薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6967
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 v.LUK  
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U1HD~  
目录 Nb!6YY=Ez-  
第一篇 薄膜元学基本理抢 F3 l^^ Mc  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 j]l}K*8(  
1.1 麦克斯韦方程 1 !>2\OSp!  
1.2 平面电磁波 6 \;:@=9`  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 pn%|;  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 aq,)6P`  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 u r.T YKF  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 n `T[eb~  
1.4 电磁波谱、光谱 10 =O'%)Y&  
习题 12 rWfurB5f  
参考文献 12 )>M@hIV5>  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 Ce'2lo  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 L%O8vn^3  
2.1.1 S波反射与透射 14 ~W*j^+T"  
2.1.2 P波反射与透射 16 l 75{JxZX  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 #M^Yh?~%w  
2.2.1 S 波反射与透射 18 :+^$?[6]  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Cbg#Yz~/  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 5m7Ax] \  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 {i}Q}OgYq  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 G1^!ej  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 jzA8f+:q  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 hGo|2@sc  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 rHBjR_L.2  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 JR<-'  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 bl>b/u7/6  
2.5.2 全透射 37 z(X6%p0  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 z slEUTj)  
2.6 反射率和透射率 39 wBHDof xX  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ZpctsCz]  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 10 H!  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 jL%}y1m?  
习题 44 $(L7/M  
参考文献 44 w:zC/5x`  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 /P"\ +Qp  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 to|9)\  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 NP'DuzC  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 OwIy(ukTI  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 Jo$Dxa z  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 []3}(8yxGb  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 rPpAg  
3.4.1 一阶近似 62 *>$)#?t  
3.4.2 二阶近似 63 4^ 6L])y  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 T|2%b*/  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 _:p_#3s$  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 j4r,_lH^r  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Lbp6I0&n  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ^|;4/=bbs  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 R,+(JgJ  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 !D&MJThNy  
习题 79 c+/C7C o  
参考文献 79 HYmUxheN2  
第4章 膜系设计图示法 81 32P]0&_O  
4.1 矢量法 81 ^tcBxDC"]  
4.2 导纳图解法 87 1+}Ud.v3VW  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 2I 7`  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 Bic { H  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 RAbq_^Q  
4.3 金属膜导纳圆图 97 k\%v;3nBK  
4.4 膜系层间电场分布 99 :Rj,'uH+h)  
习题 100 1ZFSz{  
参考文献 101 ymX,k|lh  
第二篇 光学等膜分类反应用 4H)" d  
第5章 增透膜 102 |bnjC$b*  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 QXj(U&#rp  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 i4rF~'h@  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 7zZ|=W?&{  
5.4 均匀介质增透膜 107 RcP5].^T  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 {=7i}xY]T  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 A_|FsQ6$P  
5.5 非均匀介质增透膜 113 @\}36y  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 1tz .e\  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 bI(98V,t  
习题 118 [V0h9!  
参考文献 118 Pp hQa!F$  
第6章 高反射膜 120 =W*`HV-w  
6.1 反射镜组合的反射率 120 Qo *]l_UO;  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 !PIdw~YC  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 53 05N!  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ye2Oh7  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 y<d#sv(s  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 w/6@R 4)p  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 p,Hk"DSs%  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 <U pjAuG8  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 Fsj[JE  
6.8 金属反射镜 134 3y,?>-  
6.8.1 常用金属反射镜 134 Ps\^OJR  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 26K~m@  
6.9 影响反射特性的因素 137 k"{U}Y/}  
6.10 高反射镜应用实例 143 9(j!#`O7&  
6.10.1 激光高反射镜 143 p n>`v   
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144  +'.Q-  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 oH"N>@Vl  
习题 146 Ntiz-qW  
参考文献 146 G3?z.5 ,Q  
第7章 带通滤光片 149 c$fM6M }  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 -;"l 5oX  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ),,vu  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 `,d7_#9'  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 u`|fmVI  
7.3.2 膜系透射定理 153 j]&{ @Y  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Q~_x%KN/`  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 oD\+ 5[x  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 }*.*{I  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ;xwQzu%M>5  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 (mlc' ]F  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 a"0~_=  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 *Fws]y2t~  
7.5 超窄带带通滤光片 183 063;D+  
7.6 宽带带通滤光片 185 I r~X#$Upc  
7.7 带通滤光片的角特性 186 KL4/"$l]  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 1[^d8!U  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 GNOC5 E$I  
习题 193 `l"~"x^Rr  
参考文献 193 vE(Hy&Q&  
第8章 截止滤光片 196 Dy!fwYPA/{  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 e AjtWqg  
8.2 吸收型截止滤光片 197 q?&&:.H"?5  
8.3 干涉型截止滤光片 198 BYU.ptiJJ  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 /$(D>KU  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 zn|}YovY+  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 n4johV.#  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 qa6~N3*  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 +$5^+C\6A  
8.3.6 截止带的展宽 210 {wI0 =U  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 n} {cs  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 l1WVt}  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 cDg27xOUi  
习题 221 plfB} p  
参考文献 221 S# #W_OlrI  
第9章 带阻滤光片 223 6EY4@0%A  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 'Iu(lpF&  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 `2B+8,{%  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 2uVm?nm  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ?*,q#ZkA9W  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 g 7X>i:  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 / yCV-L2J  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 ikQ2x]Sp  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 > R=YF*t  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 X6RM2  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 9[M u   
习题 241 h 8s*FI  
参考文献 241 qM+T Wp  
第10章 分光镜 243 xh0!H| R  
10.1 中性分光镜 243 EcU9Tm`h  
10.1.1 金属膜中性分光 244 OK=t)6&b  
10.1.2 介质膜中性分光 245 TL>e[ PBO  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 Q"O _h  
10.2 双色分光镜 249 K#jm6Xh?E  
10.3 偏振分光 254 Cb.Aw!  
10.3.1 偏振特性的描述 254 B_> Fd&  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 YC~+r8ME$j  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 N5^:2ag  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 /NZ R|  
10.4 消偏振分光 262 x>cu<,e$d\  
10.4.1 偏振分离的描述 263 sC>8[Jatd  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 O);V{1P  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 *"@P2F&  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 d9s"y?8  
10.5 分光中的消色差问题 280 zx27aZ[  
习题 281 4y 'REC  
参考文献 282 TUG3#PSnm*  
第二篇 薄膜扶术基础 8Xr"4;}f+  
第11章 薄膜制备技术 283 OR3TRa XD  
11.1 真空技术简介 283 Xma0k3;-  
11.1.1 真空的基本知识 283 F>OYZOC]  
11.1.2 真空的获得 284 Liofv4![  
11.1.3 真空的测量 286 4"{q|~&=:$  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ]#`bYh^y  
11.2.1 蒸镀法 289 j.o)!S A  
11.2.2 溅射法 300 ]l`DR4 =  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ~c4Y*]J  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ^#+9v  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 3iB8QO;pp  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 =$MV3]  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 piU4%EO  
11.3.5 光化学气相沉积 310 ?S"xR0 *  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 V%))%?3x_  
11.3.7 原子层沉积 312 ctf'/IZ5  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 <iMLM<J<w  
11.4.1 化学镀 313  m{~r6@  
11.4.2 阳极氧化法 314 gN*8 zui  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 *N7\d9y  
11.4.4 电镀 315 : M Md@  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 =Oy,SX  
11.5 光刻蚀 316 \-^3Pe,  
11.5.1 光刻工艺 316 ^pn:SV  
11.5.2 光刻胶 317 Ab2VF;z :  
11.5.3 掩模 318 5QlJX  
11.5.4 曝光 318 FkH4|}1  
11.5.5 刻蚀方法 318 GFvOrRlP\  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 7Ev~yY;N  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Ou/{PK}  
习题 323 bcQ$S;U)  
参考文献 324 BJqM=<nQ  
第12章 光学薄膜检测技术 326 [.2>=3T  
12.1 光谱分析技术基础 326 !$j'F?2 >  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 Ba"Z^(:  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 h-<+Pjc  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 >d =k-d  
12.2.1 透射率测量 333 y<)x`&pcD  
12.2.2 反射率测量 334 dme_Ivt  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 E5B:79BGO  
12.3.1 吸收测量 338 Zvc{o8^z  
12.3.2 散射测量 342 ZW2U9  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ss*dM.b  
12.4 光学薄膜常数测量 347 Ax&+UxQ0|  
12.4.1 光度法 348 w!61k \  
12.4.2 全反射衰减法 354 \2uQ"kJC  
12.4.3 椭圆偏振法 357 #U^@)g6  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ;:v:pg8qc  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ;%Qu;FtC  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 F*QGzbv)  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 WO|#`HM2  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 )H)HR`  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 zT.qNtU%  
12.6.1 薄膜微结构 368 nP] ~8ViS  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 gVO[R6C5C  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ]2?t $"G8  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 hS<+=3 <M  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 l2xM.vR  
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关键词: 薄膜光学
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