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可见与近红外增透膜的设计和制备
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楼主
发表于: 2019-03-26
关键词:
增透膜
摘要:为满足大气辐射
系统
中
光学
元件的使用要求,即可见与近红外波段高透过,根据双有 效界面法设计
原理
配合膜系
软件
设计膜系,采用离子辅助沉积,
电子
束真空
镀膜
的方法,通过 对
工艺
参数
的调整和监控方法的改进,制备400~1200 nm宽带
增透膜
。所镀膜层在垂直入射 时,400~1200 nm波段平均反射率小于 1%。同时对膜层牢固性进行了测试,满足大气辐射系 统的使用要求。
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