薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6908
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 x ha!.&DO  
-E.EI@"  
 +&|WC2#  
目录 eI- ~ +.  
第一篇 薄膜元学基本理抢 X _XqT  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 KnlVZn[3t  
1.1 麦克斯韦方程 1 U|,VH-#  
1.2 平面电磁波 6 )5B90[M|t  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 B;^7Yu0,  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 #[IQmU23  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 i2EB.Zlv  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 #\w~(Nm-  
1.4 电磁波谱、光谱 10 #  *\PU  
习题 12 F`'e/  
参考文献 12 Ucv-}oa-?  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 MSw/_{  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 e KET8v[  
2.1.1 S波反射与透射 14 8He^j5  
2.1.2 P波反射与透射 16 (ZDRjBth[  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 }nu hLt1  
2.2.1 S 波反射与透射 18 7)~/`w)P  
2.2.2 P 波反射与透射 20 8xlj:5;(w  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 jPhOk>m  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 8\/E/o3  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 R|`}z"4C  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 om|M=/^  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ACc.&,!IZ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 .BuY[,I+  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 VMsAT3^w  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 bNj| GIf  
2.5.2 全透射 37 )N<>L/R  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 x-Yt@}6mvl  
2.6 反射率和透射率 39 gQh;4v  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 WnU"&XZ  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 (:-=XR9A`  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 %/jm Q6z^  
习题 44 -&y{8<bu4H  
参考文献 44 t: r   
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 Lr_+) l  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 yD(0:g#  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47  jmz, 1[  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ="z\  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ZI-)'  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 P8piXG  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 OiZPL"Q(K  
3.4.1 一阶近似 62 j'I$F1>Te  
3.4.2 二阶近似 63 c"v#d9  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ' w!o!_T6  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 Fn yA;,*  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 % =br-c  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 .^fq$7Y}7  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 77.5 _  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 x/R|i%u-s  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 8it|yK.G@&  
习题 79 qJKD| =_  
参考文献 79 P10`X&  
第4章 膜系设计图示法 81 O\-cLI<h2  
4.1 矢量法 81 8S &`  
4.2 导纳图解法 87 mN!>BqvN  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 <$K%u?  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 zsc8Lw  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 ;spuBA)[X  
4.3 金属膜导纳圆图 97 A !x" *  
4.4 膜系层间电场分布 99 eOE7A'X   
习题 100 A!x_R {,yH  
参考文献 101 %DbL|;z1  
第二篇 光学等膜分类反应用 >x eKO 2o  
第5章 增透膜 102 L Lm{:T7  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 )UO:J7K  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 :OUNZDL  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ,g;~:  
5.4 均匀介质增透膜 107 H*?U@>UU  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 HBXp#$dPc  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 }b\e2ZK  
5.5 非均匀介质增透膜 113 Y, )'0O  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 y9?BvPp+  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 >t2 0GmmN  
习题 118 'RC(ss1G  
参考文献 118 t:9}~%~  
第6章 高反射膜 120 g>CF|Wj  
6.1 反射镜组合的反射率 120 D: NBb!   
6.2 周期多层膜系的反射率 121 tK`sVsm>  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 @{:E&K1f  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 z AacX@  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 (dLt$<F  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 BOQ2;@:3  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 {+0]diD  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 'p80X^g  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 +^iUY%pm  
6.8 金属反射镜 134 . Zrt/;  
6.8.1 常用金属反射镜 134 R#"kh/M  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 A|,\}9)4X[  
6.9 影响反射特性的因素 137 ,2qJXMg"=$  
6.10 高反射镜应用实例 143 ;O}%_ef@  
6.10.1 激光高反射镜 143 |CexP^;!U  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 5wmH3g#0  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 Z2_eTC u  
习题 146 . p^='Kz?  
参考文献 146 ;EP7q[  
第7章 带通滤光片 149 RY8;bUSR  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 H [wJ; l  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 lbZ,?wm  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151  ?}e8g  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 B;r U  
7.3.2 膜系透射定理 153 < N}UwB&  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 >pW8K[  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ID & Iz  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 2`Ub;Nn29  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164  oJ ~ZzW  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 2 :u4~E3  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 s^TF+d?B  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 };o6|e:2E  
7.5 超窄带带通滤光片 183 zm-j FY?  
7.6 宽带带通滤光片 185 TR L4r_  
7.7 带通滤光片的角特性 186 zmQ V6o=k  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ({zt=}r,  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 <W2}^q7F^  
习题 193 iA3d[%tBb  
参考文献 193 {a.{x+!5I-  
第8章 截止滤光片 196 ~ ' 81  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 _A|1_^[G(  
8.2 吸收型截止滤光片 197 yH#zyO4fD-  
8.3 干涉型截止滤光片 198 `<i|K*u  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 Q6 @}t&k4C  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 =u QCm#  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 UK*+EEv  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 JR|yg=E  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 oUIa/}}w5  
8.3.6 截止带的展宽 210 :{pvA;f  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 *[*LtyCQt4  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 BQ{Gp 2N  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 O+%Y1=S[WQ  
习题 221 gV1&b (h  
参考文献 221 JryDbGc8  
第9章 带阻滤光片 223 ~ nNsq(4  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 X+)68  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 -sm{Hpf_b  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 SL" ;\[uI  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 58,_  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 5Al 59]  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 lBqu}88q0  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 H_sLviYLu  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 w~y+Pv@   
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 M,"4r^%k  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234  *>j u1f  
习题 241 +8Yt91   
参考文献 241 zuUf:%k}I  
第10章 分光镜 243 "5C)gxI^  
10.1 中性分光镜 243 LbOjKM^-  
10.1.1 金属膜中性分光 244 X&nkc/erx  
10.1.2 介质膜中性分光 245 <&\HXAOd  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 -U)6o"O_CV  
10.2 双色分光镜 249 zB/$*Hd  
10.3 偏振分光 254 Izm8 qt=m  
10.3.1 偏振特性的描述 254 )` -b\8uw  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 #qWa[kB  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 p)vyZY[  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 \!j{&cJ  
10.4 消偏振分光 262 `An|a~G1  
10.4.1 偏振分离的描述 263 wcUf?`21,  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 jo{[*]Oa  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Pwf2dm$,+  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 G`!#k!&r  
10.5 分光中的消色差问题 280 6f,#O8]#5  
习题 281 2LGeRw  
参考文献 282 &MsnQP  
第二篇 薄膜扶术基础 *i|O!h1St  
第11章 薄膜制备技术 283 P0uUVU=B|  
11.1 真空技术简介 283 *L7 ZyERs  
11.1.1 真空的基本知识 283 Ug*:o d  
11.1.2 真空的获得 284 Rd|};-  
11.1.3 真空的测量 286 ~F~g$E2 }  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 sCU<1=   
11.2.1 蒸镀法 289 Ta`=c0  
11.2.2 溅射法 300 c7X5sMM,  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 +:pjQ1LsJ  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 rU`#3}s  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Q+'mBi}  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 >M[wh>  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 5VdF^.:u  
11.3.5 光化学气相沉积 310 ]f#ZU{A'mt  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 $HT {}^B  
11.3.7 原子层沉积 312 w^EAk(77  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 U1G"T(;s:  
11.4.1 化学镀 313 ^+tAgK2   
11.4.2 阳极氧化法 314 pt<!b0G  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 $50A!h  
11.4.4 电镀 315 <3zA|  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 v?BX 4FO  
11.5 光刻蚀 316 ysm)B?+k  
11.5.1 光刻工艺 316 lg FA}p@  
11.5.2 光刻胶 317 Q laz3X,P  
11.5.3 掩模 318 O`1_eK~1<  
11.5.4 曝光 318 37Ux2t  
11.5.5 刻蚀方法 318 Ae R3wua  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 F B-?{78~  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 `K37&b;`[  
习题 323 H+y(W5|2/X  
参考文献 324 &QFg=  
第12章 光学薄膜检测技术 326 aal5d_Y  
12.1 光谱分析技术基础 326 oV"#1lp*  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 d6,SZ*AE  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 9gR@Q%b)  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ZZk6 @C  
12.2.1 透射率测量 333 0)n#$d>  
12.2.2 反射率测量 334 2<53y~Yi%  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 hbdq'2!Qr  
12.3.1 吸收测量 338 C# IV"Pkq  
12.3.2 散射测量 342 '*H&s  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 D]n9+!Ec1f  
12.4 光学薄膜常数测量 347 ={P  
12.4.1 光度法 348 I:M]#aFD  
12.4.2 全反射衰减法 354 a[d6@!  
12.4.3 椭圆偏振法 357 7qj<|US  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 W@U<GF1  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 !\w@b`Iv8  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ' k[d&sR  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 `Mx&,;x  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 gE2k]`[j]  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 6S7 =+>  
12.6.1 薄膜微结构 368 >__t 2  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 + |(-7 "  
12.6.3 雕塑薄膜 372  l%XuYYQ  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 'Vq_/g!?1  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 2VO bj7F  
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关键词: 薄膜光学
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