[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 K@p9_K8  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 U6-47m0%  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 v.RA{a 9  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 dQ*^WNUB  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 ./I?|ih  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， E:qh}wY  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 Wrp~OF0k  
否则要重做修正板。 GbLHzw  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 E{)X ;kN=  
以后修的时间比用的时间还多。 GJ
dL1ptc  

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 LEjq
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每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 %'g)MK!e  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， |J`v w  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。
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否则要重做修正板。 )c*xKij  
....... (2018-11-13 13:23)  5m'AT]5Tn_  

KF(y`(8f  
学习了...

这个对于新入门的有用