薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6930
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ioi/`iQR  
Zo=,!@q(  
khX/xL  
目录 eXl?f_9  
第一篇 薄膜元学基本理抢 lU1SN/'zx  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 r]e{~v/  
1.1 麦克斯韦方程 1 eu(Fhs   
1.2 平面电磁波 6 |gk*{3~y  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 uI,*&bP  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 f} c;s  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 /E6)>y66  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 lO@-*m$  
1.4 电磁波谱、光谱 10 I"]E}nd)  
习题 12 \%r#>8c8  
参考文献 12  V FM[-  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ckX8eg!f  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 %jAc8~vW?  
2.1.1 S波反射与透射 14 ,.Gp_BI  
2.1.2 P波反射与透射 16 icG 9x  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 )QAYjW!Z  
2.2.1 S 波反射与透射 18 as:=QMV  
2.2.2 P 波反射与透射 20 {tVA(&\<  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 X0*+]tRg  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ],c0nz^%BR  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 ` k] TOc  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 VmQ^F| {  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 T#&1q]P1F  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 {r&r^!K;  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 " lD -*e4  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Pr>$m{ Z  
2.5.2 全透射 37 !d##q)D f?  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 #7fOH U8v  
2.6 反射率和透射率 39 $Y/z+ea  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 q`AsnAzo&  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 2`i &6iz  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ;)rhx`"n  
习题 44 HtN: v  
参考文献 44 ]FR#ZvM>x  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 iu{y.}?  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45  !5 S#  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47  5+GTK)D  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 0Cc3NNdz  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 []OS p&  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 u9_? c G-  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 7gtaI3   
3.4.1 一阶近似 62 K81FKV.  
3.4.2 二阶近似 63 D*L@I@ [  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 uJ"#j X  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 X>dQK4!R  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 8Ogg(uS70'  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Ds=d~sNu  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 # wn>S<  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 z%fjG}z  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 Q8TR@0d  
习题 79 "P5,p"k:)  
参考文献 79 ,ig`'U  
第4章 膜系设计图示法 81 L{sFR^-G  
4.1 矢量法 81 , -])[u  
4.2 导纳图解法 87 ZrYRLg  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 uToi4]w"y  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 %5ov!nm7  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 *o=Z~U9z  
4.3 金属膜导纳圆图 97 Sn97DCdk  
4.4 膜系层间电场分布 99 :4:U\k;QwA  
习题 100 KjA7x  
参考文献 101 $1X !Ecq_  
第二篇 光学等膜分类反应用 ~Q- /O~  
第5章 增透膜 102 KYhL}C+  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 af'ncZ@U  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 a#0*#&?7@  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 *<9M|H~  
5.4 均匀介质增透膜 107 h\C1:0x{  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 D$hK  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 .Sm 8t$  
5.5 非均匀介质增透膜 113 rp ]H&5.*  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 _J>Ik2EF  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 2Z(?pJyDM  
习题 118 JWt@vf~  
参考文献 118 Y(JZP\Tf_N  
第6章 高反射膜 120 j1JdG<n  
6.1 反射镜组合的反射率 120 Qz"@<qgQy  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 ziAn9/sT  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 NR^Z#BU  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 yr zyus  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 j97c@  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 nQw, /L k  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 i;2V   
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 2$Z4 >!  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ud(w0eX  
6.8 金属反射镜 134 Lz- (1~o  
6.8.1 常用金属反射镜 134 pfk)_;>,  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 voN,u>U  
6.9 影响反射特性的因素 137 -z/>W+k  
6.10 高反射镜应用实例 143 Dk~ JH9#  
6.10.1 激光高反射镜 143 l) Cg?9  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 %F*h}i  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 B3u:D"t  
习题 146 'kCr1t  
参考文献 146 &53LJlL Co  
第7章 带通滤光片 149 %yy|B  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 }e1]Ib!  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 M/6q ^*  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 _t7aOH  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 %Y].i/".;P  
7.3.2 膜系透射定理 153 :as2fO$?  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 v~O2y>8Z  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 0Q/BTT%X  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 p6{8t}  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 7baQ4QY?n  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 i;<H^\%  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 x8rp Z  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 0o!Egq_  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ma2-66M~j  
7.6 宽带带通滤光片 185 ^^*dHWHn<  
7.7 带通滤光片的角特性 186 *Q3q(rdrp  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 al Q:'K  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 PwxRu  
习题 193 vB/G#\Zqz  
参考文献 193 >x1?t  
第8章 截止滤光片 196 [1`&\C_E  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 oGZ%w4T  
8.2 吸收型截止滤光片 197 h1N{;SWQ  
8.3 干涉型截止滤光片 198 "\Nn,3qp  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 }W"/h)q  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 &14Er,K  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 3hzKd_  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 &p^8zEs  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 TqXB2`7Ri  
8.3.6 截止带的展宽 210 Oc?]L&ap  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 +,Z Q( ZW  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 >BlF< d`X  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 ^{fA:N=  
习题 221 uyWt{>$  
参考文献 221 ||kUi=5  
第9章 带阻滤光片 223 dX~$#-Ad86  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ~Wj. 4b*  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 xrl!$xE GX  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 _QOZ`st  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ZC:7N{a  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 +(| ,Ke  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 uY|-: =  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 r5\|%5=J  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 3At%TA:  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 n[`FoY  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 9TbRrS09  
习题 241 &,~Oi(SX5  
参考文献 241 TW}nO|qw  
第10章 分光镜 243 ":N E I  
10.1 中性分光镜 243 z 7g=L@   
10.1.1 金属膜中性分光 244 ?Q%X,!~ \:  
10.1.2 介质膜中性分光 245 5QUL-*t  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 dBMr%6tz  
10.2 双色分光镜 249 W~FM^xR?p  
10.3 偏振分光 254 mXXU{IwUe  
10.3.1 偏振特性的描述 254 5ki<1{aVtZ  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 )>|x2q  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 +&h<:/ V  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 o& "nF+,  
10.4 消偏振分光 262 f+ Ht  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Gg=Y}S7:  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 =Hwlo!  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 0'0GAh2  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 o\;cXu h  
10.5 分光中的消色差问题 280 Sr?2~R0&  
习题 281 ^9*kZV<K  
参考文献 282 a8laP N  
第二篇 薄膜扶术基础 VwrHD$  
第11章 薄膜制备技术 283 :N ~A7@  
11.1 真空技术简介 283 @is!VzE  
11.1.1 真空的基本知识 283 R9`37(c9+  
11.1.2 真空的获得 284 R-V4Ju[:  
11.1.3 真空的测量 286 B78e*nNS#2  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 2Ub!wee  
11.2.1 蒸镀法 289 HJeZm  
11.2.2 溅射法 300 X1PXX!]lo[  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 /I/gbmc)  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ~dc~<hK  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 J-wF2*0r<  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 8\ { 1y:|  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 <UC_QPA\  
11.3.5 光化学气相沉积 310 &3_.k  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 7 I`8r2H  
11.3.7 原子层沉积 312 I@/+=  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 4V9S~^v|  
11.4.1 化学镀 313 \&Zp/;n  
11.4.2 阳极氧化法 314 TtKV5  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ydm2'aV  
11.4.4 电镀 315 `8sC>)lrwu  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 EAPjQA-B?  
11.5 光刻蚀 316 $"[5]{'J  
11.5.1 光刻工艺 316 r?j2%M\  
11.5.2 光刻胶 317 gONybz6]  
11.5.3 掩模 318 $]t3pAI[H0  
11.5.4 曝光 318 -L&%,%  
11.5.5 刻蚀方法 318 s7> a  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 A5[iFT>  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 /_l$h_{DH  
习题 323 L.tW]43K  
参考文献 324 &;wNJ)Uc  
第12章 光学薄膜检测技术 326 C_ 4(- OWq  
12.1 光谱分析技术基础 326 }s++^uX6  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 f\U(7)2  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 M!)~h<YL  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 3JJEj1O  
12.2.1 透射率测量 333 aoP=7d|K/  
12.2.2 反射率测量 334 yJn<S@)VT:  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ,z0~VS:g8  
12.3.1 吸收测量 338 r(6$.zx  
12.3.2 散射测量 342 ,\Uc/w R  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 /c:78@  
12.4 光学薄膜常数测量 347 1@S(v L3a  
12.4.1 光度法 348 e=u?-8  
12.4.2 全反射衰减法 354 !/RL.`!>  
12.4.3 椭圆偏振法 357 :.bBV]6q  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 w1J%%//(h  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 &6q67  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 Lsb`,:  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 P4{!/&/  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 UsQh+W"?  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 d;FOmo4  
12.6.1 薄膜微结构 368 &~{0@/  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 }u?DK,R  
12.6.3 雕塑薄膜 372 _k O<|ev  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 15\k/[3 #  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 :-)H tyzf  
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关键词: 薄膜光学
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