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钛的折射率问题
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钛的折射率问题
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wpawj
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发表于: 2018-12-07
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关键词:
膜料
氧化钛
折射率
请问下,同一
膜料
氧化钛
计算出来的
折射率
高低跟哪些因素有关系?比如
镀膜
机仓体大小?
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ds1234567
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1楼
发表于: 2018-12-07
与温度有关
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wpawj
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2楼
发表于: 2018-12-07
回 ds1234567 的帖子
ds1234567
:
与温度有关
?(2018-12-07 22:00)?
hLICu[LC?
(V x2*Aw]
我这里2350镀膜机测的钛折射率2.01
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lgflgf2012
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3楼
发表于: 2018-12-08
温度,蒸发速率,真空度,离子源参数等等,应该就这些了吧
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knight627
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4楼
发表于: 2018-12-08
这个差别 大了,固定机台,一个工艺参数,然后用椭偏仪去测,才是实在
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ouyuu
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5楼
发表于: 2018-12-10
不管你是用氧化钛,二氧化钛,五氧化三钛。
BJt]k7ku+
蒸发到最后都是想得到一个物质,但是就镀膜稳定性来讲,五氧化三钛的稳定性应该是最好的。
pr[V*C/
|'``pq/}_
我感觉有可能:
0g2rajS
1,充氧不够,形成的物质少氧,此时应该加大充氧量。
kX2Z@ w`
2,致密度不够,往往是因为离子源的能量不够。此时应该加大离子源能量,加高温度,降低蒸发速率。
..R JHa6B
3,材料有问题。换一个材料看看
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ouyuu
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6楼
发表于: 2018-12-10
你去百度文库查下《镀膜材料基础知识》
EbeSl+iMx_
里面有详细的说明,2350这种机型应该是温度达不到300度的(这么大,如果温度太高,真空壳体会变形)也没有那么高能量的离子源。
"g*`G<