薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6956
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 W9]z]6  
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0#OyT'~V%  
目录 R`@T<ob)  
第一篇 薄膜元学基本理抢 D%]S>g5k  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 g_cED15  
1.1 麦克斯韦方程 1 vcdVck@  
1.2 平面电磁波 6 KxK,en4)+  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 uQ-GJI^t  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 J{b#X"i  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 PolJo?HZ  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 Qz(2Iu{E]  
1.4 电磁波谱、光谱 10  j5/pVXO  
习题 12 |&8XmexLb  
参考文献 12 zEFS\nP}E  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 nQmHYOF%  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 #4mRMsW5"  
2.1.1 S波反射与透射 14 ?)-6~p 4N  
2.1.2 P波反射与透射 16 ]S4"JcM  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 r{v3 XD/  
2.2.1 S 波反射与透射 18 **%&|9He  
2.2.2 P 波反射与透射 20 .4\I?  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 b_RO%L:"yL  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 BS fmS(.  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 FzX ;~CA  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 IOZw[9](+  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 jKmjZz8L]%  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 LH(P<k&  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ybiTWM  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 x9>$197  
2.5.2 全透射 37  bUS:c 2"  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ^(^P#EEG  
2.6 反射率和透射率 39 y!gPBkG&3n  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 QIMd`c  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 |1!fuB A  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 n#x_da-m]  
习题 44 76rv$z{g^  
参考文献 44 g ZtQtFi  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 @/kI;8  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 +8zACs{p  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 P}8hK   
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 Ag9GYm  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 d]e36Dwk  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 39 }e }W"  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 c qCNk  
3.4.1 一阶近似 62 !6=s{V&r1  
3.4.2 二阶近似 63 s 1M-(d Q  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Y^Buz<OiG  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 !6-t_S  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ;GM`=M4  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 E~}H,*)  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 @`KbzN_h/  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 u!D?^:u=)  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 5go)D+6s  
习题 79 fQib?g/G  
参考文献 79 Xw9]WJc  
第4章 膜系设计图示法 81 Pr} l y  
4.1 矢量法 81 ra*|HcLD  
4.2 导纳图解法 87 1R8tR#l  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 $V 3If  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 A[m?^vk q  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 sC\?{B0 r  
4.3 金属膜导纳圆图 97 C '[4jz0xF  
4.4 膜系层间电场分布 99 vxPE=!|  
习题 100 (9]1p;  
参考文献 101 _DSDY$Ec  
第二篇 光学等膜分类反应用 LAc60^t1  
第5章 增透膜 102 %TFsk  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 m#BXxS#B<_  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 E|9`J00  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 #WG}"[ ,c  
5.4 均匀介质增透膜 107 _qPKdGoM  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 @lDnD%vZ`  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 |Jx:#OM  
5.5 非均匀介质增透膜 113 S Yi!%  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 0"e["q{|  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 MMrN#&r  
习题 118 ).jQ+XE'>  
参考文献 118 00;SK!+$  
第6章 高反射膜 120 GCYXDovh  
6.1 反射镜组合的反射率 120 r8YM#dF  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 vX>{1`e{S  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 -_9*BvS]R  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 >uZc#Zt  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 vUbgSI  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 olQP>sa  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 y$fMMAN7  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 |s/Kb]t  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 " l|`LjP5M  
6.8 金属反射镜 134 2<UC^vZ  
6.8.1 常用金属反射镜 134 3. dSS  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 F6 ~ ;f;  
6.9 影响反射特性的因素 137 uM 'n4oH  
6.10 高反射镜应用实例 143 >{Ayzz>v  
6.10.1 激光高反射镜 143 J1(SL~e],  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 }f;TG:6  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 =C$"e4%Be  
习题 146 =k d-rIBc  
参考文献 146 O6$,J1 2l  
第7章 带通滤光片 149 y`m0/SOT  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 uDG>m7(}/h  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 b' ^<0c  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 =g6~2p=H  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 5I[:.o0  
7.3.2 膜系透射定理 153 b&E"r*i|  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 l@w\ Vxr  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 D@X"1X!F`G  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 T] H 'l  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 k {{eyC  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 /kr|}`# Z  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 m~=VUhPd  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 %ho?KU2j  
7.5 超窄带带通滤光片 183 N4qBCBr(  
7.6 宽带带通滤光片 185 %Qj$@.*:  
7.7 带通滤光片的角特性 186 +Goh`!$Rj9  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 _0 4 3,  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 L}Sb0 o.  
习题 193 LsGO~EiJ  
参考文献 193 `yl|N L  
第8章 截止滤光片 196 A]QGaWK  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 !b0A %1W;  
8.2 吸收型截止滤光片 197 8@;R2]Q  
8.3 干涉型截止滤光片 198 g@O?0,+1  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 #(}{*d R  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 |2TH[J_a  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 "}0QxogYE  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 c'?EI EP  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 $bpu  
8.3.6 截止带的展宽 210 rUV'DC?eE  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 I^LU*A=  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 SsMs#C8u%  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218  fZap\  
习题 221 &<&eKq  
参考文献 221 <aF B&Fm  
第9章 带阻滤光片 223 evE:FiDm(j  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 oP 7)  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 '%|Um3);0p  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 +Y+fM  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 `v(!IBP|  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 w=nS*Qy 2  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 4Af7x6a;  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 ,3G B9  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 &`!H1E^  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233  S{XO3  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 Iza#v0  
习题 241  N6\m*j,`  
参考文献 241 b H5lLcdf  
第10章 分光镜 243 Y*jkUQ  
10.1 中性分光镜 243 OS(Ua  
10.1.1 金属膜中性分光 244 @GweNo`p7  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ze8MFz'm  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 k'"R;^~xg  
10.2 双色分光镜 249 ]~3a~  
10.3 偏振分光 254 b,ZBol|X  
10.3.1 偏振特性的描述 254 6~!7?FK  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 k^q~ 2  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 ?: vB_@  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 #K-O<:s=y  
10.4 消偏振分光 262 Lrt~Q:z2u  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Ly`.~t(~l  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 2xy{g&G  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 H%>cpwa[7  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 BG-nf1K(  
10.5 分光中的消色差问题 280 Ql}#mC.>/  
习题 281 .`D$.|!8g  
参考文献 282 R6GlQ G  
第二篇 薄膜扶术基础 <pT1p4T<  
第11章 薄膜制备技术 283 W-1Ub |8C  
11.1 真空技术简介 283 T-oUcuQB  
11.1.1 真空的基本知识 283 ZD?LsD3  
11.1.2 真空的获得 284 >Zm|R|{BE  
11.1.3 真空的测量 286 CF_2ez1u0y  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 5Yk|  
11.2.1 蒸镀法 289 h5E<wyd96.  
11.2.2 溅射法 300 1OK~*=/4  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 S6yLq|W0  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 L6=5]?B=  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 !r*JGv=  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 =p8iYtI  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 %yVP@M  
11.3.5 光化学气相沉积 310 RBeQT=B8~  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 `LTD|0;  
11.3.7 原子层沉积 312 DT]3q4__Q  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 S: g 2V  
11.4.1 化学镀 313 bwjLMWEVq  
11.4.2 阳极氧化法 314 )4 w 3$Q  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 :?3y)*J!  
11.4.4 电镀 315 >6zWOYd  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 }f] ~{^  
11.5 光刻蚀 316 `C*psS  
11.5.1 光刻工艺 316 f1Gyl  
11.5.2 光刻胶 317 f5CnJhE|)  
11.5.3 掩模 318 p!LaR.8]  
11.5.4 曝光 318 VpM(}QHd  
11.5.5 刻蚀方法 318 N?s5h?  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 u9}LvQh_6,  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 &nn+X%m9g  
习题 323 [k,FJ5X  
参考文献 324 =:^f6"p&Z  
第12章 光学薄膜检测技术 326 hQJ-  ~  
12.1 光谱分析技术基础 326 d[e;Fj!  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ?trqe/  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 &K,rNH'R  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 yuZh ak  
12.2.1 透射率测量 333 5[$Tpn#K7  
12.2.2 反射率测量 334 +,0 :L :a  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 .t%` "C  
12.3.1 吸收测量 338 M|'![]-  
12.3.2 散射测量 342 ;u?H#\J,  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 u6p nO  
12.4 光学薄膜常数测量 347 {F$MZ2E  
12.4.1 光度法 348 \8-PCD  
12.4.2 全反射衰减法 354 R%%h=]  
12.4.3 椭圆偏振法 357 l$!g# ?w  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 wArtg'=X  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 BxXP]od  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 8IihG \  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 _dw6 C2]P  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 \]p[DYBY#  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 [- x]%  
12.6.1 薄膜微结构 368 k3B]u.Lo  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ^sZ,(sc{G  
12.6.3 雕塑薄膜 372 9y&&6r<I  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 y{uN+QS  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 DWar3+u&0  
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关键词: 薄膜光学
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