薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6936
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 x($1pAE  
z`CI gSR  
1Cthi[ B  
目录 S5vJC-"  
第一篇 薄膜元学基本理抢 Im =E?t  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 z$A5p4=B'^  
1.1 麦克斯韦方程 1 -xXM/3g1u  
1.2 平面电磁波 6 XUWza=BR"  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 dc* #?G6^  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 4e4$AB"  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 hLF@'ln  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ?*g]27f11  
1.4 电磁波谱、光谱 10 q4E{?  
习题 12 <e"2<qVi  
参考文献 12 ~ lS3+H  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 4Y'qo M;  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 hH~Z hB  
2.1.1 S波反射与透射 14 {^v50d  
2.1.2 P波反射与透射 16 uG<+IT|x  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 6K &V}  
2.2.1 S 波反射与透射 18 u:k#1Nn!  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ~$5[#\5%G  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 ) Ez=#dIq  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ~lMsD~$sO  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 >13=4S  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 N4r`czoj  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 !&X}? NK  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 F!U+IztZ   
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 *E>YLkg]  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 sfH|sp  
2.5.2 全透射 37 7be?=c)+"  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 6sntwT"?  
2.6 反射率和透射率 39 }'3V(;9  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 FD8aO?wvg  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 phTZUm i  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 I".r`$XZ  
习题 44 tG6 o^  
参考文献 44 TE/2}XG)  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 R8a xdV9(  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 JprZ6 >  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 Z#0z#M`  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 FT=w`NE,+  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 -y~JNDS1]  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 tFRWxy[5  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 Z0x N9S  
3.4.1 一阶近似 62 UrgvG, Lt  
3.4.2 二阶近似 63 p B )nQ5l'  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 c=7L)w:I  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 7eY*Y"GX  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 .NabK  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 OyVp 3O  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ]+oPwp;il  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 &9'6hMu  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ")TI,a`  
习题 79  B} :[~R'  
参考文献 79 K,J:i^2  
第4章 膜系设计图示法 81 Ek84yme#  
4.1 矢量法 81 LJT+tb?K  
4.2 导纳图解法 87 Yu'lD`G  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 g5H+2lSC  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 Lq yY??\@  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 F3+)bIz  
4.3 金属膜导纳圆图 97 w+Ag!O}.L  
4.4 膜系层间电场分布 99 <^M`U>   
习题 100 2/I^:*e  
参考文献 101 wAITE|H<zj  
第二篇 光学等膜分类反应用 )wAqaG_d  
第5章 增透膜 102 b" p,~{  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ?QZ\KY  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ;]|Z8#s  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 m(?M]CH(A  
5.4 均匀介质增透膜 107 5pz%DhjLo  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 .HMO7n6)8l  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 =6/0=a[  
5.5 非均匀介质增透膜 113 !\CoJ.5=  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 JVU:`BH  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 Riw#+#r]/  
习题 118 W0X?"Ms|a  
参考文献 118 MOdodyG  
第6章 高反射膜 120 p9Ks=\yvL  
6.1 反射镜组合的反射率 120 S=2-<R  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 'a*tee ^RS  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 5PG%)xff*  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 T0v;8E e  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 JhIgq W2  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 $TWt[  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 F.K7w  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 1)vdM(y3j  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 R9~%ORI#;  
6.8 金属反射镜 134 _a^%V9t  
6.8.1 常用金属反射镜 134 nRJcYl~ Y  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 nJlrBf_Kj  
6.9 影响反射特性的因素 137 In5' (UHW:  
6.10 高反射镜应用实例 143 GRS[r@W[1  
6.10.1 激光高反射镜 143 jCxw|tmgq  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 #"=_GA^.{  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 7$k[cL1  
习题 146 _da>=^hFJ  
参考文献 146 L+bU~N,+A  
第7章 带通滤光片 149 t(}\D]mj  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 '*|Wi}0R  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 XX#YiG4|J  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 rXdI`l#  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 S8^W)XgC;  
7.3.2 膜系透射定理 153 `XS6t)!ik  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Y&'Bl$`  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Oe5=2~4O  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 H"6Sj-<=  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 :VX?j 3qW  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164  Q47Rriw  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 @;!s"!~sv  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 d#T~xGqz  
7.5 超窄带带通滤光片 183 lZ'-?xo  
7.6 宽带带通滤光片 185 E80C0Q+V  
7.7 带通滤光片的角特性 186 _0<qS{RW  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 FT!|YJz<K  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 IxHusB  
习题 193 76(-!Z@=J  
参考文献 193 [RTB|0Q  
第8章 截止滤光片 196 <sE0426 {  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 HeCQF=R  
8.2 吸收型截止滤光片 197 <p;cR` %uE  
8.3 干涉型截止滤光片 198 `9SuDuw;s  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 3XjM@D  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 h/W@R_Y  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 +pURF&Pr  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 > r6`bh [4  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 Y<0 [_+(  
8.3.6 截止带的展宽 210 RBd{1on  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 #p_3j 0S  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 -Zh`h8gX  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 s>~ h<B  
习题 221 ' !>t( Sa  
参考文献 221 pj4M|'F7  
第9章 带阻滤光片 223 #8H  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 <05\  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 \#Ez["mD  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 %{Ez0XwGCn  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Q&S\?cKe  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 dOh`F~ Y)e  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 Y5M>&}N  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 !)FM/Xj,o  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 n@r'b{2;l  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 `Hld#+R  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 t`1E4$Bb\  
习题 241 #0V$KC*>  
参考文献 241 (P&~PJH  
第10章 分光镜 243 ^kA^> vi  
10.1 中性分光镜 243 u^&2T(xG i  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ^dj avJ  
10.1.2 介质膜中性分光 245 }c?/-ab>  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 >jMq-#*4  
10.2 双色分光镜 249 H*BzwbM?  
10.3 偏振分光 254 /X>Fn9 mM  
10.3.1 偏振特性的描述 254 `&xo;Vnc  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 T>,3V:X  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 gx~79;6  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 [9| 8p$  
10.4 消偏振分光 262 $Kw)BnV  
10.4.1 偏振分离的描述 263 g(){wCI  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 oju)8H1o#  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 /<,LM8n  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 |>(d^<nR^v  
10.5 分光中的消色差问题 280 Q[+&n*  
习题 281 DA;,)A&=Q  
参考文献 282 t ' _Au8  
第二篇 薄膜扶术基础 DdJ>1504  
第11章 薄膜制备技术 283 X=$WsfN.h  
11.1 真空技术简介 283 2~<N  
11.1.1 真空的基本知识 283 Jv(9w[  
11.1.2 真空的获得 284 +s?0yH-%p  
11.1.3 真空的测量 286 )* 5R/oy,  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 Q[?O+  
11.2.1 蒸镀法 289 ?\[2Po]n  
11.2.2 溅射法 300 K8xwPoRL  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 owHV&(Go(B  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 aD)XxXwozm  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 -ZwQL="t  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 {!h|(xqN+  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 evOy Tvc  
11.3.5 光化学气相沉积 310 {hYH4a&Hb  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 <5rs~  
11.3.7 原子层沉积 312 =xz Dpn>f  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 &-^|n*=g6  
11.4.1 化学镀 313 }@Rq'VPZd  
11.4.2 阳极氧化法 314 hwgLJY?  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 `\!oY;jk  
11.4.4 电镀 315 Q(Q .(  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 6b& <5,=d:  
11.5 光刻蚀 316 4wfT8CL  
11.5.1 光刻工艺 316 RW19I,d  
11.5.2 光刻胶 317 %@JNX}Y'  
11.5.3 掩模 318 zGKDH=Yy ;  
11.5.4 曝光 318 VK)1/b=yT  
11.5.5 刻蚀方法 318 5m2`$y-nb  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 `-qRZh@E  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 fu3~W  
习题 323 \GA6;6%Oo  
参考文献 324 Mle@.IIT  
第12章 光学薄膜检测技术 326 kT|{5Kn&s  
12.1 光谱分析技术基础 326 o&M2POI~q  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 8w,U[aJm  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 !&4<"wQ  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 =R+z\`2  
12.2.1 透射率测量 333 H(f~B<7q  
12.2.2 反射率测量 334 FCO5SX#-g  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 Vf?+->-?{  
12.3.1 吸收测量 338 nT UKA  
12.3.2 散射测量 342 [Y@?l]&  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 o#(z*v@  
12.4 光学薄膜常数测量 347 m|mY_t  
12.4.1 光度法 348 }Ej^M~Vv  
12.4.2 全反射衰减法 354 |0!oSNJ  
12.4.3 椭圆偏振法 357 "$)Nd+ny  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 nsO!   
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 We7~tkl(  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 }~gBnq_DDU  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 L0ZgxG3:g  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 9G)Sjn`AQ  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 C'~K amS  
12.6.1 薄膜微结构 368 Fqtgw8  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 S 6e<2G=O  
12.6.3 雕塑薄膜 372 t{)Z$ )'  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 w7n6@"q  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 j9)WInYc:  
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关键词: 薄膜光学
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