摘 要
_! ?a9 '+*'sQvH[ 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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Yq{R*HO 倾斜平面下的观测条纹
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圆柱面下的观测条纹
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration .X:,]of -
Mach-Zehnder Interferometer 3`Xzp =VV><^uzdY (来源:讯技光电)