薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6682
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 fJ.=,9:<  
@w==*.x  
c^1JSGv  
目录 V.u^;gr3  
第一篇 薄膜元学基本理抢 .Qn#wub  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ym6Emf]  
1.1 麦克斯韦方程 1 Z"Hq{?l9  
1.2 平面电磁波 6 <ZZfN@6  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ~h8k4eM  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7  EJC}"%h  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ^Ff fc@=  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 p%>!1_'(  
1.4 电磁波谱、光谱 10 W%ix|R^2]  
习题 12 HI D6h!  
参考文献 12 [7DU0Xg7  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 M^ WoV }'  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 8i`T?KB  
2.1.1 S波反射与透射 14 teDRX13=;  
2.1.2 P波反射与透射 16 `O3#/1+  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 Fczia0@z  
2.2.1 S 波反射与透射 18 !K*3bY`#  
2.2.2 P 波反射与透射 20 !lEV^SQJs  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 "N%W5[C{  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 R6;229e  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 <LBCu;  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 gf9,/m  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ?P7QAolrr  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 8sDw:wTC  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 \J(~ Nv5!  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 lp$,`Uz`  
2.5.2 全透射 37 e'npa*.e  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 U/U_q-z]  
2.6 反射率和透射率 39 E]a,2{&8<  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 su\Lxv  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 E?K(MT&@  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 U .^%7.  
习题 44 ^|rzqXW  
参考文献 44 E(S$Q^  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 4yxf/X)  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 PR7bu%Y*eD  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 Tff eCaBv  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 E0r#xmk  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 aFrZ ;_  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 \3U.;}0_X  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 "$%&C%t  
3.4.1 一阶近似 62 J{uqbrJICr  
3.4.2 二阶近似 63 W}(xE?9&  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ABtv|0K  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 :Z;kMrU  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 QE;,mC>  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 i}:^<jDv?  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 i"!j:YEo  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 czo*_q%  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 V,tYqhQ3  
习题 79 XHuHbriI  
参考文献 79 A:sP%c;  
第4章 膜系设计图示法 81 v>Kv!OY:c  
4.1 矢量法 81 $*0XWrE  
4.2 导纳图解法 87 ap|V}j C  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 [DSzhi]  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 F JxH{N6a  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 hdH-VR4  
4.3 金属膜导纳圆图 97 .YS48 c  
4.4 膜系层间电场分布 99 _32 o7}!x  
习题 100 L{6Vi&I84[  
参考文献 101 >Cr'dKZ}  
第二篇 光学等膜分类反应用 ~m7?:(/lb  
第5章 增透膜 102 ^''3}<Ep  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 pvqbk2BO  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 eNt1P`2[  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 DoJ3zYEk  
5.4 均匀介质增透膜 107 wAF#N1-k  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 x5W@zqj  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 R? ,XSJ  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ( v=Z$#l  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 :?gk =JH:  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 euh rEjwkH  
习题 118 `~W?a  
参考文献 118 xb(y15R\I  
第6章 高反射膜 120 V@ph.)z  
6.1 反射镜组合的反射率 120 oJ}$ /_  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 /{X2:g{  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 r?n3v[B  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 uchz<z1  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 pB]+c%\  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 klC48l  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 0',-V2  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 O:O +Q!58  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 gtb,}T=1  
6.8 金属反射镜 134 Q|HOy8O}Z  
6.8.1 常用金属反射镜 134 a<Pt m(,  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 Q(YQ$ i"S  
6.9 影响反射特性的因素 137 _"";SqVB  
6.10 高反射镜应用实例 143 }%eXGdC  
6.10.1 激光高反射镜 143 >_?Waz %  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ji|tc9#6  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 3HmJixy  
习题 146 }#f~"-O  
参考文献 146 .3 T#:Hl  
第7章 带通滤光片 149 f9&po2Pzf  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 6/thhP3`-  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 V\o& {7!  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 wTY8={p]  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 &!FWo@  
7.3.2 膜系透射定理 153 iYxpIqWw  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 HOAgRhzE  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 {B lM<  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 a)Ca:p  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 4m$Xjj`vE  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 r$Ck:Q}  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 wi/dR}*A  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 .q7o7J%  
7.5 超窄带带通滤光片 183 7vs>PV  
7.6 宽带带通滤光片 185 %CiZ>`5n#  
7.7 带通滤光片的角特性 186 </8F  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 4!KUPgg  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 f"G?#dW/1  
习题 193 a5xp[TlXn.  
参考文献 193 5}t}Wc8  
第8章 截止滤光片 196 /"<o""<]  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 xT$9M"  
8.2 吸收型截止滤光片 197 ?5g0#wqI  
8.3 干涉型截止滤光片 198 WwM/M!98J  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ]1 OZY@  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 r/vRaOg>X  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 r8E)GBH-|  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 5b2_{6t  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 Q7$K,7flf;  
8.3.6 截止带的展宽 210 wfxg@<WR  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 -?$Hr\  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ^B|Q&1  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 U&\8~h  
习题 221 #\]:lr{>?4  
参考文献 221 Xr@]7: ,  
第9章 带阻滤光片 223 >~sAa+Oxi  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 2& l~8,  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 \We\*7^E  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 n_/_Y >{M0  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 KGsH3{r  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ( o_lH2  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ^sp+ sr :  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 VY5/C;0^h  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 1c} %_Z/  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 [l2ds:  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 .*s1d)\:  
习题 241 b!R\u1b  
参考文献 241 I(*4N^9++  
第10章 分光镜 243 #;32(II  
10.1 中性分光镜 243 {\Eqo4A5}  
10.1.1 金属膜中性分光 244 }0P5~]S<5A  
10.1.2 介质膜中性分光 245 H7KcPN(0  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 L+&eY?A  
10.2 双色分光镜 249 y[s* %yP3l  
10.3 偏振分光 254 .}>DEpc:n  
10.3.1 偏振特性的描述 254 M@V.?;F},  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 C]tHk)<|42  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 jQp7TdvLE$  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Fx.hti  
10.4 消偏振分光 262 w{t2Oo6Q0+  
10.4.1 偏振分离的描述 263 9w Pc03a  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ^nYS @  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 EhkvC>y  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 #l6L7u0~wC  
10.5 分光中的消色差问题 280 RY(\/W#$  
习题 281 hDp -,ag{  
参考文献 282 ,&;#$ b5  
第二篇 薄膜扶术基础 ]F5qXF5  
第11章 薄膜制备技术 283 8]N  
11.1 真空技术简介 283 ,{ C   
11.1.1 真空的基本知识 283 I&oHVFY+  
11.1.2 真空的获得 284 %8)GuxG*  
11.1.3 真空的测量 286 wr/Z)e =^3  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ,iXE3TN;W  
11.2.1 蒸镀法 289 O3JN?25s  
11.2.2 溅射法 300 0B^0,d(s  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ))" *[  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 `,mE '3&  
11.3.2 常压化学气相沉积 308  m/)Wn  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 0jsU^m<g  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 J 00%,Ju_  
11.3.5 光化学气相沉积 310 T>l=0a #  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ;~Ke5os=s  
11.3.7 原子层沉积 312 EROf%oaz=  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 <n iq*  
11.4.1 化学镀 313 /;t42 g9w  
11.4.2 阳极氧化法 314 7-"ml\z  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 P#/k5]g  
11.4.4 电镀 315 #<X+)B6t  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 0f).F  
11.5 光刻蚀 316 S{7*uK3$  
11.5.1 光刻工艺 316 pJC@}z^cw  
11.5.2 光刻胶 317 ^mLZT*   
11.5.3 掩模 318 NGD?.^ (G  
11.5.4 曝光 318 bE-{ U/;  
11.5.5 刻蚀方法 318 ?u/Uov@rD  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 VjbRjn5LI  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 c}a.  
习题 323 >5{Z'UWxh  
参考文献 324 Y%v?ROql  
第12章 光学薄膜检测技术 326 #>+O=YO  
12.1 光谱分析技术基础 326 Np4';H  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326  =,q,W$-  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 -hav/7g  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 @B;2z_Y!l  
12.2.1 透射率测量 333 =.9L/74@  
12.2.2 反射率测量 334 )~1QOl "~  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 58"Cn ||tF  
12.3.1 吸收测量 338 yUF<qB  
12.3.2 散射测量 342 _RT3Fk  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 Pa%;[hbn  
12.4 光学薄膜常数测量 347 m}\G.$h4  
12.4.1 光度法 348 3 8>?Z ]V  
12.4.2 全反射衰减法 354 =W(mZ#*vdY  
12.4.3 椭圆偏振法 357 HS"E3s8  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 X\tE#c&K  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 H]V@Q~?e  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 kB-%T66\  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 T^3_d93}d  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 zc&>RM  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 " (c#H  
12.6.1 薄膜微结构 368 }5~|h%  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 8_8r{a<xW  
12.6.3 雕塑薄膜 372 b4GD}kR  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 \F;V69'  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 V)M+dhl  
R[Q`2ggG  
优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价  ¥89.00] aqq7u5O1r  
关键词: 薄膜光学
分享到:

最新评论

我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1