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    [分享]采用BCB平整技术的高速850nm垂直面发射激光器 [复制链接]

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    离线200833
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-06-11
    关键词: 激光器
    摘要:垂直腔面发射激光因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域。寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一。本文通过采用低k值的苯并环丁烯(BCB)平整技术有效地降低了垂直腔面发射激光器的寄生电容。详细研究了BCB平整技术的最优工艺参数,为未来高速垂直腔面发射激光器的制造技术提供参考。低k值BCB平整垂直腔面发射激光器在7 μm氧化孔径下3 dB小信号调制带宽可达15.2 GHz。
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