摘要
&MCbYph,
nuw70*ell
扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性，只有当光程差在相干长度内，干涉图案才会出现。因此，它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪，用于测量具有平滑变化前表面的样品。 o<|P9#(U"
Ac<Phy-J
iy%ZQ[Un
;oc& Hb
建模任务 {\:{[{qF
-$dXE+&
tV{ 4"Ij9[
\Z+z?K O
结果 RH&~+5
MpF$xzh
)3>hhuaa
K5xX)oV
文件信息 ~4 `5tb
|\7
ET[X q
Yj6*NZ*
R~S;sJ& c
（来源：讯技光电） lLF-{
