摘要 L9<\vJ
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扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性，只有当光程差在相干长度内，干涉图案才会出现。因此，它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪，用于测量具有平滑变化前表面的样品。 M!kSt1
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建模任务 T9I$6HAi
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文件信息 lm
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（来源：讯技光电） 14" 57Jt8
