摘要
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\ Ij4oH /wKL"M-% yX/ 9jk 在VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
Q. @9"&)t r. :LZEr 建模任务
6gNsh R>yoMk/u >6KuZ_ B&VruOP0 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
lEh; MJ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
I ze+]( ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
lmfvT}$B pxDkf|* 示例
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D-k<8| Op0n.\>
通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
!{>'jvH ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
NO+.n)etGb ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
yS'W ss
─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
fh,kbn==r? `tw[{Wb 关于z轴旋转的图示
piULIZ0 >pdWR1ox @G,pM: t |qm_ESzl 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
{%Cb0Zh 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
Di)%vU +-2o b90_m 指向(关于z轴旋转):0°
[ICFPY6 *hWpJEV .Q!_.LX Ec'Hlsgh&T 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
5ir
Ffr &X3G;x2; 指向(关于z轴旋转): 30°
R.x^ =
y@*vl r+:]lO }uR[H2D`L 注意:方向角度的定义为:
:Oiz|b( ─ 关于界面坐标轴。
a_Sp}s<J ─ 逆时针方向。
%plu]^Vy u*}ltR~/ 指向(关于z轴旋转): -90°
~ECIL7, (n{x"rLy/ o%yfR.M6$ #Mw 6>5}< 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
=cR"_ Z[8X mO=A50_&,Q 关于y轴旋转180°示例
='vD4}"j u4#YZOiY)A '@/1e\ -y S;0z%$y 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
QArph0e T>hrKn.!D: 关于y轴旋转180°(未选中)
))%f"=:wt f\;w(_ $d-$dM?R5 g#k@R'7E 注意:
1Q_Q-Z 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
t`1M}}. 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
})+iAxR ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
%4wEAi$I ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
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