synopsys光学设计软件中的鬼像控制 l6Bd<tSH
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鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS可以评估和控制两种类型的鬼像：GHOST程序可以确定在像面上哪个表面组合对鬼像负责，BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像的特性。 X/7 49"23
为了从选择的近轴鬼像控制图像的弥散斑的大小，输入 IvH+94 [)
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL V#KM~3e
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL &>t1 A5
第一个是PGHOST，用于控制物空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况，其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像。第二个是PUGHOST，用于控制入瞳上的点的鬼像的大小。 /omVM u
假设由表面15和表面9的反射产生的鬼像在像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设想让鬼像的弥散斑半径不小于5 mm。以下是如何在AANT文件输入中将其定位为这个值: AOUO',v
M 5 1 A PGHOST15 9 @S):a` J
由于较大的鬼像不是缺陷，因此提供单侧像差常常较好: j
pV
LL 5 .1 4 1 >X)G`N@ !
A PGHOST 15 9 nJC}wh2d#
在这里，如果鬼像半径为5.0，缺陷值为0.1；如果半径为4.0，缺陷值为1.0。注意，像差的返回值总是正的，因此目标值也应该是正的。 /RJSkF+!
如果使用此特性进行优化，请不要打开开关47。该选项用于对单个鬼像进行详细分析，如果该开关设置用于优化，则会产生大量不必要的显示输出。 \C|06Bs $
与GHOST命令类似，如果开关49打开（但不用于PUGHOST），该特性将通过所估计的衍射斑半径增大所计算的近轴鬼像半径。 m JT
m/C
也可以控制在镜头系统中形成的鬼像的大小（一个"隐藏的鬼像"）。这在高功率激光系统中是有用的，来自透镜表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能会对元件造成损伤。这种控件的输入是 <{uIB;P
M TAR WTA BGI JREFL JHOT ')<$AMy1
JREFL是反射光线的表面，而JHOT则是想要监视光通量来防止损伤的表面。这种控制方式也推荐使用LL形式。因此，要确保从表面41反射的鬼像的光束半径在表面9大于0.2个单位，可以在评价函数中输入 A'2:(m@{T
LL 0.2 .01 0.15 A BGI 41 9 YgDasKFm'
这个例子给出了0.01的惩罚如果鬼像半径为0.2，如果鬼像半径为1.5，则惩罚为5。注意，该控制应用于弥散斑半径的绝对值，因此该程序假设一个大的正值或负值，随情况需要。 ,_O[; L
还要注意，PGH和BGI控制都是近轴量，不涉及真正的光线追迹。因此，他们忽略了孔径、倾斜和偏心。这两种都接受开关49，如果打开此开关，将估计的衍射斑半径加到计算的几何鬼像半径。
