薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7208
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 TU58  
LI&E.(:  
D~Ef%!&  
目录 `9gV8u  
第一篇 薄膜元学基本理抢 /xcXd+k]  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 #sBL E  
1.1 麦克斯韦方程 1 $ZZ?*I  
1.2 平面电磁波 6 nRu %0Op  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 l'@!'  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 WPAUY<6f  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 f6Lc"b3s1  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 "'@D\e}  
1.4 电磁波谱、光谱 10 N ~fE&@-  
习题 12 GB<.kOGQ[  
参考文献 12 q5JQx**g  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 </@5>hx/  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ryw%0H18  
2.1.1 S波反射与透射 14 9v;HE{>  
2.1.2 P波反射与透射 16 $Dx*[.M3>  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 [CfZE  
2.2.1 S 波反射与透射 18 eThFRU3 F  
2.2.2 P 波反射与透射 20 &BNlMF  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 p Zlt4  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 6 C O5:\  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 b 9"t%R9/Q  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 nw,.I [  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 0l& '`  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 " DLIx}  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 C22h*QM*  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Otx>S' 5  
2.5.2 全透射 37 %'_:#!9  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 /; /:>c  
2.6 反射率和透射率 39 rXT?w]4  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 JZ![:$:  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 _-TW-{7bh  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 S[yrGX8lu  
习题 44 uDkX{<_Xe  
参考文献 44 [! wJIy?,  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 _&U#*g  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 [KHlApL  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 !iNwJ|0  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ]\A=[T^  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 9` UbsxFl  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ` - P1Y  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 d4ld-y  
3.4.1 一阶近似 62 ?Js4 \X!uJ  
3.4.2 二阶近似 63 .5!`wwVi  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 zh0T3U0D  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 .w@B )f*  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 !.q99DB  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 =)c-Xz  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ti6X=@ P:  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74  <82&F  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 mD ZA\P_  
习题 79 9ZU^([@D  
参考文献 79 (~{Y}n]s  
第4章 膜系设计图示法 81 ILl~f\xG)  
4.1 矢量法 81 J?X{NARt  
4.2 导纳图解法 87 febn?|@  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 RXcN<Y&  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 j$XaO%y)  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 <%% )C>l  
4.3 金属膜导纳圆图 97 $ (xdF  
4.4 膜系层间电场分布 99 &Wb"/Hn2  
习题 100 }2e s"  
参考文献 101 iymN|KdpaZ  
第二篇 光学等膜分类反应用 Y/I)ECm  
第5章 增透膜 102 %xG<hNw/  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 yvzH}$!]  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 t2OBVzK  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 bHx@   
5.4 均匀介质增透膜 107 EmrkaV-?k  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 7)[Ve1;/N  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 `[#id@Z1  
5.5 非均匀介质增透膜 113 7}~w9jK"F  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 [wm0a4fg  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ;L-)$Dy4  
习题 118 5Rs#{9YE  
参考文献 118 }0]uA|lH*  
第6章 高反射膜 120 na~ FT[3 C  
6.1 反射镜组合的反射率 120 N6u>V~i  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 _6,\;"it?8  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 #-f9>S9_  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 tA< UkPT  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 G'}N?8s1  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 5psJv|Zo]  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 F7*)u-4Yn  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 .*9u_2<  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 [:gg3Qzx  
6.8 金属反射镜 134 u*I'c2m  
6.8.1 常用金属反射镜 134 D]*|Zmr+}  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 bQq/~  
6.9 影响反射特性的因素 137 umq6X8K  
6.10 高反射镜应用实例 143 %~M*<pN  
6.10.1 激光高反射镜 143 /t7f5mA  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 b=2:\F  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 V,Nu!$)J  
习题 146 u<fZ.1  
参考文献 146 wf]?:'}  
第7章 带通滤光片 149 %!nN<%  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ~M H ^R1=]  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 !a:e=b7g  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 EKF4 ]  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 R?:Q=7K  
7.3.2 膜系透射定理 153 yn]Sc<uK  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 xl,% Z~[  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 j xkQ #Y  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 bsU$$;  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 m^qFaf)6  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 w*/@|r39  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 SDE+"MjBY  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 O<L=N-  
7.5 超窄带带通滤光片 183 l P=I0A-  
7.6 宽带带通滤光片 185 5rck]L'  
7.7 带通滤光片的角特性 186 Zv9JkY=+@  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 P%l?C?L  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 #CI0G  
习题 193 Ym\<@[3+!  
参考文献 193 g3[-[G^5  
第8章 截止滤光片 196 [[<TW}  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 25vjn 1$sW  
8.2 吸收型截止滤光片 197 rYdNn0mh k  
8.3 干涉型截止滤光片 198 fUWrR1  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 8M,o)oH  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 WLj]EsA.  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 X=m^+%iD  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 M_%KhK  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 d@{12 hq  
8.3.6 截止带的展宽 210 KyVzf(^  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212  {p/Yz#  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 9%NsW3|  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218  NnHaHX  
习题 221 K*DH_\SPK  
参考文献 221 ;-py h(  
第9章 带阻滤光片 223 {vW0O&[  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Pi?G:IF  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 GU/P%c/V  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 -A<@Pg  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 (Ytr&gh;0  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 fm^`   
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 _)= e`9%  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 %SIll  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Nk\ni>Du3  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 kBC$dW-  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 'do2n/  
习题 241 2Ul8<${c{  
参考文献 241 ,GVX1B?  
第10章 分光镜 243 wt9f2  
10.1 中性分光镜 243 NV/paoyx:*  
10.1.1 金属膜中性分光 244 Pb T2- F_  
10.1.2 介质膜中性分光 245 1U/9=b  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 :PN%'~}n  
10.2 双色分光镜 249 s Y1@~v  
10.3 偏振分光 254 L#a!fd  
10.3.1 偏振特性的描述 254 yZp/P%y  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 )ej1)RU"  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 %$o[,13=  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ]5a3e+  
10.4 消偏振分光 262 jGkDD8K [  
10.4.1 偏振分离的描述 263 "dt}k$Gr  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 =d"5k DK-m  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 RaSuzy^`*]  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 c9jS !uDMK  
10.5 分光中的消色差问题 280 jf;n*  
习题 281 ! a\v)R  
参考文献 282 ;Q vQ fV4  
第二篇 薄膜扶术基础 d42Y `Wu  
第11章 薄膜制备技术 283 +\ "NPK@3  
11.1 真空技术简介 283 G+2fmVB*X  
11.1.1 真空的基本知识 283 7O|`\&RY R  
11.1.2 真空的获得 284 ~e,l2 <  
11.1.3 真空的测量 286 vdUKIP =|_  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 5cA:;{z];g  
11.2.1 蒸镀法 289 -"H$ &p~  
11.2.2 溅射法 300 lcpiCZ  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 [ t8]'RI%  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ( 6zu*H)  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 SfY 5Xgp  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 *wJz0ex7R/  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 C]JK'K<7-  
11.3.5 光化学气相沉积 310 H2[0@|<<  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 =#Jx~d[C  
11.3.7 原子层沉积 312 M/[_~  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 w1zMY:9  
11.4.1 化学镀 313 zXlerQWUv  
11.4.2 阳极氧化法 314 ,{(XT7hr  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ~-H3]  
11.4.4 电镀 315 uR2|>m  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 (4q/LuP^d  
11.5 光刻蚀 316 `mD!z.`U  
11.5.1 光刻工艺 316 8"d??3ZXJ  
11.5.2 光刻胶 317 se>\5k  
11.5.3 掩模 318 vA6onYjA  
11.5.4 曝光 318 Hq>hnCT  
11.5.5 刻蚀方法 318 ] FvGAG.*  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 6Xo"?f  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 pQ^V<6z}  
习题 323 ]3 GO_tL  
参考文献 324 M?P\YAn$  
第12章 光学薄膜检测技术 326 ;C1#[U1Uy  
12.1 光谱分析技术基础 326 #Q=c.AL{  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 a0A=R5_  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 tG9C(D`G  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 hCgk78O?  
12.2.1 透射率测量 333 t(6i4c>  
12.2.2 反射率测量 334 QH7 GEj]  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 `h :!^"G  
12.3.1 吸收测量 338 yXEI%2~)  
12.3.2 散射测量 342 &'Nzw2  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 6M_ W(  
12.4 光学薄膜常数测量 347 |}YxxeAk  
12.4.1 光度法 348 F+BCzsm7$  
12.4.2 全反射衰减法 354 (5:pHX`P  
12.4.3 椭圆偏振法 357 "8?Fl&=Q  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 uxKO"  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 e9Gu`$K  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 _e8v12s  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 >hG*=4oh  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 3gJZlH5IR  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 %Q}(.h%M  
12.6.1 薄膜微结构 368 xf7YIhL^*  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 };P=|t(r  
12.6.3 雕塑薄膜 372 >P}XCAU  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 /ET+`=n  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ?< yYm;B  
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关键词: 薄膜光学
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