摘要
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~"p l\~F0Z/O 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Cb;49;q 1WLaJ%Fv 设计任务
N(L?F):fT 3 3b 3v\N UWq[K&vQZ
$rmfE 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
%8T"h G^_fbrZjN 扫描参数空间以获取初始解
u6~/"
_FwY wm_o(Z} (Zv/(SE5% h$q=NTV 初始解#1的参数优化
L:RMZp*bK p*"H&xA@ H6]z9 8 nn6&`$(Q~ 最终设计#1的性能分析
j43-YdCJ D$G:#z* ^jZ4tH3K haIH `SY 初始解#2的参数优化
B]5G"4, /l$>W<}@ tJ!s/|u( p1(<F_Kta 最终设计#1的性能分析
fr([g?F%D xdd;!HK, 6$*ZH*
uj9IK VirtualLab Fusion一瞥
\t\ZyPxn 0'4V*Y E]j2%}6Z% QAmb_:^"d VirtualLab Fusion中的工作流程
nA>kJSL'$ gl~>MasV& 构建
光栅结构
{%Q&CQG_ ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces .YcI . ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media WaYT7 : 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer U 4ELlxGe 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document ~]&,v|g& 使用参数优化确定最终解
ts3BmfR? }hd:avze VirtualLab Fusion技术
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