薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6924
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 fXfBDB  
>d#oJ?goX  
FyD^\6/x  
目录 V)x(\ls]SX  
第一篇 薄膜元学基本理抢 O`Ht|@[6  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 nADt8  
1.1 麦克斯韦方程 1 [4qCW{x._  
1.2 平面电磁波 6 ">pW:apl%  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 vwy10PlqL  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 9 {&APxm  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 x1H?e8  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 X^204K%:  
1.4 电磁波谱、光谱 10 hv" 'DP  
习题 12 &?+vHE}  
参考文献 12 ! C}t)R]^  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 Ve/"9 ?Y_  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 F.;G6  
2.1.1 S波反射与透射 14 lIR0jgP@z  
2.1.2 P波反射与透射 16 Jt-s6-2  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 YA(_*h  
2.2.1 S 波反射与透射 18 n0nf;E  
2.2.2 P 波反射与透射 20 F\pw0^K;N  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 dFdll3bC  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ?Q$LIoR  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 JiFy.Pf  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 r]!<iw  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 2kv%k3 Q{  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 00DWXGt20o  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 E>_?9~8Mf  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 /cmnX'z  
2.5.2 全透射 37 NpmPm1Ix .  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 e[`E-br^  
2.6 反射率和透射率 39 3,`.$   
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 Rg:3}T`~n  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 k:?+75?$  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 &5 *)r@+  
习题 44 p)  x.Y  
参考文献 44 ONx|c'0g  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 |. bp  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 G5^gwG+  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 "|1MJuY_6  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 @G/':N   
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 # Sm M5%  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 $Cu/!GA4.>  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 6{O#!o*g  
3.4.1 一阶近似 62 DNgQ.lV  
3.4.2 二阶近似 63 3YY<2<  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 )p.+39]{2  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 2>{_O?UN  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ~;ink   
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 j/zD`yd j  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 `[+9n2j  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 0m5Q;|mH  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 q.(p.uD  
习题 79 +uPN+CgQ@  
参考文献 79 E(G=~>P  
第4章 膜系设计图示法 81 \!UNa le  
4.1 矢量法 81 tVx.J'"Y  
4.2 导纳图解法 87 `1%SXP1  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 {Y5h*BD>  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 !$q1m@K1  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 vcB +h;x  
4.3 金属膜导纳圆图 97 =N,KVMxw  
4.4 膜系层间电场分布 99 ^qpa[6D6x  
习题 100 h.)2,  
参考文献 101 c%.f|/.k  
第二篇 光学等膜分类反应用 +n(H"I7cU  
第5章 增透膜 102 $XS0:C0  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ~qNpPIrGr  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 -X@;"0v  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 QN(f8t(  
5.4 均匀介质增透膜 107 TJtW?c7  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 m[^;HwJ  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 i_GE9A=h  
5.5 非均匀介质增透膜 113 BfOG e!Si  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 @C=, >+D  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 oB[3? e  
习题 118 ;>=hQC{f>  
参考文献 118 l,/q# )5[  
第6章 高反射膜 120 :C42yQAP  
6.1 反射镜组合的反射率 120  OU=9fw  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 F~d !Ub$>  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 Ja-D}|;  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 .<Z7 K @  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ?xf59mY7  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 k?Jzy  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 '4sT+q  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 F *; +-e  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 !W:QLOe6F  
6.8 金属反射镜 134 y_"GMw  
6.8.1 常用金属反射镜 134 6,G^iv6H  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 7>{edNy!,  
6.9 影响反射特性的因素 137 Kw'Dzz%kN  
6.10 高反射镜应用实例 143 T GMHo{ ]  
6.10.1 激光高反射镜 143 ./<3jf :  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 HkvCQH  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 nVG\*#*]|  
习题 146 |~H'V4)zXu  
参考文献 146 mUy/lo'4  
第7章 带通滤光片 149 jTw s0=F*  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 6@2p@eYo  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 VhSKtD1  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 va8:QHdU  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 |iM*}Ix-  
7.3.2 膜系透射定理 153 f Jv 0 B*  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 9+QLcb  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 D.Cm&  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 Lu:!vTRmw  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 cb%w,yXw  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 #Mbt%m  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 8zj09T[  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 _;01/V"q6  
7.5 超窄带带通滤光片 183 (kp}mSw  
7.6 宽带带通滤光片 185 8KWT d  
7.7 带通滤光片的角特性 186 Q X@&~  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 GWE`'V  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 BpP\C!:^  
习题 193 e^'?:j  
参考文献 193 $Z28nPd/  
第8章 截止滤光片 196 uFdSD  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 /LSiDys  
8.2 吸收型截止滤光片 197 1Y9Ye?~jd  
8.3 干涉型截止滤光片 198 7 oZ-D~3  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 p'w[5'  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 r~s03g0  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201  7/7A  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 F$ h/k^  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208  j Mp{  
8.3.6 截止带的展宽 210 X_!mZ\H7  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 Jy|Mfl%d  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ; wHuL\  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 #-lk=>  
习题 221 wFqz.HoB  
参考文献 221 *fd` .}  
第9章 带阻滤光片 223 M.OWw#?p:_  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 jilO%  "  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 rkD4}jV  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 t*}<v@,  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 [2\`Wh:%P  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 U'lmQrF!  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 :m$%D]WY  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 W' 2)$e  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 O_iX 1@SW  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 -x_iqrB  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 4x C0Aw  
习题 241 $!vi:+ED  
参考文献 241 '6WDs]\  
第10章 分光镜 243 fGe{7p6XV*  
10.1 中性分光镜 243 g<lX Xj2  
10.1.1 金属膜中性分光 244 s+CXKb +  
10.1.2 介质膜中性分光 245 lmc-ofEv  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 3o^V$N.  
10.2 双色分光镜 249 ',&MYm\  
10.3 偏振分光 254 !CMN/=  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Y-{spTI  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 blPC"3}3Vd  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 ud#8`/!mq  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 r=[}7N  
10.4 消偏振分光 262 Fh/C{cX9g  
10.4.1 偏振分离的描述 263 <1LuYEDq  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 -"nYCF  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 sO6t8)$b  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ~w*ojI  
10.5 分光中的消色差问题 280 '{u#:TTj  
习题 281 'K"*4B^3  
参考文献 282 |$w-}$jq5  
第二篇 薄膜扶术基础 Qp?+_<{  
第11章 薄膜制备技术 283 S8cFD):q  
11.1 真空技术简介 283  Uh8ieb  
11.1.1 真空的基本知识 283 iGlZFA  
11.1.2 真空的获得 284 ge?ymaU$a  
11.1.3 真空的测量 286 5(|ud)v  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 1 `AE]  
11.2.1 蒸镀法 289 h ,n!x:zy@  
11.2.2 溅射法 300 .KLuGb 3JJ  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 lKwcT!Q4  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 #P@r[VZ{6  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 K;ML'  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 lpM{@JC  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 _t[%@G>P  
11.3.5 光化学气相沉积 310 )K6{_~Kc\  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 m{yON&y  
11.3.7 原子层沉积 312 !58JK f  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 NEH$&%OV?  
11.4.1 化学镀 313 n 3]y$wK  
11.4.2 阳极氧化法 314 .KSGma6]  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 8UcT? Zp  
11.4.4 电镀 315 1GdgF?4  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 7L6M#B[)e5  
11.5 光刻蚀 316 1mV0AE538  
11.5.1 光刻工艺 316 `ouzeu9}  
11.5.2 光刻胶 317 5`DH\VD.j  
11.5.3 掩模 318 E;Hjw0M'k  
11.5.4 曝光 318 z~5'p(|@f  
11.5.5 刻蚀方法 318 el%Qxak`"  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 )1,&YJM*6l  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 I$LO0avvH2  
习题 323 !;a<E:  
参考文献 324 5b'S~Qj#r$  
第12章 光学薄膜检测技术 326 m t^1[  
12.1 光谱分析技术基础 326 Uf<vw3  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 *)1z-rH`  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 iE`aGoA  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 "lZ<bG  
12.2.1 透射率测量 333 n58jB:XR(  
12.2.2 反射率测量 334 yw<xv-Q=i  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 g < o;\\  
12.3.1 吸收测量 338 ~] 2R+  
12.3.2 散射测量 342 ( -@>  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 M[{:o/]<  
12.4 光学薄膜常数测量 347 3\G=J  
12.4.1 光度法 348 AlxS?f2w  
12.4.2 全反射衰减法 354 {@%(0d{n}  
12.4.3 椭圆偏振法 357 pAuwSn#i  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 sCl,]g0{  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 t@n (a  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 <k6xScy$}  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 +GS=zNw#  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 xn8B|axB  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 R2`g?5v  
12.6.1 薄膜微结构 368 S/;Y4o  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 1n"X?K5;A  
12.6.3 雕塑薄膜 372 =;=V4nKN  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 sQs5z~#51*  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ?g4|EV-56  
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关键词: 薄膜光学
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