摘 要
6(B[(Af 7$kTeKiP 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
w\>@>*E> @i>4k ,u5iiR 建模任务
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)^g/>0i 倾斜平面下的观测条纹
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Zu ![v0 |zp}u (N 圆柱面下的观测条纹
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{u$<-W-& X<:Zx#J?i 球面下的观测条纹
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LV]F?O[K= 9d+z?J: VirtualLab Fusion 视窗
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M7d VirtualLab Fusion 流程
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration z?g\w6 -
Mach-Zehnder Interferometer $+w -r#, }b]z+4Ua( (来源:讯技光电)