薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6885
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 `\vqDWh8-  
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目录 |2t1m 6\j  
第一篇 薄膜元学基本理抢 `{GI^kgJ9  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 yur5" $n  
1.1 麦克斯韦方程 1 o6 l CP&  
1.2 平面电磁波 6 .nG14i7C  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ^/V>^9CZ  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 <jwQ&fm)/R  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 g,61'5\  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 gFQ\zOlY8a  
1.4 电磁波谱、光谱 10 (O@fgBM  
习题 12 :{Mr~Co*  
参考文献 12 f2f2&|7  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 h%*@82DKK  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ](2\w9i%  
2.1.1 S波反射与透射 14 HkL`- c0  
2.1.2 P波反射与透射 16  'K7m!y  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 K}j["p<!  
2.2.1 S 波反射与透射 18 |@*3 nb8  
2.2.2 P 波反射与透射 20 rQb=/@-  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 mY 1Gm|  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 t|j p]Vp  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 0` y*7.Ip  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 MX )mm^A  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31  Ww&r  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 z9qF<m  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36  gmW-#.  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 V=cJdF  
2.5.2 全透射 37 uK;&L?WB  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 6a!b20IZh  
2.6 反射率和透射率 39 x=VLTH/oo  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 =73aME}  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 WM8])}<L  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 w}WfQj  
习题 44 h7a/]~  
参考文献 44 6F8TiR&  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 4Wk`P]?^  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 dzRnI*  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 8quH#IhB  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 N eC]MW  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 >*]dB|2  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 Tf{lH9ca$  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 s/\<;g:u^  
3.4.1 一阶近似 62 k((kx:  
3.4.2 二阶近似 63 f!K{f[aDa  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 qF3s&WI  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 "%rzL.</  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 V M{Sng  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 9  M90X8  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 6c[Slq!KA  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Q>g-xe 1  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 U9Gg#M4tY  
习题 79 +|6E~#zklY  
参考文献 79 JE_GWgwdv  
第4章 膜系设计图示法 81 m}32ovpw  
4.1 矢量法 81 u$rSM0CJ  
4.2 导纳图解法 87 a^eR~efdu@  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 O^DLp/vM  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 2UeK%-~W?  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 xFA+Zj BC  
4.3 金属膜导纳圆图 97 r*kz`cJ  
4.4 膜系层间电场分布 99 J 7HOSFwXn  
习题 100 4Dw| I${O  
参考文献 101 ^5q}M'  
第二篇 光学等膜分类反应用 5;CqGzgoP  
第5章 增透膜 102 ZfU &X{  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 wJg&OQc9  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ,E &W{b  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 4&<zkAMR  
5.4 均匀介质增透膜 107 MUi#3o\f  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Sd *7jW?  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 "\O{!Hj8  
5.5 非均匀介质增透膜 113 tpQ8 m(  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ^0(`:*  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ?8ady% .ls  
习题 118 )&[Zw{6P  
参考文献 118 "Z#MR`;&29  
第6章 高反射膜 120 $]~|W3\G  
6.1 反射镜组合的反射率 120 LM*m> n*  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 c8oE,-~  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 A"wso[{  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 A",Xn/d  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 !|-:"hE1h  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 yHs'E4V`$  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 1>)uI@?Rb  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 &G aI  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 vpP8'f.  
6.8 金属反射镜 134 7!A3PDAe  
6.8.1 常用金属反射镜 134 J@RV^2  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ^)1!TewCY  
6.9 影响反射特性的因素 137 oR}'I  
6.10 高反射镜应用实例 143 ]8|peo{  
6.10.1 激光高反射镜 143 F>ps& h  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 :9W)CwZ)V  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 &t@|/~%[  
习题 146 6BObV/S Jg  
参考文献 146 zvKypx  
第7章 带通滤光片 149 P`y 0FKS  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 }qN   
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 $*;ke5Dm4  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 p;rT#R&6>  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 eXCH*vZY  
7.3.2 膜系透射定理 153 p}lFV,V  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 18JAca8Zs  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 /S`d?AV  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 .] BJM?9  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 2KQpmNN  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 _j?/O)M c  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 YA@OA$`E  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 |\/V1  
7.5 超窄带带通滤光片 183 w6 .J&O  
7.6 宽带带通滤光片 185 0[!38  
7.7 带通滤光片的角特性 186 FQw@ @  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 Am)XbN')1  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 +$D~?sk  
习题 193 #6za  
参考文献 193 u =|A  
第8章 截止滤光片 196 d1/uI^8>  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 N}7tjk   
8.2 吸收型截止滤光片 197 Jc,{ n*  
8.3 干涉型截止滤光片 198 [ FNA:  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 B#K2?Et!t  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 "hXB_73)V  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 b;$j h   
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 ^?gs<-)B  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 QVQ?a&HYS  
8.3.6 截止带的展宽 210 v`9n'+h-c6  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 `+EjmY  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 dS"%( ?o  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218  ^6Y:9+  
习题 221 "~aCW~  
参考文献 221 H8?Kgaj~vf  
第9章 带阻滤光片 223 :EZ"D#>y~  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 }|4dEao\  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 CDgu`jj%]  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 Qh@A7N/L  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 J(%kcueb  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 #ZPy&GIr  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230  B!+`km5  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 l/@t>%  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 . [5{  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 9|RR;k[  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 u7kw/_f  
习题 241 G9P)Y#WB  
参考文献 241 FT.;}!"l  
第10章 分光镜 243 m@^!?/as  
10.1 中性分光镜 243 4^Ghn  
10.1.1 金属膜中性分光 244 h`,!p  
10.1.2 介质膜中性分光 245 :Vx5%4J  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 4]3(Vyh`  
10.2 双色分光镜 249 -P|st;?#  
10.3 偏振分光 254 (lR9x6yf  
10.3.1 偏振特性的描述 254 G!3d!$t  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 2^C>orKQ0  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 [p# }=&d  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 T?'Vb  
10.4 消偏振分光 262 and)>$)|  
10.4.1 偏振分离的描述 263 #Jqa_$\.  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ESt@%7.F  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 O6$d@r;EK]  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 &p#$}tm  
10.5 分光中的消色差问题 280 ]EZiPW-uy  
习题 281 d y^zOqc  
参考文献 282 _}(ej&'f  
第二篇 薄膜扶术基础 o7;#B)jWS  
第11章 薄膜制备技术 283 O$,MdhyXC  
11.1 真空技术简介 283 9akIu.H  
11.1.1 真空的基本知识 283 /vLdm-4  
11.1.2 真空的获得 284 q:/<^|  
11.1.3 真空的测量 286 a@&P\"k  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 d~U}IMj  
11.2.1 蒸镀法 289 zwa%$U  
11.2.2 溅射法 300 &KS*rHgt?  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 u+Q<> >lU  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 :AM5EO  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 @?r[ $Ea1M  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 fNnemn@>  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 ht 1d[  
11.3.5 光化学气相沉积 310 c;dMXv   
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 n6Qsug$z  
11.3.7 原子层沉积 312 %}=:gF  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 s35`{PR  
11.4.1 化学镀 313 c_#+xGS!7  
11.4.2 阳极氧化法 314 l@OY8z-_  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 H<`<5M8  
11.4.4 电镀 315 vz-O2B_u  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 )IH|S5mG?  
11.5 光刻蚀 316 d1rIU6  
11.5.1 光刻工艺 316 :]hNw1e  
11.5.2 光刻胶 317 H${5pY_M  
11.5.3 掩模 318 ?' :v): J}  
11.5.4 曝光 318 qXw^y  
11.5.5 刻蚀方法 318 ~d072qUos  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 6,q}1-  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $)O=3dNbo  
习题 323 j aEUz5  
参考文献 324 KtO|14R:  
第12章 光学薄膜检测技术 326 HDY2<Hzc  
12.1 光谱分析技术基础 326 muJR~4  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 AYP*J  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 Adma~]T9  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 V|n}v?f_q  
12.2.1 透射率测量 333 _vV3A3|Ec,  
12.2.2 反射率测量 334 34gC[G=  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 +-*Ww5Zti  
12.3.1 吸收测量 338 zY=eeG+4s  
12.3.2 散射测量 342 "A]Xe[oS  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 UTLuzm  
12.4 光学薄膜常数测量 347 -0>gq$/N=^  
12.4.1 光度法 348 Sd |=*X  
12.4.2 全反射衰减法 354 p?v.42R:z  
12.4.3 椭圆偏振法 357 Lq6R_ud p  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 1z5Oi u  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 s9)U",  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 #@3& 1 }J/  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 _ / >JM0  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 lIUaGz|  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 -$2a@K,i  
12.6.1 薄膜微结构 368 p"UdD  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 S[ln||{  
12.6.3 雕塑薄膜 372 -+ha4JOB  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 ;[-TsX:  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 rd:WF(]  
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关键词: 薄膜光学
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