切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 2556阅读
    • 1回复

    [分享]用于短波红外探测器的微透镜阵列制作 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线991518
    高级工程师
     
    发帖
    1023
    光币
    10921
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-05-22
    关键词： 微透镜阵列探测器
    摘要：采用光刻胶热熔法制作具有特定尺寸的微透镜，制作的微透镜能将微透镜阵列技术应用于短波 1μm~3μm 红 外探测器中，有效地提高探测器件的光电性能。采用 AZ P4620 厚光刻胶，利用紫外光刻技术，对透镜制作中的前烘、 曝光和显影、坚膜、热熔等工艺进行了深入细致的实验研究，确定了最优的工艺参数，实现了球冠直径在(5.5±0.5) μm， 曲率半径 3 μm 的微透镜，且透镜有很好的均匀性和一致性，满足近红外探测器件的要求。 i!JSEQ_8  
    FOPmvlA\-<  
    关键词：微透镜阵列；光刻胶热熔法；前烘；热熔
    附件: 用于短波红外探测器的微透镜.rar (806 K) 下载次数:15 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2019-05-22
     
    回复
    举报
    分享到
    离线wozaichennan
    实习生
    发帖
    7
    光币
    6
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-05-23
    如何用trace pro在一个曲面的板材上面绘制一个有孔洞得微透镜阵列，现在就是因为微透镜阵列和曲面板材的曲率不一样，得到的孔洞阵列大小总是不一样。请问一下大家有知道的吗？
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表