薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7249
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 srQGqE~  
2 oo/KndU  
c[>xM3=e^q  
目录 AnK~<9WQj  
第一篇 薄膜元学基本理抢 DS1{~_>nFu  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 8Drz i!}  
1.1 麦克斯韦方程 1 agkGUK/  
1.2 平面电磁波 6 WS ^,@>A  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 p/U{*i ]t  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ;Rljx3!N  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 I<rT\':9  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 jx{wOb~oO)  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ri%j*Kn  
习题 12 G1fC'6$3  
参考文献 12 =<%[P9y  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 aH?+^f"D  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 +ag_w}  
2.1.1 S波反射与透射 14 rS!M0Hq>t  
2.1.2 P波反射与透射 16 Yi j^hs@eV  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 iax0V  
2.2.1 S 波反射与透射 18 aka)#0l .  
2.2.2 P 波反射与透射 20 }P'c8$  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 cLf<YF  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 `&9iC 4P  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 v5\5:b {/  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 Za,myuI+  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 aJ QzM  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 !z1\ #|>  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 b Rc,Y<  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 +s;>@j()V  
2.5.2 全透射 37 7`f%?xVn0  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 B@U'7`v  
2.6 反射率和透射率 39 !zfKj0^  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 Z (t7QFd  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 4.p:$/GTS  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 NBL%5!'  
习题 44 oY+p;&H  
参考文献 44 as(/ >p  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 }K5okxio  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Z9.0#Jnu  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 /xSFW7d1  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 = N;5T  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 UwxszEHC  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 { V) `6  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 U\u07^h[  
3.4.1 一阶近似 62 \Si p  
3.4.2 二阶近似 63 zW\s{  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Y1ks'=c>  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 Cs(sar:7  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 T%;V_iW-  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 JA*+F1s  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 z-qbe97  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 8{i O#C  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ;: &|DN3;  
习题 79 ^|SiqE  
参考文献 79 dr(-k3ex  
第4章 膜系设计图示法 81 ; NH^+h  
4.1 矢量法 81 ?;_*8Doq-a  
4.2 导纳图解法 87 3vKTCHbk9  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 b50mMW tG  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 4BSqL!i(  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 2kt0Rxg  
4.3 金属膜导纳圆图 97 x5CMP%}d  
4.4 膜系层间电场分布 99 u>]3?ty`  
习题 100 tS>^x  
参考文献 101 M\/hK2J# #  
第二篇 光学等膜分类反应用 `/Rqt+C  
第5章 增透膜 102  DR{O.TX  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 y%X! l(gQ  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 d]Y;rqjue  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 :EAh%q  
5.4 均匀介质增透膜 107 cS'{h  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Fuzb4Df  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 0k{\W  
5.5 非均匀介质增透膜 113 %S"85#R5E  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 2l O(f+  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 641P)  
习题 118 14" 57Jt8  
参考文献 118 P%)r4+at  
第6章 高反射膜 120 t,Ka] /I  
6.1 反射镜组合的反射率 120 <gFa@at  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 |1 "&[ .  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 @ ?M\[qeF@  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 2QRO$NieV  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 |?#JCG  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 J_ h.7V  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 M2-`p  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 4qz+cB_  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 rVqQo` K\  
6.8 金属反射镜 134 PMpq>$6b7  
6.8.1 常用金属反射镜 134 $L 8>Ha}  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 y]0O"X-G  
6.9 影响反射特性的因素 137 s*[ I"iE  
6.10 高反射镜应用实例 143 }L)[>  
6.10.1 激光高反射镜 143 IJ&Lk=2E]  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 Uffwzd!  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 vMB61 |O  
习题 146 A1INaL  
参考文献 146 ^hiY6N &  
第7章 带通滤光片 149 RARA_tii  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 mmbe.$73  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ~t~[@2?WG  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 |67Jw2  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 NX,m6u  
7.3.2 膜系透射定理 153 Q{|%kU"  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Yu\$Y0 {]  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 X2@Ef2EkM  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 C[<}eD4bV  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 Ai1"UYk\\Y  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164  ce9P-}d  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 T2MC`s|`  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 A{ ~D_q  
7.5 超窄带带通滤光片 183 dazNwn  
7.6 宽带带通滤光片 185 $C;i}q#  
7.7 带通滤光片的角特性 186 )0-A;X2  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 [j-?)  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 'EiCT l  
习题 193 D,}bTwRb-  
参考文献 193 wn5OgXxG<  
第8章 截止滤光片 196 U-9Aq  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 NgDhdOB  
8.2 吸收型截止滤光片 197 "-$}GUK?Z  
8.3 干涉型截止滤光片 198 ID2->J  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 @01.Pd   
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Ks P2./N  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 T0tX%_6`  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Ze~P6  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 d\JaYizp  
8.3.6 截止带的展宽 210 i90X0b-A  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 C P}fxDW  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 'vd&r@N  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 N!(mM;1X)  
习题 221 G0UaE1n  
参考文献 221 6}TunR  
第9章 带阻滤光片 223 %NrH\v{7Q  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 \R<MQ# x  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 g:M;S"U3*Y  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 C8|V?bL  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 -U/)y:k!%  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 KMj\A d  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 t2o{=!$WH  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 CW+kKN  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 9 8|sWI3 B  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 X[o+Y@bc  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 <R]m(  
习题 241 w 0_P9g:  
参考文献 241 [7I bT:ph  
第10章 分光镜 243 >J7slDRo  
10.1 中性分光镜 243 }ssV"5M  
10.1.1 金属膜中性分光 244 m[}k]PB>  
10.1.2 介质膜中性分光 245 -i`jS_-Cv-  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 _ p\L,No  
10.2 双色分光镜 249 ]eKuR"ob0  
10.3 偏振分光 254 uCDe>Q4@/  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ;d6Dm)/(  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 BYq80Vk%@  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 UH!(`Z\C  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 r @4A% ql<  
10.4 消偏振分光 262 ?XHQdN3e  
10.4.1 偏振分离的描述 263 nqo{]fn  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 e_=K0fFz  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 ^v; )6a2  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 =x8[%+  
10.5 分光中的消色差问题 280 ]bY|>q  
习题 281 #hxYB  
参考文献 282  g{Hgs  
第二篇 薄膜扶术基础 iwK.*07+  
第11章 薄膜制备技术 283 Z\nDR|3  
11.1 真空技术简介 283 5bLNQz\WJ  
11.1.1 真空的基本知识 283 7[1Lh'u  
11.1.2 真空的获得 284 #dZs[R7h  
11.1.3 真空的测量 286 =P(*j7=  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 0SI@`C*1o  
11.2.1 蒸镀法 289 [7vV#s3kJ  
11.2.2 溅射法 300 r^~+ <"  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 JY"jj}H]|  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 o]<Z3)  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 XDY]LAV  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 g$K\rA  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 aJ+V]WmA  
11.3.5 光化学气相沉积 310 3YvKHn|V"  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 `MU~N_  
11.3.7 原子层沉积 312 =Wcvb?;*  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 sLr47 NC  
11.4.1 化学镀 313 "#~>q(4^  
11.4.2 阳极氧化法 314 Mh)? A/e  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 `WayR^9  
11.4.4 电镀 315 bXs=<`>  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 >of34C"DI  
11.5 光刻蚀 316 d6J/)nl  
11.5.1 光刻工艺 316 aD: #AmbJ  
11.5.2 光刻胶 317 Hm2Y% 4i%  
11.5.3 掩模 318 >jI.$%L$  
11.5.4 曝光 318 7zG r+Px  
11.5.5 刻蚀方法 318 l!tR<$|  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 M6g8+sio  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 c2P}P* _  
习题 323 4,)9@-|0R  
参考文献 324 #LasTN9  
第12章 光学薄膜检测技术 326 ,Pa*; o\  
12.1 光谱分析技术基础 326 ?9~^QRLT  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 pl]|yIZ  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 yD3}USw  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ~XOmxz0  
12.2.1 透射率测量 333  lbHgxZ  
12.2.2 反射率测量 334 !l%:   
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 8<L{\$3HP|  
12.3.1 吸收测量 338 joe)b  
12.3.2 散射测量 342 b > D  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 fmW{c mr|  
12.4 光学薄膜常数测量 347 Jy(G A  
12.4.1 光度法 348 yx]9rD1cz  
12.4.2 全反射衰减法 354 YlrN^rO  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ZwUBeyxS=c  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 jYp!?%!  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 i7#4&r  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 11oNlgY&  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362  L8`v  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 0ID9=:J  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 =~;~hZj  
12.6.1 薄膜微结构 368 0/GBs~P  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ng%[yY  
12.6.3 雕塑薄膜 372 $*0-+h  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 -#ZLu.  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 H,(vTthd  
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关键词: 薄膜光学
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