synopsys光学设计软件中的鬼像控制 bP`.teO\
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鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS可以评估和控制两种类型的鬼像:GHOST程序可以确定在像面上哪个表面组合对鬼像负责,BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像的特性。 bBkF,`/f$
为了从选择的近轴鬼像控制图像的弥散斑的大小,输入 sskwJu1
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL @<ba+z>"~4
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL HR55|`]
第一个是PGHOST,用于控制物空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况,其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像。第二个是PUGHOST,用于控制入瞳上的点的鬼像的大小。 a _YE[6
假设由表面15和表面9的反射产生的鬼像在像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设想让鬼像的弥散斑半径不小于5 mm。以下是如何在AANT文件输入中将其定位为这个值: 7m6@]S6
M 5 1 A PGHOST15 9 [N}:Di,S
由于较大的鬼像不是缺陷,因此提供单侧像差常常较好: ?|8H|LBIr
LL 5 .1 4 1 C>q,c3s5
A PGHOST 15 9 vdloh ,
在这里,如果鬼像半径为5.0,缺陷值为0.1;如果半径为4.0,缺陷值为1.0。注意,像差的返回值总是正的,因此目标值也应该是正的。 O|J`M2r
如果使用此特性进行优化,请不要打开开关47。该选项用于对单个鬼像进行详细分析,如果该开关设置用于优化,则会产生大量不必要的显示输出。 {I|iUfy
与GHOST命令类似,如果开关49打开(但不用于PUGHOST),该特性将通过所估计的衍射斑半径增大所计算的近轴鬼像半径。 >A#wvQl7
也可以控制在镜头系统中形成的鬼像的大小(一个"隐藏的鬼像")。这在高功率激光系统中是有用的,来自透镜表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能会对元件造成损伤。这种控件的输入是 vu[+UF\G
M TAR WTA BGI JREFL JHOT K.?~@5%
JREFL是反射光线的表面,而JHOT则是想要监视光通量来防止损伤的表面。这种控制方式也推荐使用LL形式。因此,要确保从表面41反射的鬼像的光束半径在表面9大于0.2个单位,可以在评价函数中输入 >-YPCW
LL 0.2 .01 0.15 A BGI 41 9 XSkN9LqZ
这个例子给出了0.01的惩罚如果鬼像半径为0.2,如果鬼像半径为1.5,则惩罚为5。注意,该控制应用于弥散斑半径的绝对值,因此该程序假设一个大的正值或负值,随情况需要。 I"4j152P|
还要注意,PGH和BGI控制都是近轴量,不涉及真正的光线追迹。因此,他们忽略了孔径、倾斜和偏心。这两种都接受开关49,如果打开此开关,将估计的衍射斑半径加到计算的几何鬼像半径。