLd:p` [  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 $,nidK!"  
2.2.1 S 波反射与透射 18 z7&m,:M  
2.2.2 P 波反射与透射 20 !fJy7Y  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 X:QRy9]  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 4@M`BH`  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 9r 5(  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 Fh}GJE   
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 vJ>o9:(6  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 HcGbe37Xq  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 j/1 f|x  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 `KieN/d%  
2.5.2 全透射 37 Q3[nS(#Z/=  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 /#[mV(k  
2.6 反射率和透射率 39 @u:q#b  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 OZ&SxR%q4  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 S)`@)sr  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 -(zw80@&  
习题 44 C-&s$5MzGb  
参考文献 44 5a:YzQ4  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 *,,:;F^  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 RP9~n)h~b  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ?v&2^d4C*F  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 #r@>.S=U]  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ;b 'L2  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 *56q4\1  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 /mK]O7O7  
3.4.1 一阶近似 62 "||' -(0  
3.4.2 二阶近似 63 >j&k:  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 eyos6Qi  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 l7(p~+o?h>  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 vtRz;~,Z  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 8TYoa:pZ  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ;ao <{i?  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 VYQ]?XF3i  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75  K"Gea`I  
习题 79 ]!2[kA-  
参考文献 79 H5be5  
第4章 膜系设计图示法 81 ^j2z\yo  
4.1 矢量法 81 u`pw'3hY  
4.2 导纳图解法 87 VgS2_TU  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 J4?SC+\  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ,W>-MPJn[8  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 SGpe\P]k  
4.3 金属膜导纳圆图 97 }'h\;8y  
4.4 膜系层间电场分布 99 Q>TNzh  
习题 100 UK .=Y9  
参考文献 101 4\ny]A:~  
第二篇 光学等膜分类反应用 6dYa07  
第5章 增透膜 102 BipD8`a  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 9!6u Yf+  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 DN;$ ->>  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 &0OH:P%  
5.4 均匀介质增透膜 107 q'%!qa+  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 U:8cz=#  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 m[Qr>="  
5.5 非均匀介质增透膜 113 @`aPr26>?  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 DO~~  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 sAjN<P  
习题 118 #_zj5B38E  
参考文献 118 }{.V^;  
第6章 高反射膜 120 +B4i,]lCx  
6.1 反射镜组合的反射率 120 T^Hq 5Oy  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 0kaMYV?  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 3vEwui-5  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 4r9AUmJqw  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 h#u k-7  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 avUdv V-  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 |Rb8 / WX  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 aQV?}  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 $Y%,?>AL<  
6.8 金属反射镜 134 !iUT Re  
6.8.1 常用金属反射镜 134 }1NNXxQ  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 * K0aR!  
6.9 影响反射特性的因素 137 _w7yfZLv+  
6.10 高反射镜应用实例 143 ;z~j%L%b  
6.10.1 激光高反射镜 143 K\5/||gi  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 Q1x=@lXR  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 la`f@~Bbr1  
习题 146 XKvH^Z4h{l  
参考文献 146 kM3#[#6$!  
第7章 带通滤光片 149 YyC$\HH6  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 8[oZ>7LMzC  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 v5*JBW+c*  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 AdRK)L  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 B8zc#0!1  
7.3.2 膜系透射定理 153 ^C;ULUn3  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 H~W=#Cx  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 vP,$S^7$  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 EHrr}&  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 l)Mi?B~N  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 O66b^*=N}x  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 ,6x>gcR  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 ;;Jx1Q  
7.5 超窄带带通滤光片 183 :%IB34e  
7.6 宽带带通滤光片 185 =@MJEo`D  
7.7 带通滤光片的角特性 186 [vxHsY3z  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 KuMH,rXF  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 2FEi-m}  
习题 193 MK <\:g  
参考文献 193 5]2 p>%G  
第8章 截止滤光片 196 "FLiSz%ME  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 ccy q~  
8.2 吸收型截止滤光片 197 TmJXkR.5  
8.3 干涉型截止滤光片 198 >&Y\g?Z6G  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 E*QLw* H  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 *Z3b6X'e  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 kk}_AZ0eK  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 i\kDb=  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 lO HW9Z  
8.3.6 截止带的展宽 210 lDZ~  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 [$Jsel<T=  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 dHtEyF  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 b T** y?2  
习题 221 ~ F>'+9?Sn  
参考文献 221 vHb^@z=  
第9章 带阻滤光片 223 -a7BVEFts  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 [x -<O:r=P  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 W4)bEWO+q  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 f\H1$q\p\  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 DDZnNSo<JQ  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 l6.&<0pLT  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ,vuC0{C^  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 UtHloq(r  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 >C`#4e?}  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 x::d}PP7  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 gq~"Z[T  
习题 241 v(P <_}G  
参考文献 241 _Zxo <}w}y  
第10章 分光镜 243 }Zfi/^0U  
10.1 中性分光镜 243 *O7PH1G  
10.1.1 金属膜中性分光 244 'Qg.D88  
10.1.2 介质膜中性分光 245 T[2<_nn=  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 FhQb9\g  
10.2 双色分光镜 249 A| y U'k  
10.3 偏振分光 254 m,ur{B8 :  
10.3.1 偏振特性的描述 254 'a>D+A:  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 =)J<R;  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 uYijzHQyD  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 _AH_<Z(  
10.4 消偏振分光 262 wcGv#J],  
10.4.1 偏振分离的描述 263 uFFC.w  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 GZm=>!T  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Jv!f6*&<  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 cvYKZB  
10.5 分光中的消色差问题 280 kH4m6p  
习题 281 :0Fc E,1  
参考文献 282 QRwOv  
第二篇 薄膜扶术基础 o8S P#ET"n  
第11章 薄膜制备技术 283 W3n[qVZIC  
11.1 真空技术简介 283 ..=lM:13|  
11.1.1 真空的基本知识 283 %Lq}5zB  
11.1.2 真空的获得 284 nPH\Lra  
11.1.3 真空的测量 286 7?\r9bD  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 x!u6LDq0  
11.2.1 蒸镀法 289 i*mI-l  
11.2.2 溅射法 300 L+0:'p=  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 juxAyds  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 >2NsBS(  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 (Z8wMy&:  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ^MVOaV65  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 P1<McQ  
11.3.5 光化学气相沉积 310 He&A>bA)z  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ] ~ }~d(  
11.3.7 原子层沉积 312 OK2\2&G  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 }&%&0$%  
11.4.1 化学镀 313 ""h%RhcZ\  
11.4.2 阳极氧化法 314 P@Vs\wAT  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 kD6Iz$tr  
11.4.4 电镀 315 ,<[x9 "3\  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 {vur9L  
11.5 光刻蚀 316 ]-l4  
11.5.1 光刻工艺 316 milQxSpj  
11.5.2 光刻胶 317 ){w!< Lb  
11.5.3 掩模 318 _:JV-lM  
11.5.4 曝光 318 `0-i>>  
11.5.5 刻蚀方法 318 V=c?V/pl  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 l !ZzJ&  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 |V^f}5gd  
习题 323 4x.I"eW~&  
参考文献 324 {_ZbPPh;M"  
第12章 光学薄膜检测技术 326 o_r{cnu  
12.1 光谱分析技术基础 326 FV%|*JW[;N  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 4+4&}8FH  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 WL3J>S_  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 T;i+az{N:V  
12.2.1 透射率测量 333 z]j_,3Hff  
12.2.2 反射率测量 334 ?S.LGc  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 z'0 =3  
12.3.1 吸收测量 338 g^^^fKUp)  
12.3.2 散射测量 342 eYPIZ{S7h  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 {6F]w_\  
12.4 光学薄膜常数测量 347 9xL` i-7]  
12.4.1 光度法 348 ~u r}6T  
12.4.2 全反射衰减法 354 <XzRRCYQ  
12.4.3 椭圆偏振法 357 )7Oj  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ?l`|j*  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 FQcm =d_s  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 $[b1_Db  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 yaAg!mW  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 #?~G\Ux0/  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 .iST!nh  
12.6.1 薄膜微结构 368 ;!EEzR.  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 o^u}(wZ{  
12.6.3 雕塑薄膜 372 c32"$g  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 M$3/jl*#}  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 )F6p+i="  
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关键词: 薄膜光学
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