问题描述:如何在Zemax软件中正确输入ZYGO干涉仪的检测到的面形参数。 D3]@i&^B
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通过某些检测手段或者检测技术,可以得到以ZYGO干涉仪中的36项zernike fringe系数进行表征(Z1-Z36),如下图所示。 T"A^[r*
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那么对于下面这个反射式光学系统,中的某面,如何把这个面形误差添加进去呢? L+(C5L93}
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求大神解答?或者有用其他的方式做面形误差分析的么? 8q{1E];:q