[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 }mz@oEB#vF  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 V& _  
xbsp[0I,  
274F+X  
OjFB_ N  
1. 建模任务 H+6+I
53  
G*JasHFs  
PVLLuv  
3vepJ)D (  
2. 结果 t,Ss3  
v*U OD'tk  
AhWcJD]  
N6EG!*  
I82GZL  
plN:QS$  
3. 文件和技术信息 9=TjSR
S  
hR(\%p  
"V'<dn  
|ZC@l^a7  

很强大