[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 jd.{J{o  
BQ:hUF3  
高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ]qd$rX  
?S<`*O +  

图片:1-1Q210141S0B6.png

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建模任务 eF"k"Ckt'  
| LXVf  

图片:1-1Q210141Z3L0.png

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概观 unF=";9H  
C+L_f_6]  

图片:1-1Q21014202H61.png

Ro@=oyLE  
光线追迹仿真 EJW}&e/  
<dGph  
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 G"F)t(iX  
6}cN7wnm j  
•点击Go！ uXouN$&  
•获得3D光线追迹结果。 |}o6N5)  
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图片:1-1Q2101423224L.png

s'^sT=b  
7_Op(C4,nC  
光线追迹仿真 %a:>3! +  
X \BxRgl},  
*e25!#o1  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 8|{d1dy  
•单击Go！ vlqL  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 g)1`A24  
*.6m,QqJ(  

图片:1-1Q210142613B5.png

`F$lO2#k  
R $@$  
场追迹仿真 6)veuA3]  
FL{$9o\@  
@R_ON"h  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 g/4ipcG;N  
•单击Go！ CjGQ  
af'gk&%  

图片:1-1Q210142A2533.png

!C@+CZXLx  
Bm5\*Xd1(  
场追迹结果（摄像机探测器） xpp>5d !  
jN AS'JV  
||))gI`3a  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 aHdQi,=z  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 lhPxMMS`j  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 h])oo:u'/Q  
N/zP!%L  

图片:1-1Q210142Q6438.png

xErAs}|  
FeNNzV=  
场追迹结果（电磁场探测器） Nt|Fw$3*5{  
RF= $SMTk  
_fccZf(yC.  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 h=4 GSU  
CK#i 6!~r  

图片:1-1Q210143024c8.png

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文件信息 _SnD)k+TgJ  
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图片:1-1Q210143051458.png

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一系列镜子是怎么加上去的？经验么