半导体激光器又称激光二极管,是用半导体材料作为工作物质的激光器。它具有体积小、寿命长的特点,并可采用简单的注入电流的方式来泵浦其工作电压和电流与集成电路兼容,因而可与之单片集成。 4z%#ZIy3
o 7W Kh=
由于这些优点,半导体二极管激光器在激光通信、光存储、光陀螺、激光打印、测距以及雷达等方面以及获得了广泛的应用。 ?4[Oh/]R
M#VC3h$
激光器的发光原理 `k]!6osZo
|W*@}D
产生激光要满足以下条件: |F@xwfgb
<o!&Kk 9
一、粒子数反转; UlNfI}#X
B$TChc3B
二、要有谐振腔,能起到光反馈作用,形成激光振荡;形成形式多样,最简单的是法布里——帕罗谐振腔。 FaE #\Q
9/1+BQ
三、产生激光还必须满足阈值条件,也就是增益要大于总的损耗。 D"XX920$~
0vuKGjK
(1)满足一定的阀值条件。 PN"8 Y
MATgJ`lsy
为了形成稳定振荡,激光媒质必须能提供足够大的增益,以弥补谐振腔引起的光损耗及从腔面的激光输出等引起的损耗,不断增加腔内的光场。这就必须要有足够强的电流注人,即有足够的粒子数反转,粒子数反转程度越高,得到的增益就越大,即要求必须满足一定的电流阀值条件。当激光器达到阀值时,具有特定波长的光就能在腔内谐振并被放大,最后形成激光而连续地输出。 >$naTSJq
MuoctW
(2)谐振腔,能起到光反馈作用,形成激光振荡。 1%spzkE 3P
F|?+>c1}
要实际获得相干受激辐射,必须使受激辐射在光学谐振腔内得到多次反馈而形成激光振荡,激光器的谐振腔是由半导体晶体的自然解理面作为反射镜形成的,通常在不出光的那一端镀上高反多层介质膜,而出光面镀上减反膜。 U M( l%
%8bzs?QI
对F-P腔(法布里—拍罗腔)半导体激光器可以很方便地利用晶体的与P-N结平面相垂直的自然解理面构成F-P 腔。 /}$T38
g6VD_
(3)增益条件: zn
V1kqGU
Y62u%':X
建立起激射媒质(有源区)内载流子的反转分布。在半导体中代表电子能量的是由一系列接近于连续的能级所组成的能带,因此在半导体中要实现粒子数反转,必须在两个能带区域之间,处在高能态导带底的电子数比处在低能态价带顶的空穴数大很多,这靠给同质结或异质结加正向偏压,向有源层内注人必要的载流子来实现,将电子从能量较低的价带激发到能量较高的导带中去。当处于粒子数反转状态的大量电子与空穴复合时,便产生受激发射作用。 }B=qH7u.K
/MKNv'5&!%
半导体激光器特性 $xA J9_2P
|O(-CDQe
半导体激光器是以半导体材料为工作物质的一类激光器件。它诞生于1962年,除了具有激光器的共同特点外,还具有以下优点: O~h94 B`
b
H"}w$!>r
(1) 体积小,重量轻;
i}`_H^
M U?{?5
(2) 驱动功率和电流较低; &IRA=nJ
VX;zZ`BJ
(3) 效率高、工作寿命长; cZe'!CQS
J3~hzgY
(4) 可直接电调制; '<%Nw-
qE0FgqRB
(5) 易于与各种光电子器件实现光电子集成;
\f/#<|Hm
F_nZvv[H?
(6) 与半导体制造技术兼容;可大批量生产。 lk_s!<ni
|^Ew<
由于这些特点,半导体激光器自问世以来得到了世界各国的广泛关注与研究。成为世界上发展最快、应用最广泛、最早走出实验室实现商用化且产值最大的一类激光器。 ,@Fgr(?'`>
E kBae=
半导体激光器工作原理 `RL,ZoYuu
(_w
%
半导体激光器工作原理是激励方式,利用半导体物质(即利用电子)在能带间跃迁发光,用半导体晶体的解理面形成两个平行反射镜面作为反射镜,组成谐振腔,使光振荡、反馈,产生光的辐射放大,输出激光。 {_zV5V
4=Tpi`
半导体激光器是依靠注入载流子工作的,发射激光必须具备三个基本条件: h
L]8e>a?
k,,!P""
(1)要产生足够的 粒子数反转分布,即高能态粒子数足够的大于处于低能态的粒子数; H(15vlOD
<i}q=%W!1
(2)有一个合适的谐振腔能够起到反馈作用,使受激辐射光子增生,从而产生激光震荡; G{kj}>kS_
L1hD}J'$4
(3)要满足一定的阀值条件,以使光子增益等于或大于光子的损耗。